李志坚文集 下PDF电子书下载

（下） 1025

战略展望 1025

关于摩尔定律延伸的探讨 1025

微电子技术发展与物理学 1033

GMR生物传感器研究进展 1046

从ULSI芯片的性能能量效率展望21世纪信息电子学的发展 1053

器件物理 1077

溶胶凝胶法制备的Mn掺杂BST薄膜的XPS特性 1077

用于MEMS的（100）取向PZT薄膜的制备 1084

溶胶凝胶法制备的硅基BST薄膜的特性 1091

用于集成器件的硅基压电薄膜的制备和刻蚀 1098

薄膜体声波谐振器的建模和仿真 1105

厚度均匀的BST铁电厚膜及其在射频MEMS器件中的应用 1112

氧注入制作的SOI中埋氧热导率的测量 1121

Mn掺杂BST薄膜的制备与表征 1126

溶胶凝胶法制备的Mn掺杂BST薄膜的特性 1132

局部注氧隔离制作的新型DSOI MOSFET的热学特性研究 1137

硅基PLZT厚膜的制备和特性研究 1143

DSOI,SOI和体硅MOSFET的特性测量比较 1150

用于FeFET的PZT基MFS结构 1157

剥离法制作高品质PZT厚膜 1164

用于MFSFET的硅基PLZT薄膜的制备和特性 1171

多层Ge量子点的光学特性和结构研究 1178

集成电路技术 1185

一种多分辨率组合的模糊神经网络分类器 1185

模拟神经元电路实现研究现状与进展 1197

一种基于超盒表示的规则提取方法 1215

用于规则模式分类的模糊Petri网 1225

使用学习样本构建的模糊控制系统在倒立摆中的应用 1234

用于MFSFET的硅基PZT薄膜的制备和特性 1239

一种模拟自适应模糊控制器的设计 1246

基于电荷泵实现的模糊控制器去模糊电路设计 1256

新结构重心法去模糊单元电路设计 1262

系统集成技术 1271

高灵敏度微机械薄膜的设计、模拟与优化 1271

梁式铁电－硅微麦克风和扬声器的设计优化 1281

超声波激励的（100）硅各向异性腐蚀研究 1288

具有高灵敏度圆形纹膜的单芯片电容式微麦克风 1297

硼预淀积对自组织生长Ge量子点尺寸分布的影响 1305

溶胶凝胶法铁电三明治结构的制备和表征 1312

硅基衬底Ba0.5Sr0.5TiO3厚膜制备的sol-gel新方法 1319

新型非平面振膜电容式换能器的比较研究 1326

用于FeRAM的高品质铁电电容 1335

一种新型的单FET铁电非挥发存储器的单元和阵列结构 1341

具有PZT薄膜驱动悬臂式微镜的新型微光学开关阵列 1346

硅微机械悬浮结构电感的设计与制作工艺研究 1353

使用DRIE和背面刻蚀技术的单芯片电容式微麦克风 1361

体声波滤波器的表面微加工 1373

PZT基射频滤波器的优化 1380

一种新型的铁电微麦克风 1387

大束流Co离子注入形成CoSi2/Si Schottky结的特性 1392

微电子应用中的压电和铁电薄膜 1398

用于射频通讯的PZT的高频特性 1407

基于硅基铁电薄膜的微麦克风 1413

三轴压电加速度计的设计 1419

局部注氧隔离制作的DSOI MOSFET的实验结果 1426

用于射频领域的高调节范围MEMS压控电容 1435

基于高品质PZT的压电微麦克风的制作 1441

用于MEMS硅模技术制备的高品质PZT厚膜 1448

Ni81Fe19层厚度对自旋阀巨磁电阻性能的影响 1454

用于集成磁传感器的热稳定巨磁电阻自旋阀D 1457

用于衬底隔离的选择性氧化多孔硅厚膜的制备 1461

热环境对微机械多晶硅薄膜电阻电特性的影响 1464

多孔硅作为牺牲层的镂空氧化物薄膜上平面线圈的制作 1472

通过控制Si的浓度实现具有均匀形状和大小的自组装SiGe岛 1481

高介电常数介质RF MEMS开关的制作研究 1486

硅基微波和射频MEMS器件制作中的关键技术 1492

具有复合薄膜的压控电容研究 1501

利用新型建模方法进行线圈电感调谐的RF MEMS旁路开关设计 1509

用于铁电存储器的反应离子刻蚀和离子束刻蚀 1517

硅基铁电器件中的关键集成技术和问题 1523

铁电－硅集成微麦克风和扬声器研究 1533

三极板型RFMEMS压控电容的分析与制作 1542

RIE对巨磁电阻自旋阀磁性能的影响 1545

氧化多孔硅上制作Cu电感的研究 1551

两侧下拉电极MEMS压控电容的分析和优化 1557

高阻硅上RF-MEMS共面波导设计及测量研究 1569

一种K波段双桥电容式RF MEMS开关的设计与制作 1578

斜拉梁结构的RF-MEMS开关制作研究 1587

一种X波段RF MEMS开关的设计与制作研究 1593

高灵敏度简单自旋阀中GMR和NiFe层厚度的关系 1600

介质表面形貌对射频微机械开关隔离度的影响 1607

高阻衬底上双层线圈大值电感研究 1614

旁路电容式RF MEMS开关的可靠性研究 1622

SP4T RF MEMS开关的键合封装 1630

低损耗衬底上的一种无源低通滤波器 1638

基于压电薄膜的微声学器件 1647

PZT基超声换能器性能一致性的改进 1657

应用于0～10GHz的介质桥膜型MEMS串联接触开关 1665

一种旁路电容式RF MEMS开关的动态特性研究 1672

应用改进结构的超薄单晶硅薄膜热导率的测量 1678

使用传统光刻和气体各向同性刻蚀的氮化硅纳米机械结构的制作 1685

多层复合结构应变硅材料的生长和特性 1692

一种新型三谐振点电容式RF MEMS开关 1700

PZT基微麦克风阵列的方向性优化 1706

退火温度对溅射法制备的PZT薄膜性能的影响 1715

一种SiON介质桥膜结构的串联接触MEMS开关的实现 1723