微纳检测技术PDF电子书下载

第1章 微纳检测技术基础 1

1.1 微纳米量级检测技术特点 1

1.2 常用检测技术 3

1.3 微纳尺度的溯源与基准传递 5

第2章 光学干涉测试技术 8

2.1 位移干涉检测技术 8

2.2 相移干涉检测技术 15

2.3 X射线干涉技术 36

2.4 白光干涉检测技术 39

第3章 微纳形貌检测技术 48

3.1 接触式轮廓仪 48

3.2 非接触式轮廓仪——光学式轮廓仪 55

第4章 扫描探针显微镜 62

4.1 扫描隧道显微镜 62

4.2 原子力显微镜 95

4.3 扫描近场光学显微镜 118

第5章 扫描电子显微镜 129

5.1 扫描电子显微镜 129

5.2 透射电子显微镜 142

5.3 环境扫描电子显微镜 146

第6章 微纳坐标测量技术 149

6.1 微纳坐标测量技术基础 149

6.2 微纳坐标测量仪器 156

6.3 微纳坐标测量仪器的研究进展 165

6.4 微纳坐标测量仪器传感测头的研究进展 171

第7章 微视觉测试技术 179

7.1 微视觉测试技术基础 179

7.2 微结构平面尺寸的视觉测试 183

7.3 微结构平面运动参数的视觉测试 186

第8章 全息干涉技术 209

8.1 全息干涉技术的发展历史 209

8.2 全息图的分类 209

8.3 传统全息技术的基本原理 210

8.4 数字全息技术 211

8.5 商业化仪器介绍 214

参考文献 217