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目 录 2

一、单晶与单晶片加工设备类 2

单晶控制设备 2

TDR-60型 单晶炉 2

TDR-40型 单晶炉 7

L4316Ⅱ-1/ZF型 高压单晶炉 11

切片设备 14

QP-3型 立式内圆切片机 14

J50422A/YN型 立式内圆切片机 16

J5075ⅡB/YN型 立式内圆切片机 19

J5040-1型 卧式内圆切片机 22

研磨设备 25

J58670/ZF型 大直径研磨机 25

DM9410型 双面磨片机 28

C6268-Ⅱ/YJ型 四动精密研磨机 31

C65820/YJ型 单面减薄机 34

抛光设备 37

J5875/YN型 二氧化硅乳液抛光机 37

DM9610型 二氧化硅乳液抛光机 40

C63305/YJ型 二氧化硅乳液抛光机 43

H7875-2型 二氧化硅乳液抛光机 45

C6377I/YJ型 掩膜版抛光机 48

其它设备 51

J58100/YN型 硅片倒角机 51

J3575/YN型 硅片粘片机 54

C61305/YJ型 硅片粘片机 57

制版设备 63

H94-21/ZM型 自动刻（绘）图机 63

二、制版、光刻、涂胶、清洗设备类 63

PB系列 数控平面绘图机 66

HB-71GJ型 中型数控绘图机 69

TSH-1型 图型数字化仪 72

H94-25/ZM型 感应式图形数字化仪 73

GS-335型 宽幅初缩照相机 76

H93-4/YL型 高精度缩微重复照相机 79

JS-3型 精缩照相机 82

H93-2/YL型 光栅定位四头分步重复照相机 85

ZFJ-1-5型 分步重复精缩机 88

ZLJS-75型 分步重复精缩机 91

FB-1型 精密接触式翻版机 94

YF-3型 掩膜版复印机 97

H94-4/YL型 掩膜版复印机 100

TF-KS1型 多功能图形发生器 103

25HZ型 图形发生器 106

TF-2型 图形发生器 108

光刻设备 111

DB-3型 电子束曝光机 111

JKG-2A型 光刻机 114

GK-4型 半自动光刻机 117

KHA75-1型 半自动接近／接触式光刻机 119

H94-19型 全自动曝光机 122

H94-18型 半自动曝光机 125

H94-17型 φ100mm大面积手动曝光机 128

1Q型 远紫外光刻机 132

4Q型 1：1投影光刻机 135

ZGK-50型 投影光刻机 137

JK-1型 半自动接近／接触式光刻机 141

H9450/ZK型；H9450A/ZK型 光刻机 144

JT-2型 净化涂胶台 147

匀胶、显影设备 147

H52-1/YN型 超净匀胶台 150

GK100-T/X型 净化涂胶／显影机 153

H52-3/ZF型 自动匀胶机 156

H95-3/ZF型 自动显影机 158

L36180/ZF型 远红外烘干炉 161

SW-CJ-9B型 匀胶（洁净工作）台 164

刻蚀、去胶设备 165

H46100型 离子束刻蚀机 165

LK-1型 离子束刻蚀机 168

LK-2型 离子束刻蚀机 172

LSK-500型 离子束刻蚀机 175

H67-2/ZM型 平板式等离子刻蚀机 178

PBKS-1型 平板式等离子刻蚀机 181

DK-P200型 平板式等离子刻蚀机 184

H67-1/ZM型 等离子刻蚀机 187

DLKS-1型 等离子刻蚀机 190

H69-1/ZM型 等离子去胶机 193

GP02-QJ4型 等离子去胶设备 196

H60-1/ZF型 高压水擦片机 199

清洗设备 199

JCJ-1型 净化擦片机 202

GCJ-75-1型 高压冲洗机 203

82S01型 硅片清洗机 204

JFQ-75型 硅片清洗机组 207

BCQ-3型 超声波清洗机 211

三、外延、化学气相沉积、氧化、扩散及离子注入设备类 217

外延设备 217

L4114Ⅱ-1A/ZM型 微控外延炉 217

YW-Ⅰ型 液相外延炉 221

YW-Ⅱ型 液相外延炉 224

化学气相沉积设备 227

L41950-1/ZM型 低压化学气相淀积设备 227

DD-500型 等离子淀积台 231

P-1型 低压等离子增强化学气相淀积设备 234

L-3型 低压化学气相淀积设备 236

LPCVD-1B型 低压化学气相淀积设备 239

H20-1型 氮化硅低温淀积台 242

DD-P250型 氮化硅低温淀积台 245

FD-120型 低压化学气相淀积设备 248

FD-200型 等离子CVD设备 250

FD-130型，FD-131型 低压化学气相淀积设备 252

氧化扩散设备 254

CKL-1A型 全程序控制管式炉 254

MCDS Ⅰ 20-1型 微型计算机控制全功能扩散系统 258

L4513Ⅱ-12/ZM型 高温扩散炉 261

L4513Ⅱ-32/RZQ型 高温扩散炉 264

