真空实验技术PDF电子书下载

第一章 真空的基本概念 1

1 压强单位与真空区域的划分 1

2 稀薄气体的基本性质 4

3 输运现象 10

4 蒸气 17

5 真空的应用 20

第二章 真空的获得 29

1 真空系统的构成 29

2 抽气速率和气体流量 31

3 气导 35

4 机械泵 42

5 汽流泵 63

6 离子蒸发泵 77

7 吸附泵和低温泵 88

8 放气和渗气 93

第三章 真空的测量 114

1 绝对真空规 115

2 相对真空规 121

3 真空规的校准 152

第四章 质谱分析与检漏 171

1 离子源和接收器 173

2 180°质谱计 175

3 四极场质谱计 177

4 飞行时间质谱计 182

5 一般检漏技术 183

6 补漏 202

第五章 真空材料与工艺 215

1 真空材料的选择 215

2 真空封接 224

3 清洁处理 230

4 除气 233

第六章 真空系统的设计和使用 246

1 真空系统 246

2 封闭式电真空器件的排气 256

3 真空镀膜 259

1 真空与表面科学 293

第七章 真空表面分析 293

2 电子与表面的相互作用 294

3 表面成份分析 299

4 表面结构分析 307

附录 328

一、几种气体的性质 328

二、常用元素的蒸气压 331

三、各种形状管道的气导值 334

四、部分国产双级旋片式转动泵的主要技术性能 337

五、部分国产油扩散泵的主要技术性能 338

六、安全操作注意事项 339

七、真空材料的清洁处理方法 341

实验索引 351