低温尘埃等离子体PDF电子书下载

第1章 尘埃等离子体概述 1

1.1 尘埃等离子体简介 2

1.2 低温尘埃等离子体应用 8

1.3 低温尘埃等离子体的研究方法及现状 11

1.4 本章小结 16

第2章 低温尘埃等离子体物理基础 17

2.1 尘埃颗粒的形成和生长 17

2.2 尘埃颗粒的充电 19

2.3 尘埃颗粒的受力 23

2.4 本章小结 26

第3章 硅薄膜中尘埃颗粒成核阶段 27

3.1 概述 27

3.2 模型描述 28

3.3 模拟结果与讨论 39

3.4 本章小结 47

第4章 硅薄膜中尘埃颗粒凝聚阶段 48

4.1 概述 48

4.2 凝聚过程模拟 49

4.3 结果与讨论 52

4.4 本章小结 59

第5章 甚高频放电中尘埃颗粒生长阶段的二维模拟 60

5.1 概述 60

5.2 二维模型描述 61

5.3 模拟结果与讨论 63

5.4 本章小结 70

第6章 碳薄膜中尘埃颗粒形成机制研究 73

6.1 概述 73

6.2 模型描述 75

6.3 模拟结果与讨论 88

6.4 本章小结 93

第7章 脉冲调制射频放电中尘埃颗粒生长机制研究 94

7.1 概述 94

7.2 模型描述 96

7.3 结果与讨论 98

7.4 本章小结 103

第8章 结论 104

参考文献 106