L4512ⅡB/YN型 高温扩散炉 267

GK-5型 高温扩散炉 270

L4513Ⅱ-22/RZQ型 高温扩散炉 273

GK-4C型 高温扩散炉 276

L4513Ⅱ-9/ZM型 高温扩散炉 279

L4511Ⅱ-32/RZQ型 低温扩散炉 282

D07-2/ZM型 质量流量控制器 286

离子注入及电子束退火设备 287

LC-3型425keV离子注入机 287

J59200B/ZK型 中能离子注入机 290

LC-2A型 200keV离子注入机 294

J59200/Z M型 200keV离子注入机 297

DT-1型 电子束退火机 300

H44500-13型 无油超高真空镀膜机 304

四、蒸发及溅射设备类 304

蒸发镀膜设备 304

H44500-1型 无油超高真空镀膜机 307

CWD-500型 全无油超高真空镀膜机 310

H44500-5型 超高真空镀膜机 313

H44700型 箱式真空镀膜机 316

KZD-700型 电子束镀膜机 319

DMF-700型 电子束镀膜机 322

H44500-12型 四坩埚电子束镀膜机 325

H44500-11型 三坩埚电子束镀膜机 328

DMP-450型 电子束镀膜机 331

H44500C型 真空镀膜机 334

溅射设备 337

H46500-3型 双室磁控溅射设备 337

JCK-500型 磁控溅射台 340

PMS-500型 磁控溅射台 343

H44500-9型 磁控溅射台 345

H46500-1型 回旋靶磁控溅射台 347

H46500型 射频溅射台 350

JS-450A型，JS-450D型 射频溅射设备 353

D21-6/ZM型 扩展电阻测试仪 358

五、检测设备及仪器类 358

材料参数检测仪器 358

D41-6/ZM型 半导体杂质浓度分布测试仪 359

D22-12/ZM型 电荷积分仪 361

D41-7/ZM型 非接触测厚仪 363

D41-4型 四探针测试仪 365

STZ-1型 数字式方形四探针仪 367

掩膜检测仪器 369

JZQ-1型 平面度测试仪 369

PJ-1型 平整度检查仪 371

6Q型 数字式测量显微镜 372

7Q型 比较测量显微镜 374

8Q型 干涉相衬显微镜 375

中间测试仪器 376

TZ-3A型 自动多探针 376

TZ-3型 自动多探针 378

TZ-4型 自动多探针 380

D44-8/ZM型 多头半自动探针中测台 381

（MC-6800微型机控制） 382

D47-3/Z M型TTL电路测试系统 382

成品测试设备 382

D47-4/Z M型 C MOS集成电路测试台 384

（JS-10A计算机控制） 384

D47-2/Z M型TTL中规模集成电路测试台 386

（JS-10A计算机控制） 386

其它测试仪器 388

D9113Ⅱ/ZM型 温度分布曲线测量仪 388

P18-1/ZM型 导线可焊性测试仪 390

SW-CJ-1B型 通用洁净工作台 394

洁净工作台 394

六、净化设备类 394

TC系列 通用洁净工作台 396

TS系列 通用洁净工作台 399

CJ-1B型 通用洁净工作台 400

JJT-1型，JJT-2型 通用双人洁净工作台 401

SZX-ZP-1型 通用洁净工作台 404

SW-CJ-2A型，SW-CJ-2B型 扩散洁净工作台 405

CJ-5A型 扩散洁净工作台 407

SZX-KS型 扩散洁净工作台 408

SZX-TJ型 匀胶洁净工作台 409

SW-CJ-4B型 清洗洁净工作台 410

CJ-6型 清洗洁净工作台 411

SZX-QX型 清洗洁净工作台 412

SW-CJ-7A型 光刻洁净工作台 413

CJ-4型 光刻洁净工作台 414

SZX-GK型 光刻洁净工作台 415

JJG-1型 洁净储存柜 416

层流罩 418

TTZ型 吊式洁净层流罩 418

JJQ-1型 吊式单元洁净层流罩 419

JJQ-3型 立式单元洁净层流罩 420

空气净化单元 421

SW-CJ-5B型 空气净化单元 421

JJQ-2型 空气净化单元 422

SZX-DY型 空气净化单元 423

风淋室 424

FL-1型 风淋通道 424

FL-3型 风淋室 425

FL-2型 风淋室 426

TH-CL-902型 风淋室 428

JZS型，JZC型 系列洁净室 429

洁净室 429

CJK型，SJK型 系列洁净室 430

JS-CZ型 系列洁净室（铝型材结构） 434

JJS-4型，JJS-8型 洁净室 436

JJS-20型 洁净室 438

CLJ型 系列洁净室 440

SZX-ZP型 系列洁净室 442

TH-CSH-A型，TH-CSH-B型 系列洁净室 443

Y09-3/ZM型 尘埃粒子计数器 444

尘埃粒子计数器 444

Y09-4型 尘埃粒子计数器 446

Y09-1型 尘埃粒子计数器 448

超纯水终端处理装置 450

