第四届全国敏感元件与传感器学术会议论文集PDF电子书下载

一．大会报告 1

1．航天遥测传感器技术发展概况&宋宗炎 1

2．微机械传感器的新进展&鲍敏杭 5

3．InSh薄膜磁敏元件规模生产中的问题&于成民 12

4．化学传感器当前面临问题及应用前景&陈克铭 16

二．力敏材料、元件及力学量传感器 22

1．数字量传感器的原理与发展&冯冠平 22

2．多晶硅X型压力传感器&田雷 齐虹 李丹 李瑞 王善慈 28

3．纳米硅薄膜的压阻效应及其应用&于晓梅 何宇亮 30

4．单晶金刚石薄膜外延生长研究&陈庆贵 王其闵 史日华 董荣康 32

5．用激光束成像法研究簧片式硅弹性膜的应变&温明生 唐世洪 戴薇 34

6．E型扩散硅力敏器件的设计与制作&李妍君 乔文华 李天茂 吴丁民 季安 庞世信 37

7．石英音叉压力敏感元件灵敏度提高的研究&林江 赵宇 张滨华 薛宝东 陈罡 刘伟 39

8．扩散硅压力传感器零位温度系数的双桥补偿法&吴宪平 胡美凤 罗桂隆 龚凤英 41

9．双岛结构扩散硅压力传感器的过压保护研究&吴宪平 胡美凤 43

10．扩散硅压力传感器规模生产中的有关问题&庞世信 45

11．采用硅-硼硅玻璃-金属复合结构的新型微压力传感器&张滨华 林江 李忠晓 48

12．一种高线性度SOI压力传感器芯片设计&李金华 周倜 许龙金 陆德仁 50

13．对称岛膜结构硅电容压力传感器的研究&李听欣 鲍敏杭 朱海军 沈绍群 52

14．口腔肌肉压力传感器研究&谢会开 詹嘉乐 熊建军 刘理天 54

15．多功能力敏器件&庞世信 唐慧 徐淑霞 刘沁 吕忠刚 56

16．压力传感器的低漂移化的研究&唐慧 58

17．提高应变式压力传感器精度的一些措施&王若松 60

18．20Kpa小量程厚膜压力传感器&马以武 常慧敏 张绪萌 刘高升 62

19．厚膜力传感器一体化补偿热敏桨料的研究&刘高升 常慧敏 张绪萌 马以武 64

20．厚膜压力传感器的集成化研究&马以武 常慧敏 刘高升 张绪萌 戈瑜 66

21．电动汽车用无刷电机位置传感器&常耿 徐玉铮 付志斌 宋单 68

22．静压、差压组合式传感器及系统的研制&张声良 屈晓声 郝梅 70

23．电感调频式荷重传感器&王德盛 73

24．三种结构的压阻式加速度传感器特性比较&胡澄宇 陈宏 沈绍群 鲍敏杭 75

25．微机械结构硅加速度传感器的空气阻尼&陈宏 陶盛 鲍敏杭 沈绍群 77

26．硅微加速度传感器过载能力的设计与测试&陈宏 陶盛 沈绍群 鲍敏杭 79

27．石英挠性加速度传感器的电激励建模&钮永胜 郭振芹 段尚枢 周庆东 81

28．消除横向效应的硅一体化加速度传感器的设计与制作&周伟勤 金仲和 徐义刚 王跃林 胡鑫松 83

29．新型后坐加速度开关阵列传感器&李科杰 石庚辰 85

30．高精度电容加速度检测仪设计&杜玉峰 87

31．微型电容加速度传感器的设计与研制&马青华 陶盛 鲍敏杭 李昕欣 沈绍群 89

32．新型簧片式硅加速度传感器的研制&温明生 唐世洪 刘理天 谢会开 谭智敏 91

33．压阻式双轴加速度计的研究&李瑞 付敬奇 张军 林冬辉 胡凤霞 94

34．气流式加速度传感器&李邓化 陈占先 96

35．棒状非接触直线大位移传感器&生寿华 99

36．悬桥式流量传感器响应时间和最小流量的检测&陆德仁 熊斌 焦继伟 王渭源 101

37．高灵敏管道外夹持超声流量传感器研究&袁易全 103

38．谐振式传感器的新进展&刘广玉 樊尚春 魏鸿然 105

39．低压高能型压敏电阻研制&王克逸 季幼章 109

40．谐振传感器的闭环振荡电路研究&王亚强 金仲和 王跃林 徐义刚 丁纯 111

