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第一章 机电一体化技术概论 1

1-1机电一体化的含义 1

一、机电一体化的来历 1

二、何谓机电一体化 1

1-2机电一体化系统的组成要素 1

一、机体 2

二、传动系统 2

三、检测装置 2

四、执行机构 3

五、控制系统 3

1-3机电一体化产品的优越性 4

一、安全性大大提高 4

二、可靠性大大提高 4

三、精度高，质量高，生产率高 4

四、简化操作，使用性能大大改善 4

五、具有复合功能，适用性广 5

六、大大节约能源 5

七、具有柔性，适用于多品种、小批量生产 5

八、功能成本比大，价格较便宜 5

九、减轻劳动强度，改善劳动条件 5

十、加快产品更新换代，提高竞争力 5

1-4机电一体化产品的发展简况 6

一、国外机电一体化产品发展简况 6

二、国内机电一体化产品发展简况 6

复习题 7

第二章 自动装配机 8

2-1电阻引线自动焊接机 8

一、概述 8

二、总体构思 9

三、主要机构 11

四、提高生产率的措施 15

2-2铝电解电容器自动装配机 17

一、概述 17

二、总体构思 18

三、主要机构 21

2-3碟形芯柱制造机 33

一、概述 33

二、总体构思 34

三、主要机构 37

2-4自动插件机 43

一、概述 43

二、整机概况 44

三、主要机构 46

2-5高速贴片机 65

一、概述 65

二、高速贴片机概况 68

三、主要机构 70

2-6多工位装配机的典型传送机构 85

一、概述 85

二、直线式传送机构 86

三、回转式传送机构 89

复习题 95

第三章 集成电路制造工艺关键设备 96

3-1概述 96

一、集成电路 96

二、双极型集成电路制造工艺流程 97

三、MOS集成电路制造工艺流程 101

3-2图形发生器 103

一、概述 103

二、工作原理 104

三、主要机构 105

四、控制系统 118

3-3精缩机 120

一、概述 120

二、主要机构 121

3-4分步重复投影光刻机（DSW） 122

一、概述 122

二、主要机构 124

三、发展简况及趋势 135

3-5超微细加工设备概论 135

一、电子（离子）光学基础 135

二、电子束曝光技术 140

三、离子束技术 141

3-6电子束扫描曝光机 143

一、概述 144

二、主要机构 144

三、控制系统 158

3-7电子束蒸发与磁控溅射 158

一、概述 158

二、低温泵电子束蒸发镀膜机 160

三、等离子磁控溅射台 167

3-8管芯键合 168

一、概述 168

二、全自动超声金丝球焊机 171

复习题 189

第四章 电子计算机外部设备 190

4-1概述 190

一、何谓外部设备 190

二、外部设备类型 190

三、外部设备的特点及发展趋向 191

4-2输入设备 192

一、概述 192

二、键盘输入设备 192

三、光—电纸带输入机 196

4-3输出设备 201

一、概述 201

二、点矩阵针式打印机 201

三、激光印字机 208

四、滚筒式绘图机 210

五、平台式绘图机 212

六、平面电机绘图机 216

4-4外存储设备 219

一、概述 219

二、硬磁盘存储器 220

三、软磁盘存储器 228

四、光盘存储器 233

复习题 236

第五章 工业机器人应用 238

5-1工业机器人概述 238

一、工业机器人的含义 238

二、工业机器人的组成 238

三、工业机器人的分类 239

四、工业机器人的主要技术参数 239

五、工业机器人发展简况及趋向 240

5-2点焊机器人 241

一、概述 241

二、IR662/100型机器人概况 242

三、IR662/100型机器人的主要机构 244

四、IR662/100型机器人的电气系统 249

5-3喷漆机器人 250

一、概述 250

二、PR11喷漆机器人概况 251

三、PR11喷漆机器人的主要机构 253

5-4装配机器人 258

一、概述 258

二、精密装配机器人 259

复习题 260

第六章 数控机床 261

6-1概述 261

一、何谓数控机床 261

二、数控机床的组成 261

三、数控机床的分类 262

四、数控机床的特点及应用 263

五、编制程序 264

6-2 JCS—018型立式加工中心（自动换刀数控立式镗铣床） 274

一、概述 274

二、主要机构 276

三、7CM数控系统总方框图 284

6-3慢走丝数控电火花线切割机 285

一、概述 285

二、慢走丝数控电火花线切割机概况 288

三、主要机构 290

四、控制系统 295

复习题 298

主要参考文献 299