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半导体硅单晶缺陷显示图象册
半导体硅单晶缺陷显示图象册

半导体硅单晶缺陷显示图象册PDF电子书下载

工业技术

  • 电子书积分:7 积分如何计算积分?
  • 作 者:七○三厂编
  • 出 版 社:天津市科技局革委会情报组
  • 出版年份:1971
  • ISBN:
  • 页数:74 页
图书介绍:
《半导体硅单晶缺陷显示图象册》目录

目录 1

第一章 基本理论 1

§1.点缺陷 1

§2.位错——线缺陷 2

1.两种简单的位错型 2

2.位错产生的简单机构 4

(1)位错的遗传 4

(2)位错的增殖 4

§3.点缺陷与位错的交互作用 6

§4.半导体硅上的位错 7

1.金刚石结构中的简单位错 7

2.金刚石结构中的混合位错 8

§5.单晶生长过程中位错的产生 10

1.从籽晶引入的位错 10

2.在晶体生长过程中引起的位错 10

§6.达希(W.C.Dash)理论的局限性及我们的看法 13

§7.位错对半导体电学性质的影响 15

§8.位错对原子过程的作用 17

§1.位错排与星形结构 18

第二章 半导体硅单晶中各种具体的缺陷之腐蚀图象分析 18

§2.小角晶界及系属结构 20

§3.边界线 21

§4.反向生长;枝蔓结构与网状结构 22

§5.亚结构与蛛网状结构 23

§6.辉纹与管道 24

第三章 硅单晶的腐蚀图象显示法 29

§1.硅单晶(111)面位错的显示法 29

§2.硅单晶(100)面位错显示法 31

§3.硅单晶生长前沿显示法 31

1.空间坐标中的各种晶面与晶向 34

附录: 34

2.常用物理数值表 35

3.硅在常温下主要的固有物性 36

4.硅中各种杂质的能级 37

5.有关杂质在硅中的分凝系数 38

6.有关杂质在硅中的挥发 38

7.有关杂质在硅中的扩散 39

8.硅中杂质的固相溶解度 40

9.硅单晶的定向籽晶的制备 42

10.硅中载流子浓度与电阻率的关系 43

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