离子注入技术PDF电子书下载
- 电子书积分:12 积分如何计算积分?
- 作 者:张光华,钟士谦同编著
- 出 版 社:北京:机械工业出版社
- 出版年份:1982
- ISBN:15033·5248
- 页数:318 页
第一章 固体中的离子射程 1
1.1 核阻止和电子阻止 1
1.2 射程和离散 10
1.3 注入离子的侧向分布 18
1.4 双层靶中离子的浓度分布 23
第二章 沟道效应 27
2.1 沟道现象和实验 27
2.2 沟道理论 31
2.3 晶体内离子射程分布的实验测量 38
2.4 辐射增强扩散 47
第三章 辐射损伤 50
3.1 定性描述 50
3.2 离子注入产生的辐射损伤 56
3.3 缺陷的移动和退火 76
第四章 离子注入装置 78
4.1 概述 78
4.2 离子源 79
4.3 离子流的引出和加速 95
4.4 质量分析系统 97
4.5 离子束聚焦和扫描系统 98
4.6 靶室系统 102
4.7 真空系统 105
4.8 国内外离子注入机类型 109
第五章 元素半导体中的离子注入 114
5.1 离子注入Si、Ge中的分布 114
5.2 注入层的性能和退火 123
5.3 晶格损伤 132
5.4 注入离子的位置 140
第六章 化合物半导体中的离子注入 147
6.1 Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体中的离子注入 148
6.2 Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体中的离子注入 168
6.3 其它化合物半导体中的离子注入 170
6.4 退火及保护膜 177
6.5 双注入 185
第七章 离子注入参数的测量 188
7.1 离子微探针法 188
7.2 中子活化分析法 190
7.3 核反应分析 191
7.4 离子感生X射线 194
7.5 Rutherford背散射 196
7.6 沟道效应 200
7.7 电子自旋共振法 203
7.8 Raman散射 207
7.9 反射和透射电子衍射 213
7.10 光学反射率法 214
7.11 椭圆偏振光法 217
7.12 场离子显微镜 219
第八章 应用 221
8.1 离子注入在半导体中的应用 221
8.2 金属中的离子注入 253
8.3 磁性材料中的离子注入 256
8.4 绝缘材料中的离子注入 258
8.5 离子注入在超导材料中的应用 260
附录 266
参考文献 308
- 《钒产业技术及应用》高峰,彭清静,华骏主编 2019
- 《现代水泥技术发展与应用论文集》天津水泥工业设计研究院有限公司编 2019
- 《异质性条件下技术创新最优市场结构研究 以中国高技术产业为例》千慧雄 2019
- 《Prometheus技术秘笈》百里燊 2019
- 《中央财政支持提升专业服务产业发展能力项目水利工程专业课程建设成果 设施农业工程技术》赵英编 2018
- 《药剂学实验操作技术》刘芳,高森主编 2019
- 《林下养蜂技术》罗文华,黄勇,刘佳霖主编 2017
- 《脱硝运行技术1000问》朱国宇编 2019
- 《催化剂制备过程技术》韩勇责任编辑;(中国)张继光 2019
- 《信息系统安全技术管理策略 信息安全经济学视角》赵柳榕著 2020
- 《市政工程基础》杨岚编著 2009
- 《家畜百宝 猪、牛、羊、鸡的综合利用》山西省商业厅组织技术处编著 1959
- 《《道德经》200句》崇贤书院编著 2018
- 《高级英语阅读与听说教程》刘秀梅编著 2019
- 《计算机网络与通信基础》谢雨飞,田启川编著 2019
- 《看图自学吉他弹唱教程》陈飞编著 2019
- 《法语词汇认知联想记忆法》刘莲编著 2020
- 《培智学校义务教育实验教科书教师教学用书 生活适应 二年级 上》人民教育出版社,课程教材研究所,特殊教育课程教材研究中心编著 2019
- 《国家社科基金项目申报规范 技巧与案例 第3版 2020》文传浩,夏宇编著 2019
- 《羊脂球 莫泊桑短篇小说选》(法)莫泊桑著;张英伦译 2010
- 《指向核心素养 北京十一学校名师教学设计 英语 七年级 上 配人教版》周志英总主编 2019
- 《北京生态环境保护》《北京环境保护丛书》编委会编著 2018
- 《高等教育双机械基础课程系列教材 高等学校教材 机械设计课程设计手册 第5版》吴宗泽,罗圣国,高志,李威 2018
- 《指向核心素养 北京十一学校名师教学设计 英语 九年级 上 配人教版》周志英总主编 2019
- 《高等院校旅游专业系列教材 旅游企业岗位培训系列教材 新编北京导游英语》杨昆,鄢莉,谭明华 2019
- 《中国十大出版家》王震,贺越明著 1991
- 《近代民营出版机构的英语函授教育 以“商务、中华、开明”函授学校为个案 1915年-1946年版》丁伟 2017
- 《新工业时代 世界级工业家张毓强和他的“新石头记”》秦朔 2019
- 《智能制造高技能人才培养规划丛书 ABB工业机器人虚拟仿真教程》(中国)工控帮教研组 2019
- 《AutoCAD机械设计实例精解 2019中文版》北京兆迪科技有限公司编著 2019