SEMI标准年鉴 1990 第1卷 化学品部分PDF电子书下载

半导体生产用纯水的SEMI建议导则 1

1．说明 2

2．用途 2

3．规格 2

4．物理常数（仅供参考） 2

5．分析步骤（见注1、 2

1．说明 2

2．用途 2

3．规格 2

4．物理常数（仅供参考） 2

5．分析步骤（见注1、 2

1．说明 2

2．用途 2

3．规格 2

4．物理常数（仅供参考） 2

5．分析步骤（见注1、 2

1．说明 2

2．用途 2

3．规格 2

4．物理常数（仅供参考） 2

5．分析步骤（见注1、 2

1．说明 2

2．用途 2

3．规格 2

4．物理常数（仅供参考） 2

5．分析步骤（见注1、 2

1．说明 2

2．用途 2

3．规格 2

4．物理常数（仅供参考） 2

5．分析步骤（见注1、 2

1．说明 2

2．用途 2

1．说明 2

2．用途 2

3．规格 2

4．物理常数（仅供参考） 2

5．分析步骤（见注1、 2

3．规格 2

4．物理常数（仅供参考） 2

5．分析步骤（见注1、 2

1．说明 3

2．用途 3

3．规格 3

4．物理常数（仅供参考） 3

5．分析步骤（见注2、 3

1．说明 3

2．用途 3

3．规格 3

4．物理常数（仅供参考） 3

5．分析步骤（见注1、2、 3

试验规范 4

1．说明 4

2．用途 4

3．规格 4

4．物理常数（仅供参考） 4

5．分析步骤（见注3、 4

1．说明 5

2．用途 5

3．规格 5

4．电性能规格 5

5．物理常数（仅供参考） 5

6．分析步骤（见注 5

1．说明 5

2．用途 5

3．规格 5

4．电性能规格 5

5．分析步骤（见注 5

1．说明 5

2．用途 5

3．规格 5

4．物理常数（仅供参考） 5

5．分析步骤（见注2、3、4、 5

1．说明 5

2．用途 5

3．规格 5

4．物理常数（仅供参考） 5

5．分析步骤（见注3、4、 5

中文版前言 7

前言 21

出版物定购单 25

SEMI通信 27

组织机构图解 30

乙酸标准 31

委员会介绍 33

丙酮标准 35

国际标准委员会 37

地区标准委员会 38

40％氟化铵溶液标准 38

氢氧化铵标准 41

乙酸正丁酯标准 44

二氯甲烷标准 47

六甲基二硅氮烷（HMDS）标准 50

盐酸标准 53

氢氟酸标准 57

过氧化氢标准 60

甲醇标准 63

地区委员会一览表 65

丁酮标准 66

1－甲基－2－吡咯烷酮标准 69

硝酸标准 72

磷酸标准 74

粒状氢氧化钾标准 78

2－丙醇标准 81

2．用途 82

3．规格 82

SEMI C4— 82

1．说明 82

4．物理常数（仅供参考） 82

SEMI C5— 84

粒状氢氧化钠标准 84

1．说明 85

2．用途 85

3．规格 85

4．物理常数（仅供参考） 85

SEMI C3.20— 85

SEMI C3.25— 85

SEMI C3.8— 86

1．说明 86

2．用途 86

3．规格 86

4．电性能规格 86

5．物理常数（仅供参考） 86

6．分析步骤 86

SEMI C3.9— 86

1．说明 86

2．用途 86

3．规格 86

4．电性能规格 86

5．物理常数（仅供参考） 86

6．分析步骤 86

SEMI C3.10— 86

1．说明 86

2．用途 86

3．规格 86

4．电性能规格 86

5．物理常数（仅供参考） 86

6．分析步骤 86

SEMI C3.11— 86

1．说明 87

2．用途 87

3．规格 87

4．化学规格 87

5．物理常数（仅供参考） 87

SEMI C3.32— 87

硫酸标准 87

1．说明 87

2．用途 87

3．规格 87

4．物理常数（仅供参考） 87

SEMI C3 STD.33— 87

1．说明 88

2．用途 88

3．规格 88

4．化学规格 88

5．物理常数（仅供参考） 88

SEMI C3.4— 88

SEMI C3.19— 88

SEMI C3.30— 88

1．说明 88

2．用途 88

3．规格 88

4．物理常数（仅供参考） 88

5．分析步骤 88

SEMI C3.3— 88

SEMI C3.1— 88

1．说明 88

2．用途 88

3．规格 88

4．物理常数（仅供参考） 88

SEMI C3.5— 88

