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第1章 概论 1

1.1 等离子体 1

1.2 微电子学中的等离子体工艺 3

1.3 等离子体推进 8

1.4 射频等离子体：E，H和W模式 12

1.5 内容简介 15

第2章 等离子体动力学与平衡 17

2.1 微观描述 18

2.2 宏观描述 33

2.3 整体粒子和能量平衡 36

2.4 电动力学描述 39

2.5 本章总结 48

第3章 有界等离子体 51

3.1 空间电荷鞘层区 53

3.2 等离子体/鞘层过渡 62

3.3 等离子体区：输运模型 67

3.4 本章总结 77

第4章 射频鞘层 83

4.1 响应时间 83

4.2 离子动力学 87

4.3 电子动力学 95

4.4 （高频）RF鞘层的解析模型 99

4.5 重要结果归纳 110

第5章 单频容性耦合等离子体 111

5.1 恒定离子密度下电流驱动的对称模型 112

5.2 非均匀离子密度的电流驱动模型 123

5.3 整体模型 130

5.4 其他放电参数范围及放电位形 139

5.5 重要结果归纳 145

第6章 多频容性耦合等离子体 147

6.1 静电近似下的双频CCP 148

6.2 高频情况下的电磁模式 156

6.3 重要结果归纳 181

第7章 感性耦合等离子体 183

7.1 电磁模型 185

7.2 等离子体自身的阻抗 194

7.3 变压器模型 198

7.4 纯感性放电的功率转换效率 201

7.5 容性耦合 203

7.6 整体模型 205

7.7 重要结果归纳 210

7.8 进一步考虑 211

第8章 螺旋波等离子体 217

8.1 在无界等离子体中的平行传播 220

8.2 柱状等离子体中传播的螺旋波 224

8.3 螺旋波模式存在的条件 229

8.4 波功率的吸收：加热 231

8.5 E-H-W模式转换 235

8.6 重要结果归纳 237

第9章 真实等离子体 239

9.1 高密度等离子体 240

9.2 磁化等离子体 244

9.3 电负性等离子体 248

9.4 扩展等离子体 260

第10章 电测量 265

10.1 静电探针 266

10.2 用于射频等离子体的静电探针 284

10.3 减速场分析器 291

10.4 共振及波诊断 296

10.5 重要结果归纳 306

附录：习题解 307

参考文献 313