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绪论 1

第一章 真空技术的物理基础(一)——气体分子运动 8

1—1 气体分子运动论的基本原理 8

1—2 气体的压强 15

1—3 气体分子的速率分布——麦克斯韦速率分布律 16

1—4 平均自由程与碰撞截面 19

1—5 自由程长度分布律 25

1—6 电子碰撞气体引起的电离 26

1—7 单位时间碰壁数(碰撞频度) 28

1—8 分子从表面的反射——余弦定律(克努曾定律) 30

1—9 气体中的输运现象 32

1—10 低压气体中的输运现象 42

1—11 热流逸现象 47

1—12 分子辐射计力 50

1—13 气体在管道中的流动 51

1—14 气体通过小孔的流动 56

1—15 流导与流阻、传输几率 57

第二章 真空技术的物理基础(二)——固-气界面现象 66

2—1 固体表面对气体分子的作用力 66

2—2 物理吸附与化学吸附 68

2—3 吸附速率 73

2—4 脱附速率 74

2—5 吸附等温线 76

2—6 朗谬尔吸附等温线 79

2—7 多分子层吸附等温线(BET等温线) 81

2—8 混合气体的吸附——冷捕集与置换 82

2—9 表面迁移 85

2—10 管道有吸附作用时的非稳定气体流 87

2—11 气体在固体中的溶解、渗透与扩散 89

2—12 电子碰撞脱附 93

2—13 离子轰击固—气界面 97

第三章 真空获得 105

3—1 概述 105

3—2 旋转机械真空泵 107

3—3 蒸汽流扩散泵 110

3—4 低温吸附泵 117

3—5 钛升华泵 119

3—6 热阴极吸气离子泵 122

3—7 溅射离子泵 124

3—8 涡轮分子泵 129

3—9 低温泵 133

3—10 超高真空获得技术 137

第四章 真空的测量 147

4—1 概述 147

4—2 U形真空计和压缩真空计 149

4—3 热传导真空计 154

4—4 热阴极电离真空计 161

4—5 超高真空热阴极电离真空计 173

4—6 自持放电型真空计 181

4—7 分压强真空计 185

4—8 其他真空计 195

4—9 相对真空计的校准 197

4—10 真空测量技术 199

第五章 真空检漏 205

5—1 概述 205

5—2 检漏基本原理 208

5—3 压力检漏法 212

5—4 真空检漏法 213

5—5 其他检漏方法 220

5—6 标准漏孔、漏气量的测定 221

第六章 真空系统 226

6—1 概述 226

6—2 真空系统的材料 226

6—3 真空系统的零件 232

6—4 真空系统的组装技术 235

6—5 典型真空系统举例 240

6—6 真空系统的计算 243

参考资料 269