半导体电磁参数的测量PDF电子书下载

第一章 电阻率和电导率 1

1.0 引言 1

1.1 两探针法电阻率测量 3

1.2 共线四探针法电阻率测量 7

1.3 方形四探针法电阻率测量 13

1.4 探针和测量仪器 20

1.5 任意形状薄片样品的电阻率测量 25

1.6 电极尺寸、位置及几何形状引起的误差 31

1.7 无电极法电阻率测量 39

参考文献 45

第二章 霍尔效应 49

2.0 引言 49

2.1 测量步骤 55

2.2 系统误差 62

2.3 任意形状样品的霍尔效应 66

2.4 测量装置和测量技术 73

2.5 微波霍尔效应 79

2.6 螺旋波（Helicon Waves） 82

参考文献 85

第三章 磁阻 89

3.0 引言 89

3.1 几何磁阻 92

3.2 干扰和不均匀性 96

3.3 物理磁阻 102

3.4 微波磁阻 106

参考文献 114

第四章 载流子传输参数 117

4.0 引言 117

4.1 本征导电和近本征导电 119

4.2 非本征和补偿材料 126

4.3 简并性 130

4.4 载流子在导带间和价带间的传输 133

4.5 载流子迁移率 139

参考文献 145

第五章 非均匀和各向异性材料 148

5.0 引言 148

5.1 扩散和离子注入 149

5.2 有序夹杂物和电导率条纹 159

5.3 多晶和多相材料 168

5.4 各向异性材料 172

参考文献 175

第六章 受表面空间电荷控制的测量 179

6.0 引言 179

6.1 平衡态和准静态特性 185

6.2 高频和非平衡的C-V测量 192

6.3 复数导纳的测量 195

6.4 自由载流子浓度的分布 200

6.5 栅控电导率和霍尔系数测量 205

参考文献 215

第七章 电学特性的空间分布 218

7.0 引言 218

7.1 光学法和光伏扫描法 219

7.2 测定电导率梯度分布图的电子束法 229

7.3 探针位置分布和等电阻率图 236

7.4 保角变换和有限差分法 241

7.5 扩展电阻技术 248

参考文献 251

第八章 高电阻率材料的电学测量 255

8.0 引言 255

8.1 直流测量法 255

8.2 交流测量技术 265

8.3 绝缘体的电学测量 269

参考文献 278

第九章 温差电和热磁效应测量 281

9.0 引言 281

9.1 塞贝克测量 287

9.2 热磁效应测量 298

9.3 热传输参数 301

9.4 非均匀材料的热电磁特性 304

参考文献 307

第十章 自动测量和计算机辅助测量 311

10.0 引言 311

10.1 电阻率和霍尔系数的自动测量 317

10.2 分时计算机控制测量 327

10.3 烘箱、低温恒温器和温度控制器 334

10.4 数字化可编程序部件 336

参考文献 338