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第一章 薄膜的形成 1

1-1 单体的吸附 1

1-2 小原子团的形成 11

1-3 成核理论 15

1-4 凝结系数 26

1-5 薄膜的岛状生长过程 31

1-6 薄膜的生长模式 35

1-7 外延薄膜的形成 40

1-8 薄膜的结构 42

1-9 薄膜中的缺陷 48

第二章 薄膜的力学性质 55

2-1 薄膜的附着性能 55

2-2 薄膜的内应力 65

2-3 薄膜的弹性、强度和硬度 92

2-4 薄膜的摩擦、磨损和磨蚀 97

第三章 金属薄膜的电导 108

3-1 岛状薄膜的电导 109

3-2 外因对岛状薄膜电导的影响 131

3-3 网状薄膜的电导 139

3-4 连续薄膜的电导 144

3-5 外因对连续薄膜电导的影响 161

第四章 磁性薄膜的磁学性能 167

4-1 薄膜的磁化强度及磁各向异性 169

4-2 薄膜的磁畴结构 177

4-3 薄膜的静态磁化特性 185

4-4 薄膜在弱驱动场作用下的畴壁迁移率 191

4-5 薄膜在强驱动场作用下的畴壁迁移率 197

4-6 薄膜的开关特性 202

4-7 多层膜的结构及特性 206

4-8 薄膜的典型应用特性 213

第五章 介质薄膜的电学性能 222

5-1 介质薄膜的电导 224

5-2 负阻现象和记忆效应 248

5-3 介质薄膜的介电常数 258

5-4 介质薄膜的损耗 267

5-5 介质薄膜的击穿 282

5-6 氧化物介电性能与固态特性的关系 286

第六章 压电薄膜的电学性能 290

6-1 晶体的性质 295

6-2 压电薄膜的结构 316

6-3 压电薄膜的介电性能 324

6-4 压电薄膜的压电性能 336

参考文献 344