电子工业技术词典 厚薄膜电路PDF电子书下载

目录 1

一、厚膜集成电路 1

膜集成电路 1

厚膜技术 1

厚膜混合集成电路 1

功率厚膜混合集成电路 1

厚膜混合线性集成电路 1

厚膜微波集成电路 1

厚膜浆料 2

多层布线法 2

多层基片 2

厚膜基片 2

全厚膜化集成电路 2

触变性 3

掩模 3

乳胶掩模 3

腐蚀全金属掩模 3

电铸全金属掩模 3

刀刻掩模 3

喷涂 4

重烧性 4

印贴工艺（印花工艺） 4

烧结 4

细线分辨力 4

细线工艺 4

丝网印刷 4

导电带 5

银迁移 5

厚膜电阻器 5

氧化钌电阻器 5

氧化铱电阻器 5

厚膜复合介质 6

厚膜电容器 6

厚膜功率电阻器 6

金属树脂酸盐电阻器 6

钯-银电阻器 6

碳-树脂电阻器 6

二硅化钼电阻器 6

多层厚膜电容器 7

厚膜微调电容器 7

调整 7

激光调阻 7

喷砂调阻 7

砂轮切割调阻 7

厚膜试样 7

厚膜电感器 7

厚膜封装工艺 8

外接元器件 8

厚膜电路块 8

厚膜晶体管 8

焊接工艺 8

防护涂层 8

内接元器件 8

薄膜微波集成电路 7- 9

薄膜集总参数微波集成电路 7- 9

薄膜分布参数微波集成电路 7- 9

钽膜电路 7- 9

薄膜混合集成电路 7- 9

全薄膜化集成电路 7- 9

薄膜微电子学 7- 9

二、薄膜集成电路 9

方电阻 7- 10

方数 10

有效面积（薄膜电阻器的） 10

功率密度 10

比容 10

自愈（薄膜电容器的） 10

套蒸精度 10

膜厚及其淀积速率的监控 11

溅射率 11

蒸发速率 11

淀积速率 11

本征应力 11

热应力 11

薄膜中的应力 11

附着力（薄膜的） 11

电迁移 11

铝导体 12

铬-钛导体 12

钼-锰导体 12

钽导体 12

金导体 12

薄膜导体 12

基片 12

膜厚测量 12

薄膜电阻器 13

铬膜电阻器 13

钽膜电阻器 13

镍-铬膜电阻器 13

铬-硅系薄膜电阻器 13

铍-镍膜电阻器 13

氧化钽薄膜电容器 14

氧化硅薄膜电容器 14

氧化铌薄膜电容器 14

薄膜电容器 14

铼膜电阻器 14

氮化钛膜电阻器 14

氧化钇薄膜电容器 15

氧化铪薄膜电容器 15

氧化铝薄膜电容器 15

氧化镍薄膜（阻挡层）电容器 15

钛酸钡薄膜电容器 15

薄膜晶体管 16

薄膜二极管 16

薄膜电感器 16

叉指式薄膜电容器 16

氟化镧（铈、镨、钕）薄膜电容器 16

聚四氟乙烯薄膜电容器 16

聚对二甲苯膜式电容器 16

薄膜热电子器件 17

硅膜集成电路（硅-蓝宝石器件） 17

薄膜工艺 17

基片清洗 17

真空蒸发 17

电子束蒸发 17

反应溅射 18

射频溅射 18

阴极溅射 18

离子束蒸发 18

瞬时蒸发 18

反应蒸发 18

偏压溅射 19

等离子体溅射 19

离子束溅射 19

共溅射 19

双射频溅射 19

复印 20

超微粒银盐干版 20

分步重复照相 20

原图制备 20

化学气相沉积 20

液相溅射 20

吸气溅射 20

光致抗蚀剂 21

光刻 21

套刻 21

阳极氧化 21

热处理 21

薄膜元件调整 21

直流火花放电调阻 22

电化学氧化调阻 22

脉冲调阻 22

激光调整 22

金刚针压制调阻 22

电子束调阻 22

辅助电极切割调容 23

溅射腐蚀 23

钝化（薄膜元件的） 23

锡焊 23

热压焊 23

球焊 23

楔形焊 23

平行缝焊 24

激光焊 24

共熔焊 24

贮能焊 24

热压超声焊 24

超声倒装焊 24

超声焊 24

针脚式焊 24

颠摆焊 25

电子束焊 25

焊接玻璃 25

梁式引线 25

梁式引线基片 25

膜混合集成电路的封装 25

电子束曝光机 26

投影式掩蔽设备 26

等离子去胶机 26

同轴引出端金属空腔封装 26

激光扫描绘图机 26

自动原图刻图机 26

分步重复照相机 26

超高真空无油蒸发设备 27

膜混合集成电路的热设计 27

激光调阻机 27

薄膜多源联动蒸发设备 27

倒装焊键合机 27

溅射组合机组 27

双射频溅射设备 27

射频溅射设备 27

电子束蒸发设备 27

电路平面布线设计 28

大规模混合集成电路 28

薄膜多层布线 28

薄膜多层布线用导体 28

薄膜多层布线用隔离介质 28

一氧化硅薄膜多层布线 28

铝钡硼硅酸盐玻璃薄膜多层布线 29

聚二甲基硅氧烷薄膜多层布线 29

光致抗蚀剂薄膜多层布线 29

聚酰亚胺薄膜多层布线 29