全国半导体集成电路材料学术会议论文文摘PDF电子书下载
- 电子书积分:8 积分如何计算积分?
- 作 者:中国电子学会:半导体与集成技术学会,电子材料学会编
- 出 版 社:
- 出版年份:1979
- ISBN:
- 页数:130 页
图书介绍:
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《全国半导体集成电路材料学术会议论文文摘》目录
第一部分 大会发言 1
第二部分 分组报告 37
1.硅材料制备及性能研究 37
2.器件及材料物理研究 54
3.理化分析测试研究 67
4.双极集成电路研究 80
5.集成电路工艺研究 97
6.MOS集成电路研究 116
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