第四届国际固态传感器会议论文集 中PDF电子书下载

综合 1

1．光-光变换器&Akio Sasaki 1

2．用于测量薄膜机械性能和附着力的微加工构件&StePhen D．Senturia 8

3．具有数字或频率信号输出的传感器&S．Middelhoek等 14

4．微计量超声波传感器&Noriyoshi Chubachi 22

5．自适应智能速度传感器&Hiro yamasaki等 29

6．触发传感器阵列构成的图案识别器&W.Lian等 36

7．引入触发器技术的NMOS数字输出多传感器芯片&P.J.French等 42

8．加权函数可变的集成空间滤波器&Shintaro lnagaki等 47

9．一种具有CMOS接口电路的集成多路化学场效应晶体管&Keiji Tsukada等 51

10．用于绝对位置测量的具有在片信号处理电路的集成光电二极管阵列&Karl J.Erb 55

11．带新研制大规模集成电路的门诊用微型遥测传感系统的研制&Yoshio Oshima等 59

12．采用特制CMOS大规模集成电路开发的外部控制植入式生物遥测系统&Heedon Seo等 63

13．用于CMOS集成电路传感器的低噪声、低漂移接口电路&Isao Dendo 68

14．一种用于电容传感器的双极型集成电路&Frank Doorenbosch 73

15．关于传感器根据逆向普利萨奇图的滞环误差修正方法&Ichiro Sasada等 77

力传感器 82

16．利用剪切压阻效应原理制作的多晶硅应变式传感器&P.J.French，A.G.R.Evans等 82

17．微机械加工浮动元件剪力传感器&Martin A,Schmidt等 87

18．非接触压磁式扭矩传感器&Jun Sugiyama等 91

19．高检测灵敏度自适应控制型张力传感器&Ryuzo UEDA,Toshikatsu SONODA等 96

压力传感器 100

20．微晶多晶硅及其在平面压力传感器中的应用&H.Guckel等 100

21．硅悬臂振荡器用作真空传感器&Yoshio Kawamura等 105

22．悬浮膜片式热真空传感器&A.W.van Herwaarden P.M.Sarro 110

23．一种用光干涉读出的微型微音器&Devid J.warkentin等 115

24．用硅片制造超小型驻极体微音器的研究&A.J.Sprenkels,P.Bergveld 119

25．压阻型压力传感器设计方法的新发展&鲍敏杭 王言 齐薇佳 123

26．植入电容式压力传感器的制造&Shuichi Shoji等 131

27．一种制造电容式压力传感器的新工艺&S.MIYOSHI等 136

28．直径0.5mm的生物医用压力传感器&l Tenerz,B.Hok 139

29．蓝宝石上外延硅——高温压阻式压力传感器的关键工艺&H.W.Keller，K．AnagnostoPouIos 143

30．蓝宝石上外延硅压力传感器&Chen Qinggui等 147

31．用硅微机械加工的压结晶体管新型力学量传感器&B，puers等 150

32．压敏驻极体MOSFET结构样机的研制&J．A．Voorthuyzen 154

33．一种具有低挠度和高共振频率的力学量硅传感器元件&挪咸工业研究中心 158

34．用于测量压力、流量、加速度和姿态的硅膜片电容式传感器&James T.Suminto等 162

35．具有绝热结构的单片式压力-流量传感器&Osamu Tabata等 167

36．心血管导液管用超微型固态压力传感器&Hin一leung chau,Kensall D.wise 171

37．可变换的带有在片补偿线路的硅压力传感器&P．koPystynski E·obermeier 175

位置、角度和速度传感器& 179

38．利用硅（100）面各向异性腐蚀制作的固体介质气载超声换能器&Kenichiro Suzuki等 179

39．行程传感装置 184

40．表面缺陷对硅位置-灵敏探测器性能的影响&H,yashiro等 189

41．新颍的集成光控电位器&Y．Z．Xing和w．J．Lian 193

42．磁曲轴角度传感器&Kunio Miyashita等 197

43．直线位移用直流磁场型涡流速度传感器&Tosh5katsa soNoDA， Ryuzo uEDA 200

加速度传感器 204

44．硅微加速度计&Felix Rudolf 204

45．能补偿横向加速度的硅微型加速度计&H,Sandmaier等 208

46．一种用于汽车控制系统的半导体加速度计&Masahiro Tsugai,Mikio Bessho 212

47．利用切变压力的四端应变片式硅压力传感器和加速度计&Yozo Kanda等 216

48．采用三种设计解决微刻度g开关中碰到的问题&C.Robinson，D.Overman et al 219

流量传感器 224

49．用于测量流速和流向的微片流动传感器&Nobuyuki TANAKA等 224