41．电涡流效应的材质特性及其应用&宋单 徐玉铮 常耿 彭承正 113

42．掺Y3＋、La3＋的（Sr,Ca）TiO3系电容-压敏多功能陶瓷&蔡赵辉 邹秦 孟中岩 115

三．气敏材料、元件及气敏传感器 117

1．气敏传感器发展现状与趋势&沈瑜生 117

2．一种新型的气敏传感器粘结浆料&陶文成 李同泉 张代瑛 苏功宗 121

3．SnO2粒径与生长热力学研究&王宗昌 张桂芳 郑子冀 123

4．常压CVD法淀积薄膜Fe2O3气敏材料&柴常春 仝刚 125

5．SAW气体传感器中的电导变化效应分析&戴恩光 冯冠平 127

6．In2O3薄膜的AET作用及其对O3的敏感性研究&牛文成 徐春林 张福海 祁增芳 张玉英 130

7．a-Fe2O3系材料的微结构、催化性能与气敏特性&张瑞芳 张天舒 沈渝生 刘杏芹 132

8．一种新型胶体膜气敏元件&张耀华 刘锦淮 唐红霖 134

9．ZnSnO3气敏薄膜的制备与应用&唐红霖 张耀华 祁志美 刘锦淮 136

10．SbxSn1-xO2半导体的固溶与导电机制研究&刘杏芹 朱海宁 沈瑜生 138

11．SnO2敏感材料选择性研究&王宗昌 张桂芳 郑子冀 140

12．溶胶--凝胶SnO2气敏薄膜的特性研究&祁志美 韩泾鸿 张耀华 唐红霖 142

13．SnO2气敏元件热特性规律研究&迟宗涛 孙光辉 145

14．V、P对SnO2电学行为的影响研究&邓希敏 郭进 黄津梨 147

15．SnO2超微粒薄膜气敏选择性研究&候后琴 丁召 罗昌新 连红 148

16．Pd在SnO2薄膜上的淀积、扩散及对气敏性能的影响&曾宇平 张天舒 沈瑜生 151

17．混合电势型CO传感器研究&王鹏 吴驰明 孙成文 杨芝洲 153

18．YSZ/Pt电极检测空气中的CO浓度&孙成文 王鹏 王梅东 杨芝洲 155

19．SPE--氧化碳传感器的响应时间&严河清 陆君涛 王鄂凤 157

20．用半导体传感器阵列对酒类鉴别的研究&梁坚 沈悦 辛德瑗 陆毅新 胡真 159

21．粉末溅射平面薄膜型酒敏传感器&李蕾 刘文利 李建明 裘南畹 161

22．新型电化学式H2S气体传感器的研制&祁欣 163

23．一种具有极高灵敏度的H2S气敏元件&全宝富 孙良彦 张彤 165

24．厚膜型甲烷气体敏感元件&李先全 黄元龙 罗凤兰 167

25．智能型甲烷测定仪&王剑钢 李宝华 孙良彦 169

26．味觉电化学传感器的研究&金利通 毛煜 赖宗声 胡健 171

27．新型嗅觉传感器与气味识别&王平 李蓉 陈裕泉 173

28．新型组合式气敏元件的研制&付蔷 黎丽琳 才春莉 176

29．电化学气体传感器应用初探&黎丽琳 李淑霞 张亚力 178

30．聚邻甲苯胺的合成和氨敏特性&吴家琨 董志武 韩晶波 胡志江 180

31．低浓度氨敏元件的研制&李淑霞 才春莉 182

32．实现快速重复测量微分输出式氯气传感器&李听欣 郎海宁 185

33．气敏元件瞬态特性计算辅助测试系统设计&刘笃仁 彭军 187

34．气体监测系统中气敏信号的远距离采集与传输&顾文照 189

四．微机械加工及微电子机械系统 193

1．微电子机械系统&王渭源 193

2．感应电悬浮原理及实验&何国鸿 陈抗生 谭淞生 王渭源 197

3．静电梳谐振子动力学模型研究分析&李碧洲 李平梁 赖宗声 王添平 刘芳 陆德仁 199

4．电热致动体硅微流体泵&战长青 刘理天 钱佩信 201

5．硅台阶无掩膜腐蚀技术与对称梁岛结构的研制&李听欣 鲍敏杭 马青华 陶盛 203

6．低应力薄膜工艺技术的研究&邹泉波 刘理天 李志坚 205

7．多孔硅作为牺牲层材料的研究及其应用&王新君 吴光励 王云珍 赖宗声 207

