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目录 1

第一章激光干涉技术基础 1

§1-1激光的基础知识 1

一、激光的特点 1

二、辐射的发射、吸收和放大 8

三、激光的产生 11

§1-2激光器件 18

一、氦氖激光器 19

二、环形激光器 24

§1-3激光稳频技术 29

一、频率的稳定度和再现性 29

二、频率不稳定的原因及稳频措施 30

三、兰姆下陷法稳频 31

四、塞曼效应法稳频 37

五、饱和吸收法稳频 38

§1-4激光干涉仪的建立 39

一、激光干涉仪的工作方式及特点 39

二、用于激光干涉仪的光学元件及其特性 41

三、激光干涉仪的光学结构 47

第二章激光干涉技术用于几何量计量 53

§2-1激光干涉测长中的几个基本问题 53

一、干涉条纹的计数 53

二、空气折射率的确定 58

三、测量单位的换算和基准传递 63

四、工件的热胀系数和温度 65

一、激光比长仪 66

§2-2几种不同用途的激光干涉仪器和装置 66

二、激光螺距检查仪 69

三、激光量块标定装置 71

四、激光大量程角度干涉仪 72

五、激光双坐标干涉测量装置 73

六、迈克尔逊型差拍双频激光干涉仪 74

七、渥拉斯顿型差拍双频激光干涉仪 76

八、用于行程测量的激光干涉仪 77

§2-3激光干涉仪的测量误差 80

一、系统性测量误差 80

二、偶然性测量误差 85

三、测量误差的综合 85

§2-4激光干涉仪的验收试验 86

一、激光的真空波长和频率 87

二、补偿器及其测量感受装置 88

三、激光干涉仪的比对 91

四、基本特性检验 92

五、光学元件的检验 94

第三章全息照相测量技术 96

§3-1全息照相的基本原理 96

一、全息照相原理的提出及其特点 96

二、全息照相的一般理论分析 100

三、全息图的类型 105

§3-2全息照相干涉计量 113

一、全息干涉计量的基本概念 113

二、全息干涉计量的基本方法 114

三、制作全息图的实验技术 119

§3-3全息照相技术在长度计量中的应用举例 125

一、圆柱孔的测量 125

二、表面粗糙度的测量 128

三、活塞热变形的测量 129

四、光学玻璃均匀性的检验 131

五、机床走刀架倾斜度的测量 133

六、非球面光学元件的测量 133

七、裂纹探测 137

§3-4激光斑点干涉计量 139

一、利用斑点干涉测量表面粗糙度 139

二、利用激光散斑法测量圆柱内孔的质量 140

三、散斑相关位移测量 141

第四章光导纤维测量技术 143

§4-1光导纤维及其性质 143

一、光导纤维 143

二、光纤的传光特性 145

三、光纤的传像特性 151

四、光纤的物理和化学性质 153

§4-2光纤制品及其一般应用技术 156

一、传光束 156

二、传像束 161

三、纤维板 162

四、光纤用于信息传递 164

五、光纤用于能量传输 165

一、光纤和计量 169

§4-3光纤在计量仪器方面的应用 169

二、测距探头 171

三、工业用纤维镜 172

第五章图像测量与识别技术 176

§5-1基本概念 176

一、图像识别及其分类 176

二、图像识别系统的组成 177

三、图像识别的方法 178

四、文字识别 179

五、图像识别 180

§5-2图像信息的获取 182

一、机械式图像信息传感器 182

二、飞点扫描式图像信息传感器 183

三、激光扫描器 184

四、电视摄像机图像信息传感器 186

五、光敏二极管矩阵图像信息传感器 188

六、电荷耦合图像信息传感器 188

§5-3图像识别技术在计量和检测中的应用 191

一、位移的测量 191

二、线径的测量 192

三、印刷电路底板缺陷检查 194

四、彩色显像管极罩底板的自动外观检查 195

五、二极管芯片的自动外观检查 196

六、电话交换机转换开关接点的自动外观检查 198

七、自动位置检测 199