电子与光子材料手册 第3册 电子材料 阴影版PDF电子书下载

Part C 电子材料 3

21 单晶硅：电学与光学特性 3

21.1 硅基 3

21.2 电学特性 13

21.3 光学特性 34

参考文献 40

22 硅-锗：特性、生长和应用 43

22.1 硅-锗物理特性 44

22.2 硅-锗光学特性 50

22.3 硅-锗生长 54

22.4 多晶硅-锗 56

参考文献 59

23 砷化镓 61

23.1 GaAs的体生长 64

23.2 GaAs的外延生长 69

23.3 GaAs的扩散 73

23.4 GaAs离子注入 75

23.5 GaAs晶格缺陷 76

23.6 GaAs的杂质与缺陷分析（化学） 79

23.7 GaAs的杂质与缺陷分析（电学） 80

23.8 GaAs的杂质与缺陷分析（光学） 83

23.9 复杂异质结的评估 84

23.10 GaAs的电接触 86

23.11 GaAs器件（微波） 86

23.12 GaAs器件（电-光） 89

23.13 GaAs的其他应用 94

23.14 结论 94

参考文献 95

24 高温电子材料：碳化硅与金刚石 99

24.1 材料的特性与制备 102

24.2 电子器件 109

24.3 总结 119

参考文献 120

25 非晶态半导体：结构、光学与电学特性 127

25.1 电子态 127

25.2 结构特性 130

25.3 光学特性 132

25.4 电学特性 135

25.5 光诱导现象 137

25.6 纳米非晶态结构 139

参考文献 140

26 非晶态与微晶硅 143

26.1 等离子体SiH4与SiH4H2的反应 143

26.2 表面薄生长 145

26.3 a-Si：H与μc-SI：H缺陷密度测定 151

26.4 器件应用 152

26.5 硅薄膜太阳能电池材料的相关问题研究进展 153

26.6 总结 156

参考文献 156

27 铁电体材料 159

27.1 铁电体材料 163

27.2 铁电体材料制备技术 170

27.3 铁电体应用 178

参考文献 184

28 微电子电介质材料 187

28.1 栅极电介质 192

28.2 隔离电介质 209

28.3 电容电介质 209

28.4 互连电介质 213

28.5 总结 215

参考文献 215

29 薄膜 221

29.1 淀积形成方法 223

29.2 结构 244

29.3 特性 254

29.4 结论 270

参考文献 273

30 厚膜 279

30.1 厚膜工艺 280

30.2 衬底 282

30.3 厚膜材料 283

30.4 组件与装配 286

30.5 传感器 290

参考文献 293