50．对低速敏感的硅空气流动传感器&Masayuki Sekimura和Shunji Shirouzu 228

51．用作风速计的轻掺杂多晶硅电桥&yu—chong Tai，Richard S、wuUer 232

52．一种带有脉冲调制输出的集成气体流动传感器&Goran Stemme 238

53．集成流量摩擦传感器&B.W.Van OudhEUSden和J.H.Huijsing 242

54．热电式质量流量计&J.H.Huijising 247

微执行器 252

55．微型电-流体阀&Mark j．ZdebIick James B.Angell 252

56．集成流量控制器的制造&Masayoshi Esashi等 255

57．基于热膨胀效应的微机械硅执行器&W．Riethmiier等 261

58．微机械硅悬臂结构中的光激发机械振荡&W．Benecke等 264

59．谐振微传感器&Roger T．Howe 267

60．连接销、齿轮、弹簧、曲柄和其他新颍的微机械构件&Lon9—Sheng Fan等 275

61．在硅平面上腐蚀微型齿轮和涡轮&K.J．Gabried等 278

62．硅静电式电动机&W、S、N、Trimmer笑 281

63．用硅微机械加工工艺制造的静电线性执行器的原理&Hiroyuki Fujita，Akito Omodaka 284

64．新型二维压电执行器&Mesayuki wakamiya 289

气传感器 293

65．驻极体与铑气体传感器&Carl F．Klein，Pau1 E．Thoma 293

66．用于鉴别固体或液体化合物的电化学气体传感器&Joseph R Stetter 299

67．两种化学敏感双极型器件&J.W.HoIm—Kennedy 305

68．用于气体检测的调制型热电红外传感器&Toshiaki Yokoo等 309

69．生物系统中化学传感器的传感机理及其在人造膜传感器中的应用&Kenzo Kurihara等 314

70．公共汽车自动通风系统的气体传感器&Hideaki Kato Tomonori Fukui 320

71．利用分离系数和溶解度性质了解和预测表面声波蒸气传感器的特性&J.W.Grate等 325

72．用不对称轴向替代的兰米尔—布洛杰特薄膜作为气体传感器材料&C.W.Fu等 330

73．光波导传感器的最新发展&K.Nishizawa 332

74．高灵敏度甲烷传感器&N.K.omori等 337

75．用超细金属微粉的扩散现象检测气体&Hiroshi Komiyama等 341

76．双梯度厚膜金属氧化物气体传感器&M.W.Siegel和Lanwai Wong 344

77．不同的集成薄膜气体传感器之间热机械性能和功耗的比较&V.Demarne等 352

78．Pd-SnOx MIS氧传感器检测机理的研究&W.P.Kang等 357

79．SnO2陶瓷酒敏气体传感器&Kjy0shi Fukui，Koji Komatsu 361

80．使用周期性温度变化的SnO2气体传感器选择性地检测CO气体&N.Murakami等 365

81．Ar+离子溅射对锡氧化物晶须气敏特性的影响&Makoto Eagshira等 369

82．SnO2/Pt薄膜CO气体传感器&Duk-Dong Lee等 374

83．PECVD SnOx薄膜气体灵敏度的研究&Tang Shihao等 378

FET气体传感器 382

84．钯-银和钯-金合金作为MIS气体传感器的催化栅&R.C.Hughes等 382

85．用温扫增强催化栅MOSFET的选择性&M.Armgarth等 387

86．探测有机分子的高温扩展钯栅场效应晶体管的设计&M.Esashi等 391

87．带固体电解质的FET型氧传感器&Yuji Mjyahara等 394

88．几种MOS晶体管氨敏特性的研究&K.Dopos,G.Zimmer 398

89．二元MOS结构集成一氧化碳气体传感器&Ding Xinfang 399

氧传感器 402

90．室温下工作的固态氧传感器的研究&Norio Miora等 402

91．酞菁铅选择性涂层对低温氧传感器的活化作用&H.Mockert等 407

92．电极对CeO2基固体电解质氧传感器响应的影响&Hiromichi Arai等 410

93．In2O3薄膜半导体臭氧气体传感器&T.Takada,K.Komatsu 414

94．λ-氧传感器&K.Angata,H.Futate 418

95．极限电流型氧传感器的湿敏特性&Toshio Usui,Yoichi Kurumiya 423

湿度传感器 427

96．一种集成温度和湿度传感器&Tatsuo Yamamoto等 427

97．Pd-ZnO二极管湿度传感器&Shigeyuki Tsurumi 430

98．La2O3-TiO2-V2O5系多孔玻璃—陶器湿度传感器&Yasuhiro Shimizu等 434

99．季胺化4-乙烯吡啶—苯乙烯共聚物的高氯酸盐络合物湿度传感器材料&Xin Yaoquan等 439