8．用电化学方法腐蚀C型硅杯&徐淑霞 张纯 庞世信 唐慧 209

9．数片硅同时自停止腐蚀技术研究&徐义刚 周伟勤 王跃林 丁纯 金仲和 211

10．硅台面结构凸角腐蚀原因探析&黄庆安 秦明 向涛 张会珍 213

11．直梁在静电作用下的横向弯曲行为的研究&邹泉波 刘理天 李志坚 215

12．微传感器技术中的悬隔膜&郑养术 217

13．单晶硅微悬臂梁的疲劳特性测试&叶雄英 张靖海 周兆英 李勇 220

14．常温静电封接技术的研究与实验尝试&孔德义 余兵 梅涛 虞承端 222

15．反应离子刻蚀修正薄膜铂厚度&戈肖鸿 陈芬扣 朱建生 王渭源 225

16．利用反应离子刻蚀技术形成磁敏器件的场发射阵列（FEA）电子源&刘新福 徐静芳 李琼 宋海波 227

17．溅射沉积NiTi形状记忆合金薄膜的晶化行为研究&王效东 陈红 王渭源 李戈扬 229

18．原子力显微镜（AFM）的力传感器&薛实福 刘永生 李庆祥 高宏 徐毓娴 于水 231

19．侧向驱动的静电多晶硅谐振器&王添平 解健芳 刘芳 陆德仁 王渭源 李碧洲 赖宗声 234

20．LIGA技术中的X射线掩膜&梁静秋 王飞 王志勤 姚劲松 宣明 236

21．微机械结构型薄膜微电极电化学器件的稳定性研究&周仲柏 吴清海 刘炯权 238

22．微机械方法制作热导式湿度传感器的研究&丁青 武蕴忠 张华 240

23．用微机械加工技术制备微型Clark型氧传感器&朱建中 蒋惠英 陆德仁 242

五．离子敏及生物传感器 244

1．生物传感技术的发展动向&黎高翔 244

2．传感技术与三M技术&任恕 吴蒙 248

3．芳香族聚脲的膜厚方向压电共振&王贤珊 深田荣一 250

4．分子传感器敏感材料的研究--液晶冠醚&吴蒙 任恕 252

5．无试剂型乙醇脱氢酶电极的研制&张维成 尚艳娥 何亚明 254

6．LB膜与涂敷膜卵磷脂叉指电极的比较&孙安纳 崔莉 海秀兰 256

7．次氯酸根离子选择电极的研制&吕鸣祥 陈建和 258

8．微电极对EC过程后续均相反应盲视性能的研究&朱俊华 刘晓辉 陆新根 林心如 260

9．电极流动注射法在照相乳化过程中的研究&杨林楚 徐秀珍 邹景瑶 263

10．新型微流通池PH-ISFET集成传感器&丁辛芳 牛蒙年 向涛 林崴 265

11．用于在线检测的光纤PH传感器及其检测系统&任麒 黄颂羽 王美俊 268

12．表面光电压技术（SPV）检测溶液的PH值&陈德勇 韩泾鸿 270

13．半导体生物酶场效应晶体管&李和太 杜萍 崔志武 272

14．半导体生物酶传感器的研制&李和太 杜萍 崔志武 274

15．一种可实用化的中医PH传感针的性能研究&江琦 沈安华 胡永熙 任恕 276

16．光纤荧光钾、乙酰胆碱微型传感器的初步研究&徐俊 任恕 278

17．一种可实用化的中医氧分压传感针的研制&沈安华 胡永熙 江琦 任恕 280

18．中医传感针型组织传感器的研制及应用&林志红 邹立君 任恕 282

19．用酶抗体修饰电极检验C2型葡萄球菌肠毒素的研究&黄振才 曲丽云 吕鸣祥 董飒英 284

20．硼掺杂多晶金刚石薄膜在电化学传感器中的应用&朱建中 蒋惠英 王建新 毛敏耀 章熙康 286

21．大规模细胞培养监测系统的构建&阮复昌 公国庆 莫炳禄 李向明 288

22．基于状态观与系统论的生物医学传感技术的研究&胡永熙 任恕 沈安华 江琦 290

23．BOD微生物传感器及其智能化测定仪的研制&孟绍田 袁纪连 李子明 薛勇 292

24．测定营养物质的新型生物传感器的研究&储炬 俞俊棠 295

25．L-乳酸生物传感器的研制&王辉 秦文华 刘海喜 余善法 任恕 297

