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目录 1

前言 1

第一章 导论 1

1.1 微束分析技术及其发展历史 1

1.1.1 电子微束分析仪器和技术 1

1.1.2 离子探针 5

1.1.3 激光探针及质子探针 7

1.2 微束分析技术的进展和发展趋势 8

1.2.1 微束分析技术的进展 8

1.2.2 微束分析技术的发展趋势 12

1.3 电子探针分析的基本原理和特点 14

1.3.1 电子探针分析的基本原理和基本方式 14

1.3.2 电子探针等微束分析技术的特点 17

第二章 电子探针分析的物理基础 23

2.1 电子与固体的相互作用 23

2.1.1 X射线和俄歇电子 23

2.1.2 背散射电子 28

2.1.3 二次电子 30

2.1.4 吸收电子、透射电子和阴极荧光 32

2.2 X射线的衍射 34

2.3 X射线的吸收和二次X射线 36

2.3.1 X射线的吸收 36

2.3.2 二次X射线（X射线荧光） 38

2.4 X射线信息源的形状和大小 39

2.5 扫描成象 43

2.5.1 概述 43

2.5.2 扫描成象的基本原理 44

2.5.3 与成象质量有关的几个问题 48

第三章 仪器 56

3.1 电子光学系统 56

3.1.1 电子枪 56

3.1.2 电磁透镜和扫描偏转线圈 60

3.1.3 电子光学系统的调整和合轴 65

3.2 X射线波长色散谱仪 65

3.2.1 半聚焦谱仪、全聚焦谱仪和分光晶体 66

3.2.2 波谱仪的结构和原理 69

3.2.3 计数管和计数管电路 70

3.3 X射线能谱仪 74

3.3.1 X射线探测器 74

3.3.2 电子学线路 76

3.4 光学观察系统 77

3.5 样品室 78

3.6 电子讯子探测系统 78

3.6.1 二次电子、背反射电子探测器 78

3.6.2 图象显示系统 79

3.7 真空系统 80

3.8 计算机与自动化分析 81

第四章 样品制备 85

4.1 电子探针样品的基本要求 85

4.2 电子探针样品的制备 86

4.2.1 定量分析样品的制备方法 86

4.2.2 形态分析样品的制备方法 95

4.3 分析前样品的观察研究 98

4.4 镀膜 99

5.1 能谱定性分析 105

第五章 定性分析 105

5.2 波谱定性分析 112

5.3 波长分光法与能量色散法的比较 118

第六章 电子探针定量分析修正计算 121

6.1 定量分析数据的预处理 121

6.1.1 背景修正 121

6.1.2 死时间修正 123

6.1.3 谱线干扰修正 125

6.2 ZAF修正概述 129

6.2.1 原子序数修正 131

6.2.2 X射线吸收修正 136

6.2.3 荧光修正 140

6.3 定量修正计算实例 145

6.4 定量修正的计算机程序 149

第七章 定量分析中的某些问题 159

7.1 定量测定 159

7.1.1 工作电压的选择 160

7.1.2 束流监测与束流大小的选择 161

7.1.3 束斑大小的调节 162

7.1.4 分光晶体的选用 163

7.1.5 脉冲高度分析器的准确使用 165

7.1.6 计数值的考虑 166

7.1.7 分析位置的确定 168

7.1.8 背景测量 169

7.1.9 分析线的选择 172

7.2 各类矿物的定量分析 173

7.2.1 硅酸盐及其他含氧矿物的分析 173

7.2.2 硫化物及硫盐的定量分析 178

7.2.3 含碱金属的矿物和玻璃的分析 184

7.3 定量分析的质量控制 193

第八章 特殊分析技术 199

8.1 超轻元素分析 199

8.2 微量元素分析 208

8.3 颗粒样品或糙面样品的分析 212

8.4 薄膜和薄层样品的分析 223

第九章 标样研制 240

9.1 标样的分类 240

9.2 标样研制现状 241

9.3 标样的收集及其研制 246

第十章 仪器操作及分析流程 255

10.1 JCXA-733电子探针 255

10.2 EPM-810Q电子探针 290

10.3 CAMEBAX——MICRO电子探针 316

10.4 SEM—501B扫描电镜 338

10.5 EMX—SM7电子探针 349

10.6 JSM—35CF扫描电镜 365

10.7 ISI60A扫描电镜 374

附录 388

附录1 元素谱线的波长、能量和临界激发能量 388

附录2 地矿部电子探针标样技术数据 392

附录3 矿物电子探针分析结果中Fe3+和Fe2+的计算 400

附录4 常用镀膜材料的物理特性 404

附录5 端员氧化物中元素重量百分比及其电价 405

附录6 α因子表及α因子经验修正计算实例 406

附录7 常见硫化物的δ因子表 422

附录8 常见矿物化学成分及平均原子序数 426

附录9 国外某些电子探针仪主要性能比较表 445