100．利用Zr(HPO4)2·H2O及其有关化合物制造的湿度传感器&Y.Sadaoka等 444

101．有机硅化合物湿度传感器&Y.Sakai等 448

光导纤维传感器 452

201．光纤传感器展望&Brian Culshaw 452

103．多元光波导传感器&John F等 462

104．一种光纤上的有源变换器&M.A.EI-sherif等 466

105．带径向极性调整压电氟塑料护套的电场敏感光导纤维&M.Imai等 470

106．具有双腔结构的光纤数字力敏传感器&Masanori Watanabe等 474

107．微机械扫描镜的光纤开关和多路传输&K.Gustafsson,B.HOK 478

色和光传感器 481

108．具有本征滤色本领的硅光电二极管&R.F.Wolffenbuttel 481

109．一种新型非晶硅全色传感器&Eumio Koike等 486

110．一种基于集成硅热电堆的红外敏感阵列&P.M.Sarro等 490

111．新型光敏开关&Zhu Changchun等 495

非晶体及光传感器 499

112．引人注目的敏感材料——非晶材料&Kiyoshi Takahashi 499

113．结构简单、性能优良的非晶薄膜功率传感器&Setsuo Kodato等 505

114．用超晶格结构膜制作的a-Si紫外线传感器&S,Nakano等 508

115．用离子簇射掺杂技术形成的重掺杂非晶硅n+层及其在pin型光电二极管中的应用&A.Yoshida等 513

核辐射传感器 515

116．核辐射硅检测器&Josef A.Kemmer 515

117．碲化镉β射线探测器&Morio Wada等 522

118．金属／非晶硅多层膜X射线探测器&Yujiro Naruse,Tamotsu Hatayama 526

119．用于成象辐射的二维硅传感器&S.A.Audet等 531

120．具有集成耦合电容与多晶硅偏置电阻的硅微带检测器&L.Evensen等 535

红外及温度传感器 539

121．光谱检测光导纤维温度传感器&D.A.Christensen等 539

122．用于10μm波段的碲镉汞混合线性红外电荷耦合器件&Kunihiro Tanikawa等 542

123．采用热电单晶LiTaO3的IR-CCD图象传感器&Masanori Okuyama等 546

124．石英振荡器应用于微型无电池膜盒遥测温度传感器&K.Sakamoto等 550

125．一种新型的热电器件&Fan Liangzao,Wang Shuduo 555

表面声波传感器 558

126．具有再生试剂层选择性的表面声波苯乙烯蒸气传感器&Edward T.Zellers等 558

127．对高湿度敏感的表面声波谱&peter H.Huang 561

128．利用表面声波对聚合物与水界面的研究&John G.Brace等 566

129．声表面波微传感器&Hank Wohitjen 571

130．声波器件在液体传感中的应用&S.J.Martin等 579

131．传感用的硅声表面波物理电子系统&A.Venema等 584

132．超声波振荡器位置传感器&R.M.White等 589

离子敏传感器 593

133．具有离子注入制备的离子敏感膜的ISFET&Tadashi lto等 593

134．具有硅-绝缘体-硅结构的离子敏场效应晶体管&Tadashi Sakai等 597

135．ISFET传感器中电解液绝缘体界面的静态和动态模型&peter R.Barabash等 601

136．电量计式传感器&Bart H.Van der Schoot等 605

137．具有离子选择性膜片微型封装的硅化学传感器&Heinz Blennemann等 610

138．具有背面接触的pH-ISFET和集成pH压力传感器&H.-H.Van den Vlekkert等 613

139．固态化学传感器的阳极焊接玻璃封装&H.-H.van den viekkert等 617

140．在溅射的I？O2膜的pH测量中的不稳定性&K.G.Kreider等 621

141．利用在离子敏感场效应半导体电极上的中性物质减少干扰&D.Jed Harrison等 626

142．生物医学用Al2O3栅双ISFET/MOSFET传感器结构评价&P.W.Cheung等 630

143．SiO2/Al2O3 pH ISFET的基线漂移机理及其通过脉冲激励的某些改进&H.C.G.Ligtenberg 636

144．Al2O3层作为pH绝缘栅场效应管敏感材料的结构和漂移分析&CH.Arnoux等 642

145．平面ISE膜工艺的可能性&Urs Oesch等 646

146．一种新型的漆基体氯化物离子选择性场效应晶体管&Shin-ichi Wakida等 652

147．硝酸盐离子敏场效应晶体管&Vtis Teravaninthorn等 657

148．改进离子感膜特性以更好地适应固体／膜的界面&D.jed Harrison等 662

149．利用二氧化硅栅化学接枝制备ISFET&P.ataillard等 666