CS-Z0.5型 超纯水终端后处理装置 450

SZ-1型 超纯水终端后处理装置 453

CL-300系列 超滤装置 455

超纯气处理装置 457

DC-4型 氮气纯化装置 457

YC-1B型 氧气纯化装置 460

B-1610/ZM型 大流量氢气纯化装置 463

MQC-5型 氢气纯化装置 465

CH-5型 氢气纯化装置 467

B162/ZM型 氢气纯化装置 469

Y79-1/ZM型 直读式露点仪 471

ZDC20-13/V型 氮气终端净化装置 472

QCZ5-5/V型 氢气终端净化装置 473

划片、粘结等设备 476

J51120/ZF型 自动划片机 476

七、后部工艺设备类 476

J51100/ZF型 砂轮划片机 479

XD-1型 选择（局部）镀金机 483

T66-1/ZF型 芯片粘接机 485

超声键合、热压焊设备 488

P10Ⅲ5/ZF型 无尾丝超声键合机 488

P10-1/ZF型 超声金丝球焊机 491

P105-1型 超声金丝球焊机 494

WKQH型 金丝球焊机 496

JWYH-1型 微型电路热压球焊机 499

GPJ3-100型 高频介质加热机 501

封装设备 501

GP3.5-J1型 高频介质预热设备 503

L530/YN型 立式高频预热炉 506

Y14型 塑料封装模具 508

C45-4/YN型 12吨预成形机 509

YCX-12型 12吨预成形机 511

C45-1/YN型 20吨塑料封装机 514

C45-2/YN型 30吨塑料封装机 517

C45-50/YN型 50吨塑料封装机 520

C45-3/YN型 83吨塑料封装机 523

T41-1/ZE型 激光封装焊接机 526

PFJ-2型 平行缝焊机 527

烧结设备 529

L4660I/YN型 氮氢链式烧结炉 529

80S08型 气体保护链式炉 531

L4611Ⅱ-D/RZQ型 卧式真空烧结炉 534

其它设备 537

L903型 框架加热器 537

J933/YN型 气动压力机 538

D732A型 半自动打印机 540

Y70002/YF型 0.02m3高低温试验设备 543

八、环境模拟可靠性试验设备类 543

温度、压力试验设备 543

Y70Ⅲ25/YF型 2.5L半导体低温试验设备 545

Y70Ⅲ6/YF型 6L半导体低温试验设备 548

Y70005/YF型 0.05m3高低温试验设备 550

Y7001F/YF型 0.1m3低温试验设备 552

Y7001D/YF型 0.1m3高低温试验设备 554

Y7002H/YF型 0.2m3高低温试验设备 557

YW7002F/YF型 0.2m3低温试验设备 559

Y70200型 高低温试验设备 561

Y70021B/YF型 自动温度变化试验设备 564

Y6050-2型 高低温低压试验设备 567

Y7120型 低气压试验设备 569

力学试验设备 571

Y512/ZF型 30kgf电动振动台 571

D-10型 电动振动台 574

Y515/ZF型45kgf电动振动台 576

Y505-1/ZF型 5kg机械振动台 579

Y53200/ZF型 3kg×5离心式恒加速度试验机 582

Y5310ⅡⅡ/ZF型 105kg离心式恒加速度试验机 585

Y512/ZF型 1kg单次冲击试验台 588

潮湿、霉菌试验设备 590

Y61320型 潮热试验设备 590

Y7210型 交变湿热试验设备 592

YW-1201型 气流式盐雾腐蚀试验箱 595

MJ-910型 霉菌试验箱 597

老化设备 599

P82-43/ZM型 线性集成电路老化台 599

P82-41/ZM型 数字电路老化台 600

D42300A/ZK型 台式扫描电子显微镜 604

九、理化分析仪器类 604

DX-3型 台式扫描电子显微镜 607

DXB 2-12型 电子显微镜 609

XQF-2型 图象分析显微镜 611

Y21/ZK型 红外电视显微镜 613

GFU-201型 双光束原子吸收光谱仪 616

3200型 原子吸收分光光度计 618

7400型 红外分光光度计 621

910型 双光束荧光分光光度计 622

WFZ800-S型 双波长紫外可见光光度计 623

XYS-2型 X射线衍射仪 624

SP-2308型 气相色谱仪 627

TA-1型 自动伏安仪 628

883型 笔录极谱仪 629

75-4B型 快速极谱仪 630

ZCX-2型 柱层分析仪 631

十、附录 634

附录一 光学仪器 634

附录二 光学高温计 636

附录三 天平 637

附录四 烘箱 638

附录五 有关通用洁净工作台 639

附录六 光度计 640

附录七 色谱仪 641

附录八 液相色谱仪 643

附录九 大规模集成电路管芯制造工艺流程 644

附录十 超大规模集成电路管芯制造工艺流程 644

附录十一 有关文字符号对照表 645

附录十二 研制、生产单位地址 646