SEMI C3.15— 88

SEMI C3.13— 88

SEMI C3.22— 88

1．说明 88

2．用途 88

3．规格 88

4．物理常数（仅供参考） 88

SEMIC3.6— 88

1说明 88

2．用途 88

3．规格 88

4．物理常数（仅供参考） 88

SEMI C3 STD.7— 88

1．说明 88

2．用途 88

3．规格 88

4．物理常数（仅供参考） 88

SEMI C3.2— 88

1．规格 88

2．物理特性（仅供参考） 88

3．方法 88

SEMI C1.26— 88

1．说明 88

2．用途 88

3．规格 88

4．物理常数（仅供参考） 88

SEMI C3.27— 88

4．仪器 89

1．说明 89

2．用途 89

3．规格 89

4．化学规格 89

5．物理常数（仅供参考） 89

6．分析步骤 89

SEMI C3.40— 89

5．试验方法 89

6．规格 89

1．说明 89

2．用途 89

3．规格 89

4．物理常数（仅供参考） 89

SEMI C3.18— 89

7．报告 89

3．方法 89

SEMI C3.31— 89

8．精密度 89

SEMI C1.13— 89

SEMI C6.1— 89

7．报告 89

1．说明 89

2．用途 89

3．规格 89

4．化学规格 89

5．物理常数（仅供参考） 89

1．前言 89

2．定义 89

3．样品（试样） 89

4．采样 89

5．定量（待规定） 89

6．气相色谱法（待规定） 89

7．特殊的分析 89

8．标样 89

9．精密度的确定 89

SEMI C3.12— 89

SEMI C3.37— 89

3．定义 89

1．说明 89

2．用途 89

3．规格 89

4．物理常数（仅供参考） 89

SEMI C3.36— 89

1．说明 89

2．用途 89

3．规格 89

4．物理常数（仅供参考） 89

SEMI C3.35— 89

SEMI C3.39— 89

SEMI C3.14— 89

2．物理特性（仅供参考） 89

1．目的 89

2．范围 89

4．仪器 89

3．选用定义 89

1．规格 89

SEMI C6.3— 89

6．规格 89

4．仪器 89

5．试验方法 89

6．规格 89

SEMI C3.38— 89

5．试验方法 89

1．目的 89

2．范围 89

7．报告 89

8．精密度 89

SEMI C6.2— 89

SEMI C3.26— 89

2．范围 89

1．目的 89

1．说明 89

2．用途 89

3．规格 89

4．物理常数（仅供参考） 89

3．选用定义 89

SEMI C6.4— 90

2．用途 90

3．规格 90

4．物理常数（仅供参考） 90

SEMI C3.21— 90

2．范围 90

1．导则参数 90

2．物理特性 90

3．方法 90

SEMI C7.5— 90

3．选用定义 90

1．导则参数 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

SEMI C1.19— 90

SEMI C1.15— 90

1．规格 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

SEMI C1.20— 90

SEMI C7.6— 90

4．仪器 90

1．导则参数 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

SEMI C7.7— 90

5．试验方法 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

SEMI C1.7— 90

1．导则参数 90

1．规格 90

2．物理特性（仅供参考） 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

3．方法 90

SEMI C1.8— 90

SEMI C7.8— 90

1．规格 90

2．物理特性（仅供参考） 90

SEMI C3.34— 90

6．规格 90

1．规格 90

2．物理特性 90

3．方法 90

SEMI C1.16— 90

3．方法 90

1．导则参数 90

3．方法 90

SEMI C1.11— 90

3．方法 90

1．规格 90

2．物理特性（仅供参考） 90

