半导体制造系统智能调度PDF电子书下载

第1章 概述 1

1.1 半导体制造过程 1

1.2 半导体生产线运作总体框架 7

1.2.1 物理系统 7

1.2.2 信息系统 10

1.3 半导体生产线调度 11

1.3.1 调度特点 11

1.3.2 调度类型与调度方法 13

1.3.3 评价指标 16

1.4 半导体制造系统调度体系结构 18

1.4.1 组件化可重构半导体生产线调度体系结构 19

1.4.2 半导体生产线调度仿真系统通用结构模型 21

1.4.3 基于数据的动态建模方法 23

1.4.4 组件化半导体生产线调度仿真系统 24

1.5 小结 27

第2章 智能化调度方法 28

2.1 计算智能简介 28

2.1.1 计算智能起源 28

2.1.2 计算智能的分类及特点 29

2.2 遗传算法 30

2.2.1 遗传算法简介 30

2.2.2 遗传算法求解流程 31

2.2.3 基于遗传算法的单机调度问题求解 35

2.3 免疫算法 36

2.3.1 免疫算法简介 37

2.3.2 免疫算法基本流程 38

2.3.3 基于免疫算法的多目标柔性作业车间调度问题求解 39

2.4 分布估计算法 41

2.4.1 分布估计算法简介 41

2.4.2 分布估计算法基本流程 43

2.4.3 基于分布估计算法的流水车间调度 44

2.5 蚁群优化算法 46

2.5.1 蚁群优化算法简介 46

2.5.2 蚁群优化算法模型及基本流程 47

2.5.3 基于蚁群优化算法的作业车间调度问题求解 48

2.6 Memetic算法 50

2.6.1 Memetic算法简介 50

2.6.2 Memetic算法求解流程 50

2.6.3 基于Memetic算法的车间动态调度问题求解 55

2.7 小结 57

第3章 智能化投料控制策略 58

3.1 概述 58

3.1.1 常用投料控制策略 59

3.1.2 改进的投料控制策略 65

3.2 混合智能优化投料控制策略 66

3.2.1 基于混合智能算法的投料控制 68

3.2.2 混合智能算法运行效果及性能分析 73

3.3 基于Memetic算法的投料控制策略 77

3.3.1 Memetic算法及SBOI平台介绍 77

3.3.2 基于SBOI平台的投料控制实例 79

3.4 小结 87

第4章 瓶颈设备智能化调度 89

4.1 约束理论 89

4.1.1 TOC的原理 90

4.1.2 TOC对生产系统的计划与控制步骤 92

4.1.3 TOC在生产计划与管理方面的优势 95

4.2 瓶颈设备识别方法 96

4.2.1 瓶颈设备定义 97

4.2.2 瓶颈设备定量识别算法 99

4.2.3 瓶颈设备辨识算法 100

4.2.4 瓶颈设备管理 101

4.3 基于GA的瓶颈设备调度方法 102

4.3.1 遗传算法的应用 102

4.3.2 基于GA的瓶颈设备调度验证 107

4.4 基于ACO的瓶颈设备调度方法 112

4.4.1 概述 112

4.4.2 Mini-Fab半导体生产线调度问题 113

4.4.3 基于ACO算法的瓶颈区排程方法 114

4.5 小结 120

第5章 批加工设备智能调度 121

5.1 概述 121

5.2 批加工设备调度描述 122

5.2.1 单台批加工设备调度 122

5.2.2 并行批加工设备调度 125

5.2.3 带有批加工设备的半导体生产线动态调度 128

5.3 基于ACO的批加工设备调度方法 133

5.3.1 概述 133

5.3.2 问题假设 134

5.3.3 基于ACO的半导体生产线批加工区调度方法 135

5.4 基于柔性ACO的批加工设备调度方法 143

5.4.1 柔性蚁群算法 143

5.4.2 需求分析 148

5.4.3 算法设计 149

5.4.4 算法实现 149

5.5 基于ACO-ICSA的批加工设备调度 151

5.5.1 免疫克隆选择算法 151

5.5.2 基于ACO-ICSA融合算法的单台批加工设备调度研究 152

5.6 小结 159

第6章 半导体生产线智能化调度方法 161

6.1 概述 161

6.2 基于ACO的单瓶颈半导体生产线调度方法 164

6.2.1 调度模型 164

6.2.2 基于蚁群算法的一体化调度 165

6.2.3 仿真分析 171

6.3 基于Multi-ACO的多瓶颈半导体生产线调度方法 174

6.3.1 概述 174

6.3.2 Mini-Fab半导体生产线调度问题 175

6.3.3 基于Multi-ACO的多瓶颈加工区排程方法 176

6.4 基于ACO-ICSA的多瓶颈半导体生产线调度方法 181

6.4.1 概述 181

6.4.2 Mini-Fab半导体生产线调度问题 181

6.4.3 基于ACO-ICSA的瓶颈区排程方法 182

6.5 小结 186

附录A 专业词语汇总表 187

附录B 模型介绍 191

B.1 HP24模型介绍 191

B.2 Mini-Fab模型介绍 193

B.3 某6寸生产线简化模型介绍 194

参考文献 196