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目录 1

第一章 绪论 1

§1.1真空电子器件生产的特点 1

1.1.1所用材料的广泛性 1

1.1.2生产技术的复杂性 2

1.1.3真空卫生的严格要求 3

1.1.4工艺纪律的严肃性 3

§1.2真空电子器件生产的技术准备 4

§1.3真空电子器件的生产过程 5

第二章 金属零部件的制造 7

§2.1金属零件加工的主要方法 7

2.1.1冲压 7

2.1.2绕制 14

2.1.3电火花加工 14

2.1.4光刻 15

2.1.5电铸 17

2.1.6挤压 18

§2.2阳极的制造 20

2.2.1一般阳极的制造工艺 20

2.2.2磁控管阳极的制造工艺 24

2.2.3真空浇铸阳极的制造工艺 26

§2.3慢波部件的制造 26

2.3.1慢波部件的制造工艺 28

2.3.2螺旋线慢波部件的夹持方法 29

§2.4栅极制造 31

2.4.1绕制型栅极的制造工艺 31

2.4.2框架栅的制造工艺 34

2.4.3电火花加工栅网的制造工艺 34

2.4.4光刻栅网的制造工艺 35

2.4.5热解石墨栅极的制造工艺 37

§2.5荫罩的制造 38

§3.1净化的作用和方法 41

第三章 零件的净化 41

§3.2机械净化法 42

§3.3化学及电化学去油 45

3.3.1有机溶剂去油 45

3.3.2肥皂和合成洗涤剂去油 47

3.3.3碱液去油 47

3.3.4电化学去油 49

§3.4化学及电化学浸蚀 50

3.4.1化学浸蚀 50

3.4.2电化学浸蚀 53

§3.5化学及电化学抛光 54

§3.6超声波清洗 55

§3.7清洗质量的检验 57

§3.8零件清洗举例 58

4.1.1热处理的目的 62

§4.1热处理的目的及工艺 62

第四章 零件的热处理 62

4.1.2热处理工艺 63

§4.2在氢气中的热处理 65

§4.3在真空中的热处理 69

§4.4在空气中的热处理 72

第五章 零件的涂覆 74

§5.1机械涂覆法 74

5.1.1喷涂法 74

5.1.2浸渍法 74

5.1.3沉淀法 76

5.1.4热涂法 76

5.1.5其他机械涂覆方法 77

§5.2物理涂覆法 78

5.2.1真空蒸涂法 78

5.2.2阴极溅射法 79

5.2.3离子镀 81

5.2.4静电喷涂 82

5.2.5熔融喷涂法 84

§5.3化学涂覆法 84

5.3.1钝化与发蓝 84

5.3.2碳化法 86

5.3.3氮化 88

5.3.4磷化 89

5.3.5气相沉积 91

5.3.6化学镀 96

§5.4电化学涂覆 98

5.4.1电镀 98

5.4.2电泳 102

5.4.3铝的阳极氧化 103

§5.5荧光屏的涂覆 104

5.5.1涂屏的一般要求和方法 104

5.5.2显象管的涂屏 106

5.5.3影响涂屏质量的主要因素 109

5.5.4有机膜的涂覆 110

第六章 零件的连接 113

§6.1电阻焊接 113

6.1.1点焊 113

6.1.2滚焊 118

6.1.3对焊 119

§6.2钎焊 119

6.2.1基本原理 119

6.2.2钎焊的优缺点 121

6.2.3钎焊常用的焊料 122

6.2.4钎焊工艺 124

6.2.5钎焊结构 126

6.2.6钎焊的方法和设备 128

6.2.7钎焊接头的质量检验及典型缺陷 130

6.3.1氩弧焊 131

§6.3熔融焊接 131

6.3.2氢原子焊 134

6.3.3等离子焊 135

6.3.4真空电子束焊 137

6.3.5激光焊 138

§6.4其他连接方法 141

第七章 玻璃与玻璃、玻璃与金属的封接 143

§7.1玻璃与玻璃的封接 143

7.1.1焊料封接 143

7.1.2采用中间玻璃的过渡封接 145

§7.2玻璃与金属封接 147

7.2.1玻璃与金属封接机理 147

7.2.2玻璃与金属封接的一般工艺 149

7.2.3玻璃与金属封接的结构及其工艺 153

7.2.4玻璃与金属封接的检验 159

§8.1概述 161

第八章 陶瓷与金属的封接 161

§8.2陶瓷与金属的封接结构 162

§8.3活化钼－锰法 165

8.3.1活化钼－锰法简介 165

8.3.2活化钼－锰法的优缺点 166

8.3.3活化钼－锰法封接的工艺过程 166

§8.4钛－银－铜法 171

8.4.1钛－银－铜法简介 171

8.4.2钛－银－铜法的优缺点 172

8.4.3钛－银－铜法封接工艺 173

8.4.4主要工艺因素对封接质量的影响 174

§8.5其他封接方法 177

8.5.1真空蒸涂和离子溅射金属化法 177

8.5.2压力扩散封接法 178

§8.6封接的性能检验及内容 179

§9.1钨阴极的制造 183

第九章 阴极的制造 183

§9.2钍钨阴极的制造 185

§9.3氧化物阴极的制造 188

9.3.1概述 188

9.3.2氧化物阴极的特点及结构 190

9.3.3基金属所用材料和加工工艺 192

9.3.4涂料的制备 193