26．固态生物传感器在线检测系统的研制&韩泾鸿 崔大付 李亚亭 蔡金娥 蔡新霞 张虹 余浩 299

27．DNA光纤生物传感器&袁津玮 周宜开 郝巧玲 任恕 301

28．液体介质石英晶体谐振传感器&张超 冯冠平 隋森芳 303

六．湿敏材料、元件及湿度传感器 307

1．国外湿度传感器发展动态&孙良彦 307

2．采用等离子体接枝技术制备湿敏元件&王佳宇 辛耀权 闫大卫 陈丽华 孙良彦 312

3．聚酰亚胺感湿材料的研制&王绍鸿 杨大本 林建明 314

4．新型高稳定性高分子湿敏材料的合成&王佳宇 辛耀权 闫大卫 陈丽华 孙良彦 316

5．湿敏材料羟基磷灰石的合成&蔡可芬 庄牧林 318

6．AM-S电阻式湿敏元件的表面修饰&张彤 孙良彦 邱法斌 车吉泰 320

7．开关式、结露控制型湿敏元件研究&邱法斌 孙良彦 平田光寿 322

8．SCA-2型湿度传感器原理&吕秋霞 修德斌 齐红 324

9．高分子膜温湿敏器件新结构研究&王年元 王长青 326

10．金红石型多孔陶瓷湿度传器稳定性的探讨&曲宝函 丁鲁军 周革非 姜瑞敏 328

11．TiO2系多孔湿敏陶瓷感湿机理的复阻抗分析&曲宝函 王者和 孙红月 蒋永超 丁鲁军 330

12．‘氧化还原对’表面掺杂对陶瓷湿敏元件稳定性的影响&张洪泉 张淑兰 332

13．Fe2O3-K2O-Al2O3开关湿敏材料研究&武明堂 周有 方湘怡 唐勤 334

14．容量型湿敏元件稳定性探讨&周明军 张彤 关桂芳 卢崇考 336

15．PI型高温湿敏电容&周明军 张彤 338

16．粮食水分测控系统&李廷禄 李延源 340

17．新型湿度变送器&焦红志 遇程伟 342

七．温敏元件及温度传感器 344

1．国外传感技术发展动向&虞承端 344

2．软基底薄膜热敏电阻设计&孙承松 李云鹏 周立军 348

3．PTC热敏电阻限流元件的研制&杨荣升 350

4．高密度聚乙烯／碳黑复合材料PTC热敏特性研究&王玲玲 王利臣 胡刚 刘波勇 周志刚 354

5．NTC热敏电阻的激光调阻技术&朱建生 356

6．厚膜CTR的研究&郝永德 林洪 陈卢金 358

7．贱金属镍浆料及其在厚膜型传感器中的应用&赵光明 黄元龙 361

8．新型高精度光纤温度传感系统的实用化研究&金晓丹 廖延彪 赖淑蓉 363

9．扩散硅压力传感器温度补偿用交叉布线厚膜温度网络器件&陈卢金 林洪 郝永德 365

10．铠装热敏电缆用绝缘热敏材料的选择&张忠模 雷霆 刘碧君 何明 368

11．参数可变多功能集成温度传感器&邵志标 候新科 岑元飞 370

12．温度形状记忆传感器&李丹之 劳风英 蒋燕萍 372

13．快速温度传感器及其智能化测控仪的研制&孟绍田 袁纪连 薛勇 374

14．有源R型温度／频率转换电路接口设计&夏哲雷 栗金红 376

八．磁敏元件及磁传感器 378

1．高灵敏度霍尔元件用InSb薄膜制备工艺&于成民 刘佩瑶 冯桂华 孙仁淘 王晓雯 378

2．共晶型In-InSb磁敏薄膜的生长和特性研究&黄钊洪 380

3．磁阻（MR）薄膜传感元件中磁畴结构的变化过程&宋柏泉 周勇 徐东 余晋岳 382

4．霍尔功率传感器&倪忠群 384

5．高精度反馈式霍尔电流传感器&栾海林 386

6．硅霍尔传感器的可靠性增长模型与加速试验法的研究&王幼学 秦永列 谢华钧 于恩涛 388

7．硅霍尔传感器失效机理及失效率模型的研究&王幼学 谢华钧 秦永列 于恩涛 391

8．带通用接口的磁敏传感器&郭志友 李颖 394

9．霍尔电磁隔离放大器&邹高芝 396

九．光敏元件及光传感器 399

1．光纤传感器在航空中最新应用&周浩敏 刘广玉 399

2．非晶硅线性图象探测器的研究&郑怀德 廖显伯 刁宏伟 405