150．改进了ISFET聚合膜的物理特征和性能&A.Van den Berg等 670

生物传感器 673

151．光学式生物传感器和化学传感器&Masuo Aizawa等 673

152．使用含有固定化金属（结合）酶的蛋白酶热敏电阻对流体系统中的二价铜离子进行生物传感&Ikuo Saton等 680

153．利用合成脂中相变动态特性的味觉传感系统&Kiyoshi Toko等 684

154．测定Sake中乙醇和葡萄糖的酶传感器&Yoshiharu Tanake等 688

155．用固定化抗体的硅片实现抗原电位式测定&Eita Kinoshita等 691

156．同时测定电流和电位的集成多功能生物传感器&T.Murakami等 695

157．以磷脂双层膜为基体的集成硅生物传感器&Jose Joseph等 700

158．生物医学应用的多功能腔型探头&Otto J.prohaska 704

159．具有一个结型FET的高灵敏度生物传感器&Teruaki Katsube等 708

160．将镀铂作为一种新的转换器用于微型生物传感器&Yoshihito lkariyama等 712

生物医学应用 715

161．用限流型氧传感器连续监测吸氧量&K.sato等 715

162．血液中pH值的连续监测&Toshiyo Tamura等 719

163．人体位置和压力分布传感器&Chin-Lei Miao等 724

164．活性神经传感器噪声性能的最佳化&Vencent M.Mcneil等 728

165．多通道内皮层记录微探针——定标限度、器件特性和电路封装&Khalil Najafi等 733

化学测量系统 738

166．用于微型电流测定葡萄糖传感器的CMOS恒势器&R.F.B.Turner 738

167．利用与时间相关的化学传感器信号测定选择性&G.Jordan Maclay 742

168．伏安测量法——测定和控制薄膜型电极工艺的一种有效方法&S.Gernet 746

169．利用悬浮栅场效应晶体管测量阻抗&Steven D.Caras 749

触觉传感器 753

170．硅集成传感器&Kazuo Ayaki 753

171．具有CMOS信号处理电路的高分辨率硅压力成象传感器&Susumu Sugiyama等 758

172．可组成多路信号传输触觉阵列的超小型荷重传感器&Henry V.Allen等 763

173．集成触觉成象传感器&Paul P.L.Regtien 767

磁传感器 773

174．对曲面结边界下的双极磁传感器结构所进行的有限元分析&M.G.Guvenc 773

175．双极作用在磁晶体管中的数值模型&Arokia Nathan等 778

176．检测X、Y和Z磁场分量的集成磁传感器&Kazusuke Maenaka等 782

177．采用单个硅传感器同时测量极接近样品处的三维磁场&S.Kordic等 786

178．一种用无掩模离子注入技术制作的0.25μm霍尔传感器&Toshihiko Kanayama等 792

179．检测磁畴的半导体霍尔器件的位置敏感几何因子&A.Nathan等 796

180．集成霍尔器件中的非线性及其补偿&R.S.Popovic 799

181．用CMOS工艺制造的抑制侧壁注入式磁敏晶体管&Lj.Ristic等 804

182．二维电子气磁场传感器&Yoshinobu Sugiyama等 808

工艺技术 813

183．采用丝网印刷和烧结工艺制成的物理量与化学量传感器&Maria Prudenziati 813

184．新的三维刻蚀技术及其在制造微探头传感器中的应用&Shuichi Shoji等 819

185．固体压力传感器的连接技术&Thomas A,Knecht 823

186．用于制作离子敏感场效应晶体管及相关电路的CMOS工艺&Luc Bousse，John shott，J.D.MeindI 828

187．用于制造传感器的高纯硅工艺&W.R.Th.ten kate，S．A．Audet 834

188．传感器研究战略&Richard S,Muller 839

189．新颖的电化学微机械加工及其在半导体集成加速度传感器中的应用&Masashi NaKamura等 846

190．形成硅膜片用的新颖四电极电化学刻蚀停止法&B.Kloeck等 850

191．各向异性硅刻蚀机理及其与微机械加工的关系&H.Seidel 854

192．（100）硅各向异性腐蚀中削角补偿的研究&吴宪平 葛文勋 860

193．用于制作小型固态压力传感器硅膜片的NH4F电化学蚀刻法&Zhang Shengliang等 864

应用 868

194．反射式光敏传感器在电冰箱除霜检测器中的应用&Kazuo Suzuki等 868

195．用于汽车挡风玻璃刮雨器控制的光波导水汽检测器&D.A.Christensen 872

196．用于轮胎压力检测的硅单片开关系统&StephenC.Terry等 874

197．声化色彩鉴别系统及其对盲人训练的应用&Hisao Kato等 878