等离子体电子工程学PDF电子书下载

1 等离子体电子学的学习方法 2

1.1　等离子体概述 2

目录 2

篇外话 4

“等离子体”名称的由来 4

1.2　等离子体的各种性质 4

1.3　等离子体的应用 6

1.4　本书的构成 9

练习题 10

2　等离子体中的微观运动 12

2.1 单个粒子的运动 12

2.2　粒子间的碰撞 19

2.3 弹性碰撞中的能量损失 24

2.4　原子的激发与电离 25

原子的内部状态和光谱标记 27

2.5　分子的激发与离解、电离 31

练习题 37

3　等离子体的宏观性质 40

3.1 分布函数与平均量 40

3.2　等离子体基本方程 43

3.3　等离子体的电中性 45

3.4　粒子流动与密度分布 49

3.5　等离子体鞘层 56

朗缪尔探针 59

3.6　能量平衡与粒子数平衡 61

练习题 65

4　气体放电与等离子体的形成 68

4.1 气体的绝缘击穿——汤生的实验和理论 68

4.2　放电起始电压——帕邢定律 73

4.3　气体放电中的等离子体状态 75

4.4　汤生理论的局限性 76

流注的形成 79

练习题 82

5 等离子体的生成方法Ⅰ——直流放电 84

5.1 各种放电方法与放电模式 84

表面磁场对等离子体的约束作用 87

5.2　辉光放电与低温等离子体 88

5.3　电弧放电与热等离子体 94

5.4　电晕放电与高气压低温等离子体 100

5.5　磁控管放电 102

练习题 103

——高频放电、微波放电 106

6.1 等离子体生成与天线耦合 106

6　等离子体的生成方法Ⅱ 106

6.2　平行板加RF电压——电容耦合等离子体 108

6.3　线圈通RF电流——感应耦合等离子体 119

6.4　等离子体中的波 122

6.5　强电波照射——表面波等离子体 126

6.6　使用磁场中的波——ECR等离子体和螺旋波等离子体 128

练习题 131

朗道衰减与回旋衰减 131

7 等离子体在电子、环境工程中的应用 134

7.1 LSI制造工艺中的等离子体刻蚀法 134

7.2 非晶硅薄膜的等离子体CVD制备法 140

7.3　等离子体显示器件的工作原理 143

7.4　利用等离子体的环境改善技术 145

练习题 149

用强光生成等离子体 149

练习题解答 151

参考文献 155

附录 157