多晶硅生产技术项目化教程PDF电子书下载
- 电子书积分:11 积分如何计算积分?
- 作 者:刘秀琼,唐正林主编
- 出 版 社:北京:化学工业出版社
- 出版年份:2013
- ISBN:9787122156228
- 页数:252 页
绪论 1
0.1 改良西门子法生产多晶硅 1
0.2 其他多晶硅生产方法 4
项目一 气体的制备与净化 6
任务一 气体的制备 6
任务二 气体净化 18
小结 27
习题和思考题 27
项目二 三氯氢硅的合成 28
任务一 液氯汽化 28
任务二 氯化氢的合成 36
任务三 三氯氢硅的合成 43
小结 61
习题和思考题 62
项目三 三氯氢硅精馏提纯 64
任务一 精馏提纯原理及相关计算 64
任务二 精馏提纯设备 89
任务三 精馏提纯工艺 96
任务四 精馏提纯操作 98
任务五 设备、管道的检修 113
任务六 故障处理 115
任务七 三氯氢硅中杂质含量的分析 120
小结 121
习题和思考题 122
项目四 三氯氢硅氢还原制备高纯硅 123
任务一 三氯氢硅氢还原工作原理 123
任务二 三氯氢硅氢还原工艺、核心设备结构及操作 128
任务三 设备、管道保养与维护 143
任务四 还原工序常见故障判断与处理 148
任务五 三氯氢硅氢还原工序产品质量要求及控制 151
任务六 还原生产中热能的综合利用 155
任务七 高纯材料及半导体相关知识 156
小结 160
习题和思考题 160
项目五 尾气干法回收 162
任务一 还原尾气干法回收的基本原理 163
任务二 还原尾气干法回收工艺流程 167
任务三 尾气干法回收主要设备 168
任务四 设备准备及安全检查 176
任务五 尾气干法回收原辅材料准备 179
任务六 尾气干法回收关键及核心设备操作 180
任务七 尾气回收故障处理 184
任务八 设备、管道保养与维护 185
小结 192
习题和思考题 192
项目六 四氯化硅的综合利用与处理 193
任务一 四氯化硅的性质 193
任务二 四氯化硅氢化回收 195
任务三 四氯化硅处理的其他技术 198
小结 201
习题和思考题 201
项目七 硅芯的制备与腐蚀 202
任务一 硅芯的制备 203
任务二 硅芯腐蚀 208
小结 209
习题和思考题 210
项目八 纯水的制备 211
任务一 纯水制备原理 211
任务二 纯水制备工艺流程 214
任务三 纯水制备系统主要设备及工作原理 215
任务四 纯水制备系统操作 222
任务五 纯水的测量 228
任务六 其他纯水制备法及流程 230
小结 233
注释 233
习题和思考题 234
项目九 硅烷法制备高纯硅 235
任务一 硅烷的性质 235
任务二 原料的制取及处理 236
任务三 硅烷的发生 241
任务四 硅烷的提纯 246
任务五 硅烷热分解制备多晶硅 248
小结 251
习题和思考题 251
参考文献 252
- 《国家社科基金项目申报规范 技巧与案例 第3版 2020》文传浩,夏宇编著 2019
- 《中央财政支持提升专业服务产业发展能力项目水利工程专业课程建设成果 设施农业工程技术》赵英编 2018
- 《危险化学品经营单位主要负责人和安全生产管理人员安全培训教材》李隆庭,徐一星主编 2012
- 《绿色过程工程与清洁生产技术 张懿院士论文集精选 上》《绿色过程工程与清洁生产技术》编写组编 2019
- 《润滑剂生产及应用》张远欣,王晓路主编 2012
- 《电子应用技术项目教程 第3版》王彰云 2019
- 《HSEQ与清洁生产》高峰编著 2019
- 《洗涤剂生产工艺与技术》宋小平,韩长日主编 2019
- 《皮革用化学品生产工艺与技术》宋小平,韩长日著 2018
- 《网络互联技术项目化教程》梁诚主编 2020
- 《高考快速作文指导》张吉武,鲍志伸主编 2002
- 《建筑施工企业统计》杨淑芝主编 2008
- 《钒产业技术及应用》高峰,彭清静,华骏主编 2019
- 《近代旅游指南汇刊二编 16》王强主编 2017
- 《高级英语阅读与听说教程》刘秀梅编著 2019
- 《汉语词汇知识与习得研究》邢红兵主编 2019
- 《黄遵宪集 4》陈铮主编 2019
- 《孙诒让集 1》丁进主编 2016
- 《近代世界史文献丛编 19》王强主编 2017
- 《激光加工实训技能指导理实一体化教程 下》王秀军,徐永红主编;刘波,刘克生副主编 2017