![射频等离子体物理学](https://cover.qianqiantushu.cc/55/s689c5fd.jpg)
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射频等离子体物理学PDF电子书下载
- 电子书积分:12 积分如何计算积分?
- 作 者:(法)帕斯卡·夏伯特,(英)尼古拉斯·布雷斯韦特著;王友年,徐军,宋远红译
- 出 版 社:北京:科学出版社
- 出版年份:2015
- ISBN:9787030459190
- 页数:321 页
第1章 概论 1
1.1 等离子体 1
1.2 微电子学中的等离子体工艺 3
1.3 等离子体推进 8
1.4 射频等离子体:E,H和W模式 12
1.5 内容简介 15
第2章 等离子体动力学与平衡 17
2.1 微观描述 18
2.2 宏观描述 33
2.3 整体粒子和能量平衡 36
2.4 电动力学描述 39
2.5 本章总结 48
第3章 有界等离子体 51
3.1 空间电荷鞘层区 53
3.2 等离子体/鞘层过渡 62
3.3 等离子体区:输运模型 67
3.4 本章总结 77
第4章 射频鞘层 83
4.1 响应时间 83
4.2 离子动力学 87
4.3 电子动力学 95
4.4 (高频)RF鞘层的解析模型 99
4.5 重要结果归纳 110
第5章 单频容性耦合等离子体 111
5.1 恒定离子密度下电流驱动的对称模型 112
5.2 非均匀离子密度的电流驱动模型 123
5.3 整体模型 130
5.4 其他放电参数范围及放电位形 139
5.5 重要结果归纳 145
第6章 多频容性耦合等离子体 147
6.1 静电近似下的双频CCP 148
6.2 高频情况下的电磁模式 156
6.3 重要结果归纳 181
第7章 感性耦合等离子体 183
7.1 电磁模型 185
7.2 等离子体自身的阻抗 194
7.3 变压器模型 198
7.4 纯感性放电的功率转换效率 201
7.5 容性耦合 203
7.6 整体模型 205
7.7 重要结果归纳 210
7.8 进一步考虑 211
第8章 螺旋波等离子体 217
8.1 在无界等离子体中的平行传播 220
8.2 柱状等离子体中传播的螺旋波 224
8.3 螺旋波模式存在的条件 229
8.4 波功率的吸收:加热 231
8.5 E-H-W模式转换 235
8.6 重要结果归纳 237
第9章 真实等离子体 239
9.1 高密度等离子体 240
9.2 磁化等离子体 244
9.3 电负性等离子体 248
9.4 扩展等离子体 260
第10章 电测量 265
10.1 静电探针 266
10.2 用于射频等离子体的静电探针 284
10.3 减速场分析器 291
10.4 共振及波诊断 296
10.5 重要结果归纳 306
附录:习题解 307
参考文献 313
- 《新编高中物理竞赛教程习题全解》钟小平主编;钟小平,倪国富,曹海奇编写 2019
- 《数学物理方法与仿真 第3版》杨华军 2020
- 《中学物理奥赛辅导:热学 光学 近代物理学》崔宏滨 2012
- 《长江口物理、化学与生态环境调查图集》于非 2019
- 《大学物理简明教程 下 第2版》施卫主编 2020
- 《慢性呼吸系统疾病物理治疗工作手册》(荷)瑞克·考斯林克(RikGosselink) 2020
- 《医学物理学》洪洋 2020
- 《初中物理知识地图》赵端旭 2017
- 《教师教育系列教材 心理学原理与应用 第2版 视频版》郑红,倪嘉波,刘亨荣编;陈冬梅责编 2020
- 《高等医药院校教材 医学物理学实验指导》(中国)杨晓岚 2019
- 《羊脂球 莫泊桑短篇小说选》(法)莫泊桑著;张英伦译 2010
- 《海洋文明小史》倪谦谦责编;王存苗译;(法)雅克·阿塔利 2020
- 《古代巴比伦》(英)莱昂纳德·W.金著 2019
- 《BBC人体如何工作》(英)爱丽丝.罗伯茨 2019
- 《包法利夫人》(法)福楼拜著;许渊冲译 2019
- 《一个数学家的辩白》(英)哈代(G.H.Hardy)著;李文林,戴宗铎,高嵘译 2019
- 《梵蒂冈地窖》(法)安德烈·纪德著 2018
- 《莎士比亚全集 2》(英)莎士比亚著,朱生豪等译 2002
- 《莎士比亚戏剧精选集》(英)威廉·莎士比亚(William Shakespeare)著 2020
- 《莎士比亚 叙事诗·抒情诗·戏剧》(英)威廉·莎士比亚著 2019
- 《指向核心素养 北京十一学校名师教学设计 英语 七年级 上 配人教版》周志英总主编 2019
- 《《走近科学》精选丛书 中国UFO悬案调查》郭之文 2019
- 《北京生态环境保护》《北京环境保护丛书》编委会编著 2018
- 《中医骨伤科学》赵文海,张俐,温建民著 2017
- 《美国小学分级阅读 二级D 地球科学&物质科学》本书编委会 2016
- 《指向核心素养 北京十一学校名师教学设计 英语 九年级 上 配人教版》周志英总主编 2019
- 《强磁场下的基础科学问题》中国科学院编 2020
- 《小牛顿科学故事馆 进化论的故事》小牛顿科学教育公司编辑团队 2018
- 《小牛顿科学故事馆 医学的故事》小牛顿科学教育公司编辑团队 2018
- 《高等院校旅游专业系列教材 旅游企业岗位培训系列教材 新编北京导游英语》杨昆,鄢莉,谭明华 2019