低温多晶薄膜晶体管研究PDF电子书下载
- 电子书积分:8 积分如何计算积分?
- 作 者:金仲和编著
- 出 版 社:北京:高等教育出版社
- 出版年份:2001
- ISBN:7040102838
- 页数:134 页
第1章 绪论 1
1.1 薄膜晶体管的应用 2
1.2 薄膜晶体管的分类 4
1.3 多晶薄膜晶体管的结构 6
1.4 多晶硅薄膜晶体管研究现状 7
1.4.1 非晶硅和多晶硅薄膜的淀积 7
1.4.2 非晶硅的固相结晶 9
1.4.3 脉冲激光快速退火 10
1.5 多晶锗硅薄膜晶体管研究现状 11
1.6 本书的主要内容 12
第2章 多晶锗硅薄膜的电特性 15
2.1 锗硅薄膜低压气相沉积系统简介 15
2.2 样品的制备 16
2.3 离子注入后的退火条件对电特性影响 18
2.4 离子注入前退火对电特性的影响 24
2.5 薄膜电特性与锗含量的关系 27
2.6 小结 30
第3章 锗硅薄腊晶体管的栅介质材料研究 32
3.1 用高频溅射氧化硅提高锗硅薄膜晶体管的性能 34
3.1.1 氧化硅/锗硅界面的材料分析 34
3.1.2 锗硅薄膜晶体管的制作 37
3.1.3 锗硅薄膜晶体管的电特性 39
3.2 等离子体辅助反应溅射Al2O3 41
3.2.1 氧化铝的制备及材料分析 41
3.2.2 N沟道多晶锗硅薄膜晶体管的制作 43
3.2.3 晶体管的性能 44
3.3 小结 46
第4章 金属诱导非晶硅横向结晶 48
4.1 样品的制备 50
4.2 金属诱导横向结晶多晶硅薄膜的结构 51
4.2.1 镍覆盖区下非晶硅的结晶 51
4.2.2 镍覆盖区外的非晶硅结晶 52
4.2.3 横向结晶区晶粒的精细结构 55
4.3 金属诱导横向结晶多晶硅中杂质分布 57
4.3.1 镍覆盖区下杂质的分布与状态 58
4.3.2 镍覆盖区、横向结晶区、非晶硅区的杂质含量 59
4.3.3 镍在横向结晶/非晶硅区的界面处的积聚 62
4.4 金属诱导横向结晶的速度及其制约因素 66
4.4.1 横向结晶长度、速度与退火时间的关系 66
4.4.2 横向结晶速度与退火温度的关系 68
4.4.3 横向结晶的方向性 68
4.4.4 横向结晶对镍原始图形的依赖性 71
4.4.5 镍覆盖区的存在对横向结晶的影响 73
4.4.6 非晶硅在长时间退火过程中的变化对横向结晶的影响 76
4.4.7 横向结晶对各因素依赖性的解释 77
4.5 金属诱导结晶与横向结晶的机理 78
4.5.1 共溶金属诱导结晶的理论模型 79
4.5.2 硅化物金属诱导结晶理论 79
4.5.3 对Hayzelden理论模型的修正 80
4.5.4 Hayzelden修正模型的局限性 82
4.5.5 金属诱导结晶和金属诱导横向结晶的统一理论 83
4.6 小结 85
第5章 超薄沟道多晶硅薄膜晶体管 88
5.1 器件结构与制作 90
5.2 器件的电特性 93
5.2.1 金属诱导结晶薄膜晶体管的电特性 93
5.2.2 固相结晶多晶硅薄膜晶体管的电特性 97
5.3 器件特性与材料性质的关系 99
5.3.1 迁移率与薄膜结构的关系 100
5.3.2 漏电和材料结构及杂质含量的关系 100
5.4 小结 102
第6章 总结 104
6.1 锗硅薄膜晶体管 104
6.2 金属诱导横向结晶及超薄沟道多晶硅薄膜晶体管 106
6.3 两种薄膜晶体管的应用前景 108
参考文献 109
致谢 133
- 《无机材料晶体结构学概论》毛卫民编著 2019
- 《晶体生长的物理基础》闵乃本著 2019
- 《基于超支化聚合物制备纳米晶体与诱导纳米晶体组装》石云峰著 2019
- 《岩体低温力学特性与多场耦合理论》刘泉声,康永水,黄诗冰等著 2019
- 《海岸带经济与管理》朱坚真,王锋主编;徐小怡,刘汉威,何时都副主编;朱坚真,王锋,徐小怡,刘汉斌,何时都,毛小敏,秦运巧等编著;张登义,鹿守本顾问 2013
- 《茄果类蔬菜科学施肥》张菊平,赵要尊,熊法亭编著 2013
- 《普通高等教育“十二五”规划教材 电路 第2版》刘耀年主编;郝静,霍龙副主编 2013
- 《融进三千里江山的英魂》中华文化发展促进会编 2012
- 《微积分习题与试题解析教程 第2版》陈仲主编 2013
- 《妊娠与分娩》黄海珍编著 2001
- 《市政工程基础》杨岚编著 2009
- 《家畜百宝 猪、牛、羊、鸡的综合利用》山西省商业厅组织技术处编著 1959
- 《《道德经》200句》崇贤书院编著 2018
- 《高级英语阅读与听说教程》刘秀梅编著 2019
- 《计算机网络与通信基础》谢雨飞,田启川编著 2019
- 《看图自学吉他弹唱教程》陈飞编著 2019
- 《法语词汇认知联想记忆法》刘莲编著 2020
- 《培智学校义务教育实验教科书教师教学用书 生活适应 二年级 上》人民教育出版社,课程教材研究所,特殊教育课程教材研究中心编著 2019
- 《国家社科基金项目申报规范 技巧与案例 第3版 2020》文传浩,夏宇编著 2019
- 《流体力学》张扬军,彭杰,诸葛伟林编著 2019
- 《全国高等中医药行业“十三五”创新教材 中医药学概论》翟华强 2019
- 《培智学校义务教育实验教科书教师教学用书 生活适应 二年级 上》人民教育出版社,课程教材研究所,特殊教育课程教材研究中心编著 2019
- 《指向核心素养 北京十一学校名师教学设计 英语 七年级 上 配人教版》周志英总主编 2019
- 《习近平总书记教育重要论述讲义》本书编写组 2020
- 《办好人民满意的教育 全国教育满意度调查报告》(中国)中国教育科学研究院 2019
- 《高等数学试题与详解》西安电子科技大学高等数学教学团队 2019
- 《北京生态环境保护》《北京环境保护丛书》编委会编著 2018
- 《教育学考研应试宝典》徐影主编 2019
- 《语文教育教学实践探索》陈德收 2018
- 《家庭音乐素养教育》刘畅 2018