电机工程手册 第2卷 电工材料 第11篇 半导体材料PDF电子书下载

第1章 概述 1

1 半导体材料的种类及其应用范围 1

2 半导体材料的导电特性 1

3 半导体材料的晶体结构 4

第2章 硅、锗 4

1 硅、锗单晶的基本参数和要求 5

2 硅、锗单晶中的杂质及其对单晶和器件性能的影响 7

3 硅、锗单晶中的晶体缺陷及其影响 13

4 硅、锗器件工艺中常用的相图 14

5 单晶片的加工 15

第3章 化合物半导体和固溶体半导体 18

1 砷化镓 18

2 其他Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体 21

3 Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体 22

4 Ⅳ-Ⅵ族化合物半导体及碳化硅 23

5 几种固镕体半导体 23

第4章 单晶参数的测量和单晶中微量杂质分析 24

1 导电类型的测定 24

2 电阻率的测量 25

3 非平衡少数载流于寿命的测量 28

4 杂质补偿度等物理量的测量 29

5 晶体缺陷的观测 31

6 晶向的测定 31

7 单晶中微量杂质分析 31

参考文献 32