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目录 1

第一章 绪论 1

§1.1 电子显微镜概况 1

§1.2 电子微探针仪概况 5

§1.3 表面分析仪器概况 7

§1.4 微细加工机概况 9

参考文献 11

第二章 电子透镜 12

§2.1 磁透镜的聚焦性能 12

§2.2 非对称及磁饱和磁透镜的聚焦性能 18

§2.3 磁透镜的放大倍数 22

§2.4 磁透镜的几何像差 24

§2.5 磁透镜球差 29

§2.6 磁透镜彗差 31

§2.7 磁透镜像散 32

§2.8 磁透镜畸变 35

§2.9 磁透镜的像转角 37

§2.10 磁透镜色差 39

§2.11 电单透镜像差 43

§2.12 四极透镜像差 45

§2.13 特种磁透镜 57

§2.14 超导磁透镜 63

习题 69

参考文献 71

第三章 物镜分辨率、最优化设计和像差矫正 72

§3.1 物镜衍射分辨率 72

§3.2 物镜分辨率极限 75

§3.3 衍射分辨率对电源稳定度的要求 77

§3.4 最优化设计 78

§3.5 电子反射镜矫正器 79

§3.6 非旋转对称场矫正器 81

§3.7 无色差四极透镜、色差和球差同时矫正 84

§3.8 衍射分辨率对像散的要求、像散矫正 86

§3.9 像动限制及其克服 88

习题 89

参考文献 90

第四章 电子能量分析器 92

§4.1 电子能量分析器的品质因素 92

§4.2 平行板分析器 95

§4.3 筒镜分析器 100

§4.4 筒形偏转分析器 104

§4.5 球形偏转分析器 114

§4.6 球形阻滞栅分析器 119

§4.7 其它电分析器 122

§4.8 磁偏转分析器 128

§4.9 直射磁扇形分析器 128

§4.10 斜射磁扇形分析器 137

§4.11 反射镜棱镜分析器 144

习题 152

参考文献 154

第五章 偏转系统 156

§5.1 磁偏转器 156

§5.2 电偏转器 159

§5.3 电八极型偏转器场分布、偏转特性和三级像差 164

§5.4 磁透镜和磁偏转器复合 167

§5.5 磁聚焦磁偏转复合系统像差的动态矫正 174

§5.6 可动物镜（MOL）系统 179

§5.7 磁透镜电偏转器系统 182

§5.8 电透镜电偏转器系统 184

习题 188

参考文献 190

第六章 电子像显示和记录电子束曝光 191

§6.1 荧光材料 191

§6.2 荧光像的观察 197

§6.3 照相乳胶曝光记录 199

§6.4 透明屏光学纤维照相术 205

§6.5 微通道板增强像 212

§6.6 微光电视技术 216

§6.7 电子束抗蚀剂曝光 230

习题 234

参考文献 235

第七章 电子枪离子源 236

§7.1 三极电子枪性能 237

§7.2 电子枪阴极 241

§7.3 钨阴极的寿命 243

§7.4 高亮度电子枪长寿命阴极 246

§7.5 多级加速型高压电子枪 250

§7.6 电子枪电源 252

§7.7 场致发射式电子枪 255

§7.8 固体离子源 260

§7.9 气体放电离子源 263

§7.10 熔融金属场致发射离子源 268

习题 270

参考文献 271

第八章 透射电子显微镜 272

§8.1 单聚光镜照明系统 272

§8.2 双聚光镜系统 277

§8.3 物镜 280

§8.4 成像放大系统 282

§8.5 透镜磁设计 286

§8.6 电子光学系统的合轴 290

§8.7 电子衍射 292

§8.8 景深和焦深调焦器 297

§8.9 样品透明厚度 298

§8.10 样品制备 301

§8.11 成像方式 305

§8.12 成像机理 306

§8.13 分析电子显微镜 312

§8.14 技术性能鉴定及稳定度测定 313

参考文献 317

习题 317

第九章 扫描电子显微镜 319

§9.1 工作原理 319

§9.2 电子与样品的相互作用 321

§9.3 扫描电子显微镜的极限分辨率 329

§9.4 物镜设计 334

§9.5 次级电子探测器系统 337

§9.6 扫描体制 339

§9.7 电子束在固体内 340

§9.8 电子通道花样 342

§9.9 热波成像 346

习题 347

参考文献 347

第十章 电子探针微分析仪 349

§10.1 空间分辨率束电压 349

§10.2 物镜设计 352

§10.3 分光晶体性质 354

§10.4 波谱仪原理 359

§10.5 正比计数管 363

§10.6 能谱仪原理 366

§10.7 锂漂移硅探测器 368

§10.8 锂漂移硅探测器性能 370

§10.9 样品制备 376

§10.10 定量分析方法概要 379

§10.11 原子序数校正 381

§10.12 X射线吸收校正 383

§10.13 荧光校正 385

§10.14 薄膜分析 389

习题 390

参考文献 391

第十一章 表面分析仪器 393

§11.1 低能电子衍射仪 394

§11.2 俄歇电子能谱仪 395

§11.3 X射线光电子能谱仪 401

§11.4 次级离子质谱仪 409

§11.5 离子散射谱仪 414

§11.6 综合表面分析系统 417

习题 422

参考文献 422

§12.1 电子束曝光 423

第十二章 电子束曝光机离子束加工机 423

§12.2 扫描技术 427

§12.3 电子光学镜筒 429

§12.4 定位 431

§12.5 加速电压 436

§12.6 离子束加工机 436

习题 437

参考文献 437

附录 439

附表1 磁透镜轴上场分布 439

附表2 磁透镜形状系数 440

附表3 磁透镜聚焦性能 441

附表4 磁透镜球差系数 449

附表5 磁透镜色差系数 451

附表6 化学元素的K、L和M能级的激发电势 453

附表7 化学元素的K和L系主要谱线的光子能量 455

附表8 化学元素的K、L和M吸收限波长 458

附表9 化学元素的质量衰减系数［μm（cm2/g）］ 460

附表10 若干有机膜和混合气体的质量衰减系数［μm（cm2/g）］ 464

附表11 化学元素的K、L和M系荧光产额的平均值 466

附表12 某些低和中等原子序数化学元素的K系荧光产额ωk新近实验值 467