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目录 1

第一章 绪论 1

§1.1 “真空”的概念及真空技术的基本内容 1

§1.2 真空度量的单位和真空区域的划分 2

§1.3 真空技术在国民经济中的作用 5

第二章 真空的基础理论知识 8

§2.1 理想气体定律 8

§2.2 气体分子运动的简述 13

§2.3 空气的成分和分压强定律 18

§2.4 气体放电与电离现象 23

§2.5 气体的吸附与脱附 27

§2.6 分子流状态下的流导 30

第三章 真空获得 37

§3.1 油封旋转真空泵 37

§3.2 油扩散泵 50

§3.3 真空泵工作液 64

§3.4 无油真空泵 66

第四章 真空测量 85

§4.1 放电真空计 85

§4.2 U型压力计和压缩真空计 89

§4.3 热传导真空计 91

§4.4 电离真空计 98

§4.5 真空计的校准与选用 108

§4.6 真空电子器件内真空度的测量方法 113

第五章 真空检漏 117

§5.1 漏孔的形成和特性 117

§5.2 常用的检漏方法 123

§5.3 氦质谱检漏仪 136

§5.4 氦质谱检漏技术 146

§6.1 真空系统的基本结构 151

第六章 真空系统 151

§6.2 真空系统的材料 159

§6.3 真空阀门 168

§6.4 真空阱 174

§6.5 常用的真空系统 179

§6.6 无油真空系统 187

§6.7 真空系统的安装和调整 192

附录一 202

附录二 204

附录三 206