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第1章 表面工程概论 1

1.1 表面工程的提出 1

1.2 表面工程的内容 6

1.3 表面工程的应用 9

1.4 表面工程的发展 27

第2章 固体表面结构 30

2.1 固体的结合键和表面的不饱和键 30

2.2 理想表面、清洁表面和实际表面 31

2.3 表面特征力学和势场 39

［选择阅读］表面科学的某些概念和理论 47

2.4 表面晶体学 47

2.5 表面热力学 56

2.6 表面动力学 60

2.7 表面电子学 75

第3章 固体表面性能 84

3.1 固体表面的力学性能 84

3.2 固体表面的化学性能 103

3.3 固体表面的物理性能 142

第4章 表面覆盖工程 187

4.1 电镀与化学镀 187

4.2 金属表面的化学处理 208

4.3 表面涂敷 226

第5章 气相沉积工程 261

5.1 气相沉积与薄膜 261

5.2 物理气相沉积 265

5.3 化学气相沉积 300

第6章 表面改性工程 306

6.1 金属材料表面改性 306

6.2 无机非金属材料表面改性 359

6.3 高分子材料表面改性 370

第7章 表面复合工程 377

7.1 电化学技术与某些表面技术的复合 377

7.2 真空镀膜与某些表面技术的复合 380

7.3 表面镀（涂）覆与/微纳米技术的复合 394

7.4 表面热处理与某些表面技术的复合 403

7.5 高束能表面处理与某些表面技术的复合 405

第8章 表面加工制造 409

8.1 表面加工技术简介 409

8.2 微电子工业和微机电系统的微细加工 434

第9章 表面工程设计 440

9.1 表面工程设计的要素与特征 440

9.2 表面工程设计的类型与方法 442

第10章 表面测试分析 450

10.1 表面分析的类别、特点和功能 450

10.2 表面分析仪器和测试技术简介 458

参考文献 477