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第一章 等离子体基本知识 1

1.1 等离子体概述 1

1.2 等离子体基本参数及其性质 8

1.3 等离子体热力学性质 15

1.4 等离子体温度 18

习题与思考题 18

第二章 等离子体中粒子间的碰撞和等离子体元过程 20

2.1 碰撞类型和碰撞参量 20

2.2 等离子体中的粒子 26

2.3 等离子体中的元过程 29

2.4 核聚变 35

2.5 等离子体与固体表面的相互作用 41

习题与思考题 48

第三章 单粒子轨道理论 49

3.1 单个带电粒子的运动方程 49

3.2 带电粒子的漂移运动 53

3.3 寝渐不变量 62

3.4 磁镜效应 63

习题与思考题 65

第四章 磁流体力学理论 67

4.1 流体概述 67

4.2 流体力学方程 69

4.3 磁流体方程组 72

4.4 磁流体力学基本定律 75

习题与思考题 79

第五章 等离子体的产生 80

5.1 气体放电的一般过程 80

5.2 电晕放电和火花放电 84

5.3 低气压辉光放电 86

5.4 交变场中的气体放电 88

5.5 大气压放电等离子体 99

习题与思考题 106

第六章 低气压冷等离子体的应用 107

6.1 冷等离子体对金属材料的表面改性 108

6.2 等离子体源离子注入 122

6.3 冷等离子体对高分子材料表面的改性 133

6.4 等离子体在半导体工艺中的应用 140

习题与思考题 144

第七章 大气压冷等离子体的应用 145

7.1 大气压等离子体的研究现状 145

7.2 大气压DBD等离子体中的基本化学过程 151

7.3 DBD等离子体应用举例 155

习题与思考题 169

第八章 热等离子体的应用 170

8.1 磁流体发电 170

8.2 电弧等离子体炬 174

8.3 等离子体熔覆 178

8.4 高频等离子体炬 191

习题与思考题 194

第九章 等离子体诊断 195

9.1 静电探针 196

9.2 光谱诊断 201

9.3 激光诊断 207

习题与思考题 208

第十章 液相等离子体 209

10.1 等离子体电解 209

10.2 等离子体电解氧化 215

10.3 等离子体电解渗透 222

习题与思考题 229

参考文献 230