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第1章 光学薄膜原理 1

1.1薄膜干涉 1

1.1.1光的波动性 1

1.1.2薄膜干涉 2

1.1.3驻波干涉 5

1.1.4偏振效应 6

1.2光学薄膜系统的特性计算 8

1.2.1矢量作图法 8

1.2.2递推法 11

1.2.3矩阵法 13

本章小结 18

思考与练习题 18

第2章 常用光学薄膜 19

2.1增透膜 19

2.1.1单层增透膜 20

2.1.2双层增透膜 22

2.1.3三层增透膜 23

2.2反射膜 25

2.2.1金属反射膜 25

2.2.2介质高反膜 30

2.3分光膜 34

2.3.1金属分光镜 34

2.3.2介质分光镜 35

2.4干涉截止滤光膜 39

2.4.1截止带特性 40

2.4.2通带特性 41

2.4.3截止滤光片倾斜使用时的偏振效应 43

2.4.4利用金属薄膜的宽带截止滤光片 44

2.5带通滤光片 46

2.5.1法布里-珀珞滤光片 46

2.5.2全介质法布里-珀珞滤光片 50

2.5.3多半波滤光片 52

2.5.4诱导透射滤光片 54

本章小结 55

思考与练习题 56

第3章 真空镀膜技术 57

3.1真空知识 57

3.1.1真空基础知识 57

3.1.2真空泵 60

3.1.3真空管道与阀门 67

3.1.4真空材料 68

3.1.5真空密封 69

3.1.6真空的测量 70

3.2真空镀膜装置 71

3.2.1真空镀膜机的构成 72

3.2.2真空镀膜机的安装与调试 73

3.2.3真空镀膜机的操作步骤 74

3.2.4真空系统的检漏 75

3.3真空镀膜方法 76

3.3.1电阻热蒸镀法 76

3.3.2电子束加热蒸发 80

3.3.3激光蒸发 81

3.3.4反应蒸发 82

3.3.5溅射 84

3.3.6离子镀 89

3.3.7离子辅助镀 92

3.3.8分子束外延 93

本章小结 95

思考与练习题 95

第4章 膜层厚度监控方法 97

4.1目视法 97

4.2光学监控法 99

4.2.1极值法 99

4.2.2波长调制法 109

4.2.3宽光谱扫描 110

4.3石英晶体控制法 111

4.4膜层厚度均匀性 112

4.4.1膜厚的理论分布 113

4.4.2改善均匀性的措施 117

本章小结 120

思考与练习题 120

第5章 光学薄膜制备工艺因素 121

5.1制备工艺因素分析 121

5.1.1基板处理 122

5.1.2制备参数 123

5.1.3蒸汽入射角 125

5.1.4老化处理 126

5.2工艺因素优选 127

本章小结 129

思考与练习题 129

第6章 真空镀膜材料 131

6.1金属薄膜 131

6.1.1铝（Al） 132

6.1.2银（Ag） 133

6.1.3金（Au） 134

6.1.4铬（Cr） 134

6.2介质和半导体薄膜 135

6.2.1对材料的基本要求 135

6.2.2几种常用薄膜的性质 138

6.3红外与紫外薄膜 142

6.3.1红外薄膜材料 142

6.3.2紫外薄膜材料 143

6.4有机薄膜与任意折射率薄膜 147

6.4.1有机薄膜 147

6.4.2任意折射率薄膜 148

本章小结 149

思考与练习题 150

第7章 薄膜的结构特性 151

7.1薄膜的形成 151

7.1.1表面吸附 151

7.1.2成核过程 152

7.1.3膜的生长 153

7.2薄膜的微观结构 153

7.2.1基本的微观结构特性 153

7.2.2薄膜生长的计算机模拟 155

7.2.3薄膜的晶体结构 156

7.2.4微观结构的观测 158

7.3薄膜的成分 160

7.4薄膜微观结构和成分对膜层性质的影响 163

7.4.1光学不稳定性 163

7.4.2光学损耗 164

7.4.3折射率非均匀性 166

7.4.4抗激光损伤 167

7.5改善结构的途径 171

本章小结 174

思考与练习题 175

第8章 光学薄膜检测 176

8.1薄膜的光学性质及测量 176

8.1.1光谱特性 176

8.1.2光学常数 181

8.2薄膜的力学性质及其检测 185

8.2.1薄膜的附着力和硬度 185

8.2.2薄膜的应力 188

本章小结 194

思考与练习题 194

参考文献 195