真空技术五十问答PDF电子书下载

Ⅰ、一般问题 2

1、真空都应用于哪些方面? 2

2、有没有正式划分真空区域的方法? 8

3、Torr和Pa表示真空度哪个正确? 11

4、日本工业标准(JIS)中哪些与真空技术有关? 15

Ⅱ、油旋转泵 23

5、真空装置为什么要进行粗抽? 23

6、怎样决定油旋转泵所需功率? 26

7、能否提高油旋转泵的转速? 30

8、在停泵前是否应该充入空气? 34

9、能获得与产品样本相同的极限压力吗? 37

10、油旋转泵是否对所有的气体都能排气? 41

Ⅲ、扩散泵 45

11、扩散泵的冷却水量多少为宜? 45

12、扩散泵的油量多少合适? 48

13、加热功率是否因油的不同而不同? 51

14、前极压力上升会导致扩散泵的性能下降吗? 54

15、使用挡板会使抽速降低多少? 58

16、改变扩散泵的吸气口径抽速会怎样呢? 62

17、真空装置的夜间无人运转应注意哪些问题? 65

Ⅳ、溅射离子泵 70

18、在超高真空中是否应该使用两台溅射离子泵? 70

19、用溅射离子泵的电流测量真空度准确吗? 74

20、溅射离子泵加热脱气好吗? 77

21、真的不用担心溅射离子泵漏磁吗? 79

Ⅴ、低温泵 83

22、吸附泵有没有爆炸的危险? 83

23、用低温泵排气还会有残余水蒸汽吗? 87

Ⅳ、检漏 92

24、漏气量容许到什么程度为好? 92

25、应该用什么方法检查总漏量? 97

26、除了氦气以外还有别的气体可以检漏吗? 101

27、什么时候用吸气法检漏有利? 106

28、有没有防止漏泄的紧急措施? 110

Ⅷ、法兰 116

29、能否防止O形环脱落? 116

30、改变一下垫圈槽的形状可以吗? 119

31、用O形环密封还会漏泄吗? 123

32、有没有超高真空法兰的标准? 127

Ⅷ、清洁真空 132

33、怎样获得清洁的真空? 132

34、怎样正确使用尼龙手套? 136

35、用辉光放电能清洗玻璃基板吗? 140

36、向超高真空装置充入什么样的氮气好? 143

Ⅸ、中真空用的真空计 147

37、怎样选择真空计好呢? 147

38、皮拉尼真空计指示的数据可靠吗? 153

39、麦克劳真空计之间进行比较校准有意义吗? 158

Ⅹ、电离真空计 164

40、用什么方法确认灵敏度的差异? 164

41、电离真空计灵敏度的波动能避免吗? 168

42、什么时候使用裸规? 172

43、电离真空计的灵敏度会因气体的不同而异吗? 175

44、为什么必须说明氮的换算值? 179

45、有没有直至超高真空的真空度标准? 183

Ⅺ、残余气体分析 187

46、残余气体的分压能测量吗? 187

47、为什么会出现令人费解的异常峰值? 192

Ⅻ、真空计的安装方法 198

48、真空计的导管是否应该插入真空装置的内部? 198

49、安装真空计能不能涂沫真空脂? 202

50、真空计导管长了会产生什么后果? 205