9.3.5氧化物阴极的涂覆工艺 194

9.3.6氧化物阴极涂层的检验 199

9.3.7海绵阴极的制造 200

§9.4浸渍钡钨阴极的制造 201

9.4.1概述 201

9.4.2浸渍钡钨阴极的制造工艺 201

9.4.3钨酸钡锶阴极的制造工艺 206

§9.5光电阴极的制造 207

9.5.1光电阴极制造工艺的一般问题 208

9.5.2锑－钯阴极的制造工艺 210

9.5.3银－氧－钯阴极的制造工艺 211

9.5.4多碱阴极的制造工艺 213

§9.6次级发射体的制造 216

9.6.1银－镁合金次级发射体的制造工艺 217

9.6.2铜－铍合金次级发射体的制造工艺 218

§9.7其他阴极的制造 218

9.7.1硼化物阴极的制造工艺 218

9.7.2氧化钍阴极的制造工艺 220

第十章 热子的制造 222

§10.1概述 222

§10.2热丝的成形 224

10.2.1折叠形热丝的成形 224

10.2.2螺旋形热丝的成形 224

§10.3热子的涂覆与烧结 228

10.3.1热子的涂覆 228

10.3.2热子的烧结 231

§10.4热子的装配 232

§10.5黑化热子 233

§10.6阴极热子组合件的制造 234

第十一章 吸气剂的制造 236

§11.1概述 236

11.1.1吸气剂吸气原理 236

11.1.2吸气剂的分类 237

11.1.3对吸气剂的一般要求 238

§11.2蒸散型吸气剂的制造工艺 239

11.2.1钡吸气剂的制造工艺 239

11.2.2钡钛吸气剂的制造工艺 240

11.2.3掺氮吸气剂的制造工艺 243

§11.3非蒸散型吸气剂的制造工艺 244

11.3.1钛和锆的应用 244

11.3.3锆铝16吸气剂的制造工艺 245

11.3.2铈钍吸气剂的制造工艺 245

§11.4释汞吸气剂的制造工艺 247

§11.5吸气剂主要参数的测定 248

11.5.1蒸散特性的测定 248

11.5.2含气量的测定 249

11.5.3吸气特性的测定 249

§11.6吸气剂的安装和保存 250

§12.1装架的意义和技术要求 252

第十二章 装架 252

§12.2静电控制管的装架 254

12.2.1流水作业的生产形式 254

12.2.2装架工艺及设备 255

12.2.3装架的技术要求 255

§12.5光敏管的装架 255

§12.3微波管的装架 256

12.3.1装架的特点 256

12.3.2装架的工艺过程 257

12.3.3装架的技术要求 258

§12.4电子束管的装架 260

12.4.1装架的特点 260

12.3.4装架所用设备及工具 260

12.4.2装架的工艺过程 261

12.4.3装架的设备 263

12.4.4检验 264

12.5.1装架的特点 265

12.5.2光电倍增管的装架工艺过程 266

第十三章 封口和排气 268

§13.1封口工艺概述 268

§13.2典型封口加工方法和步骤 269

§13.3封口的工艺装备 271

§13.4封口的检验及废品分析 272

§13.5排气工艺概述 273

13.6.1真空系统的检查与接管 274

§13.6排气的一般工艺过程 274

13.6.2去气 275

13.6.3阴极处理 276

13.6.4其他工艺处理和电参数测量 280

13.6.5封离 280

13.6.6吸气剂处理 282

§13.7排气设备 283

§13.8排气的检验及废品分析 285

第十四章 老炼 287

§14.1老炼的目的 287

§14.2老炼的一般工艺过程 288

14.2.1阴极激活 288

14.2.2电极除气 290

14.2.3降低阴极与灯丝间的漏电 290

14.2.4高压老炼 291

§14.3老炼规范举例 293

§14.4老炼所用的设备 296

第十五章 测试 298

§15.1概述 298

§15.2测试的分类 299

§15.3主要测试内容及方法 301

§15.4测试设备 306

15.4.1测试装置的几种类型 306

15.4.2测试设备的检查及使用 309

§15.5测试误差及分析 311

§15.6测试中的安全事项 313

第十六章 例行试验和寿命试验 314

§16.1例行试验 314

16.1.1例行试验及其目的 314

16.1.2例行试验项目 315

16.1.3气候试验 316

16.1.4机械强度试验 317

16.1.5例行试验的要求 318

§16.2寿命试验 319

16.2.1寿命试验的目的 319

16.2.2寿命试验的内容 320

16.2.3加速寿命试验的目的 321

第十七章 检验 323

§17.1检验的意义和作用 323

§17.2检验的分类 324

17.2.1根据检查数量分类 324

17.2.2其他分类方法 325

§17.3检验标准的制订 327

17.3.1检验标准种类 327

17.3.2检验标准的制订 328

§17.4检验项目和方法 329

17.4.1原材料检验 329

17.4.2过程检验 330

17.4.3成品检验 331