1．规格 90

1．目的 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

SEMI C3— 90

7．报告 90

8．校准 90

3．方法 90

2．范围 90

1．规格 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

SEMI C2— 90

1．规格 90

1．前言 90

3．选用定义 90

SEMI C1.25— 90

1．规格 90

2．物理特性（仅供参考） 90

2．物理特性（仅供参考） 90

SEMI C1.12— 90

2．定义 90

4．仪器 90

1．背景 90

2．界限水平 90

3．导则的使用 90

4．单位 90

5．试验概述 90

3．通用方法和某些方法的导则 90

5．试验方法 90

4．试剂和标准溶液 90

5．安全 90

SEMI C2.2— 90

SEMI C1.9— 90

1．定义 90

2．组成 90

6．规格 90

1．规格 90

1．规格 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．容许差 90

9．安全 90

7．报告 90

6．参考文献 90

SEMI C1— 90

1．规格 90

1．前言 90

2．定义 90

SEMI C6.5— 90

1．说明 90

2．用途 90

3．规格 90

4．物理常数（仅供参考） 90

SEMI C3.43— 90

SEMI C6.6— 90

4．最大杂质量 90

5．方法 90

SEMI C2.1— 90

SEMI C1.22— 90

1．定义 90

1．目的 90

3．通用方法和某些方法的导则 90

4．试剂和标准溶液 90

5．安全 90

SEMI C1.1— 90

3．方法 90

2．组成 90

2．范围 90

1．规格 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

SEMI C1.2— 90

SEMI C1.14— 90

SEMI C3.28— 90

3．选用定义 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

SEMI C1.23— 90

1．规格 90

1．规格 90

SEMI C3.29— 90

4．仪器 90

1．规格 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

SEMI C1.5— 90

2．物理特性 90

3．容许差 90

5．试验方法 90

3．方法 90

SEMI C1.10— 90

1．规格 90

1．规格 90

2．物理特性（仅供参考） 90

4．最大杂质量 90

6．规格 90

1．说明 90

2．用途 90

3．规格 90

4．物理常数（仅供参考） 90

5．分析步骤 90

SEMI C3.16— 90

7．报告 90

1．说明 90

2．用途 90

3．规格 90

4．物理常数（仅供参考） 90

5．分析步骤 90

SEMI C3.17— 90

8．精密度 90

1．说明 90

2．用途 90

3．规格 90

4．物理常数（仅供参考） 90

5．分析步骤 90

SEMI C3.23— 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

SEMI C1.3— 90

3．方法 90

1．规格 90

2．物理特性（仅供参考） 90

SEMI C3.41— 90

3．方法 90

5．方法 90

SEMI C2.3— 90

SEMI C1.4— 90

1．定义 90

2．组成 90

SEMI C3.42— 90

3．容许差 90

4．最大杂质量 90

5．方法 90

SEMI C7.1— 90

1．导则参数 90

2．物理特性（仅供参考） 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

3．方法 90

SEMI C1.17— 90

四氯乙烯标准 90

1．规格 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

SEMI C1.18— 90

SEMI C7.2— 90

1．规格 90