3．γ辐射损伤与硅光电二极管结构的关系&陈炳若 李世清 唐承欢 向梅芝 尹德强 407

4．内调制光敏管和微光仪的研制&张钢 何民才 戴锋 黄启俊 409

5．红外光学远距火灾传感器&陈学江 田恒贵 唐占齐 411

6．多传感信息溶合的模糊处理及集成化研究&胡健 赖宗声 王成道 413

7．超导红外探测器中降低温漂噪声的结构设计研究&陈红 王渭源 王德宁 415

8．干涉型光纤传感器PGC调制--解调技术的研究&周效东 张宇 汤伟中 杜春仁 417

9．一种消除光源及磁光材料影响的光学电流传感器&易本顺 刘延冰 419

10．紫外敏感光纤的研究&李林 423

11．用SPR法测量LB膜的厚度&赵杰 李建平 韩泾鸿 崔大付 425

十．应用 427

1．An Overview for Commercialization of Micromachined Transducers&Michael Young Maw-Rong chin 427

2．从汽车防撞气袋的开发看传感技术研究和应用&范良藻 432

3．新型传感器动态性能及其改进研究&黄俊钦 436

4．感应电悬浮微机械在加速度传感器中的应用&何国鸿 陈抗生 谭淞生 王渭源 438

5．用高分子湿敏电容测量有机溶剂的微量水份&章佩娴 牟建群 姚杰 440

6．高抗爆军用水深变送器&吴宪平 胡美凤 罗桂隆 龚凤英 442

7．新型流体脉动传感器及其应用&常耿 徐玉铮 付志斌 彭承正 444

8．传感技术在诊断心脏疾病时的应用&潘家城 窦素琴 446

9．用微型葡萄糖传感器测定血清中葡萄糖的含量&朱建中 蒋惠英 吴佳俐 陆德仁 张国雄 447

10．库仑型传感器--执行器系统用于缓冲容量的直接测定&罗江 任恕 449

11．电涡流传感器在汽轮机组差胀监测中的应用&傅尚新 徐玉铮 451

12．组合机床钻削加工刀具状态监控研究&张军 孙宝元 453

13．谐振筒式BGJ型精密高度表的研制&陈学江 田恒贵 唐占齐 455

14．单片机在综合罗盘航向数字显示系统中的应用&陈学江 徐惠敏 田恒贵 唐占齐 457

15．去偏振干涉型光纤干涉仪&周效东 汤伟中 周文 459

16．压力传感器在油罐计量中的应用&乔宏 唐伟 赵洪亮 高克山 唐欣 徐广忠 461

17．BX-2便携数字压力校验仪的研制&文晖 徐广忠 467

18．霍尔元件在钳形万用表上的应用&冯桂华 李鸿儒 于成民 470

19．NT873吹气式耐腐蚀液位变送器&乔宏 唐伟 吴贞培 宁如龙 472

20．高分辨率钢弦式测量仪器系统&邓铁六 马俊亭 王学水 474

21．地下金属管线探测仪器的研制&王君 刘希芳 477

22．钢材裂纹磁检测的定量分析&张政保 徐章遂 马爱文 479

23．硅片表面平整度和薄膜应力的计算机辅助测量装置&陆德仁 朱文玉 荣刚 李宝清 王渭源 481

24．测力平台中传感器新的配置原则&钱敏 孙宝元 483

25．一种新型径向测力轴承传感器的研制&孙宝元 钱敏 张军 485

26．新型悬臂梁绝对高真空压力规的设计&朱长纯 Willianm N.Carr 王海笑 487

27．在火炮复进机气液量检测中提高压力传感器检测精度的措施&赵圣元 489

28．光尺和电尺组成的二维尺寸测量系统&岑文远 493

29．半导体热敏电阻在对数放大器中的应用&杨成刚 495

30．静重式群控测力机测量与控制系统的研究&张卫 499

31．敏感元件及传感器可靠性数据的微机处理技术&吴虹 候玉华 502

32．贯彻执行JJG669-90《称重传感器计量规程》中的几个问题探讨&马洪发 苏原 505

33．传感器可靠性试验方法及其发展探讨&于恩涛 508