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目录 1

第一章 导论 1

1-1电子探针X射线显微分析仪的一般原理 1

1-2电子探针X射线显微分析的发展简史 5

1-3国外电子探针X射线显微分析仪的主要性能简介 9

1-4电子探针X射线显微分析的进展和展望 18

第二章 电子光学及线路 33

2-1真空室 33

2-2电子枪 34

2-3电子束形成的两种原理 35

2-4成像法电子光学 36

2-5压缩电子束（反聚焦）法的电子光学 41

2-6电子透镜的像差 41

2-7像散 43

2-8球面像差 43

2-9慧形像差 45

2-10柱体的调整 46

2-11电子束流 50

2-12电子线路 51

第三章 X射线晶体光学 53

3-1晶体衍射法的原理 53

3-2影响衍射的晶体参数 54

3-3常用的衍射晶体 57

3-4弯晶光学 60

3-5圆柱形光学的垂直发散 63

3-6非磨制晶体 66

3-7半聚焦光学 67

3-8特征X射线强度和峰值／本底比 69

第四章 X射线探测器与能谱分析 75

4-1X射线探测器 75

4-2X射线能谱 77

4-3两种方法的结合应用 83

4-4电子线路 84

第五章 定量分析的物理基础 87

5-1定量分析中非线性因素 88

5-2电子在固体中的散射 89

5-3原子序数效应 91

5-4吸收效应更正 97

5-5原子序数效应和吸收效应的相互关系 103

5-6G．D．阿尔恰德的计算法 105

5-7荧光效应 112

5-8L．S．伯克斯的近似校正 116

第六章 样品类型和制备 129

6-1制备样品须注意的一些问题 129

6-2矿物、矿石、岩石样品的制备 133

6-3金属材料样品的制备 134

6-4生物样品的制备 136

第七章 样品观察和分析程序 138

7-1对样品进行电子探针分析的步骤 138

7-2定性分析和扫描图像的观察 138

7-3定量分析 145

7-4数据处理 145

第八章 定量分析及有关问题 152

8-1相似于样品的标准样 152

8-2未知样品的分析及计算 153

8-3特征X射线强度 163

8-4峰值／本底比 166

8-5荧光效应 169

8-6用背散射和吸收电子作定量分析 170

第九章 应用举例 173

9-1铂族矿物的分析 173

9-2硫化物的分析 174

9-3矿物的环带结构 176

9-4电子元件的分析 178

9-5金属夹杂物的分析 178

9-6薄膜的厚度及其组成 179

9-7其他方面的应用 181

附录 195

附录Ⅰ 激发效率 195

附录Ⅱ 强度函数（F） 201

附录Ⅲ 质量吸收系数 214

附录ⅣX 射线临界吸收和发射能量表 252

附录Ⅴ-1 特征X射线波长表 256

附录Ⅴ-2X 射线光谱的主要发射谱线表 260

附录Ⅵ 原子序数校正因子（Pz） 262