气体放电等离子体动力学PDF电子书下载

第1章 气体放电斑图动力学 1

1.1 氩气介质阻挡放电斑图动力学 4

1.2 空气介质阻挡放电斑图动力学 46

1.3 介质阻挡放电时空动力学测量 79

第2章 托卡马克等离子体动力学过程 142

2.1 分析磁约束等离子体湍流特性的统计方法 142

2.2 等离子体涨落的光学测量 155

2.3 等离子体湍流中的相干结构 175

第3章 电子助进热丝化学气相沉积动力学过程 224

3.1 蒙特卡罗(Monte Carlo)方法解电子输运问题 225

3.2 电子助进热丝化学气相沉积电子行为的蒙特卡罗模拟 232

3.3 电子助进热丝化学气相沉积气相分解过程 251

3.4 电子助进热丝化学气相沉积中金刚石低温生长机制 285

3.5 电子助进热丝化学气相沉积的发射光谱诊断 314

第4章 激光等离子体化学气相沉积动力学研究 325

4.1 激光等离子体化学气相沉积中气相过程研究 325

4.2 激光等离子体化学气相沉积硅膜 343