1．规格 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

SEMI C1.24— 90

2．物理特性（仅供参考） 90

1．导则参数 90

3．方法 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

SEMI C7.3— 90

2．物理特性（仅供参考） 90

1．规格 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

SEMI C1.21— 90

1．说明 90

2．用途 90

3．规格 90

4．电性能规格 90

5．物理常数（仅供参考） 90

SEMI C3.24— 90

3．方法 90

1．规格 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

SEMI C1.6— 90

SEMI C7.4— 90

1．目的 90

1．导则参数 90

2．物理特性（仅供参考） 90

3．方法 90

1．说明 90

甲苯标准 93

电子级1,1,1－三氯乙烷标准 96

熔炼级1,1,1－三氯乙烷标准（暂定） 99

三氯乙烯标准 102

三氯三氟乙烯标准 105

二甲苯标准 108

蚀刻剂规范 111

经缓冲的氧化物蚀刻剂标准 113

混合酸蚀刻剂标准 116

磷酸蚀刻剂标准 119

氢氧化铵导则 124

盐酸导则 126

氢氟酸导则 128

4.9％氢氟酸（10:1 v/v）导则 130

过氧化氢导则 132

硝酸导则 134

2－丙醇导则 136

硫酸导则 138

气体规范 140

钢瓶装氨（NH3）标准 149

散装液氩（Ar）标准 155

钢瓶装载气级氩（Ar）标准 159

散装VLSI级氩（Ar）标准（暂定） 163

钢瓶装砷化三氢（AsH3）标准（暂定） 165

三氯化硼（BCl3）标准（暂定） 167

钢瓶装三氟化硼（BF3）标准（暂定） 169

钢瓶装四氟化碳（CF4）标准（暂定） 171

VLSI级四氟化碳（CF4）标准（暂定） 177

氯（Cl2）标准（暂定） 179

钢瓶装二氯硅烷（H2SiCl2）标准 181

钢瓶装MOS级二氯硅烷（H2SiCl2）标准（暂定） 183

乙硅烷（Si2H6）标准（暂定） 185

钢瓶装氦（He）标准 187

钢瓶装六氟乙烷（C2F6）标准（暂定） 191

SEMI级六氟乙烷（C2F6）标准（暂定） 193

散装液氢（H2）标准 195

钢瓶装载气级氢（H2）标准 199

散装VLSI级氢（H2）标准 203

钢瓶装氯化氢（HCl）标准（暂定） 208

SEMI级氯化氢（HCl）标准（暂定） 210

VLSI级氯化氢（HCl）标准（暂定） 212

无水氟化氢（HF）标准（暂定） 214

散装液氮（N2）标准 216

钢瓶装载气级氮（N2）标准 221

钢瓶装VLSI级氮（N2）标准 225

散装VLSI级气态氮（N2）标准 229

钢瓶装一氧化二氮（N2O）标准 233

散装液态氧（O2）标准 241

钢瓶装电子级氧（O2）标准 248

钢瓶装MOS级氧（O2）标准 255

钢瓶装VLSI级氧（O2）标准 262

散装VLSI级氧（O2）标准（暂定） 270

钢瓶装电子级磷化氢（PH3）标准 272

钢瓶装LED级磷化氢（PH3）标准 274

钢瓶装外延级硅烷（SiH4）标准 275

钢瓶装多晶硅和／或二氧化硅级硅烷（SiH4）标准 282

钢瓶装四氮化三硅级硅烷（SiH4）标准 289

钢瓶装四氯化硅（SiCl4）标准（暂定） 296

钢瓶装六氟化硫（SF6）标准 297

钢瓶装六氟化钨（WF6）标准（暂定） 301

VLSI级六氟化钨（WF6）标准（暂定） 302

粘度测定方法，方法A——运动粘度 304

光致抗蚀剂中水含量测定方法 305

作为管道气体输送的20/0.2级氢（H2）的颗粒规格 306

作为管道气体输送的10/0.1级氮（N2）和氩（Ar）的颗粒规格 309

作为管道气体输送的20/0.2级氮（N2）和氩（Ar）的颗粒规格 312

作为管道气体输送的10/0.2级氮（N2）和氩（Ar）的颗粒规格 315

作为管道气体输送的20/0.02级氮（N2）和氩（Ar）的颗粒规格 318

作为管道气体输送的20/0.2级氧（O2）的颗粒规格 321

三氟化氮（NF3）标准（暂定） 324

用于制造半导体的气体和／或系统的定义 326

1．概述 326

2．用途 326

3．规格 326

4．物理常数（仅供参考） 326