薄膜光学与真空镀膜技术PDF电子书下载

上篇 1

第1章 绪论 1

1.1 薄膜光学概述 1

1.2 电磁理论基础 6

第2章 光学薄膜特性计算 13

2.1 递推法 13

2.2 矢量法 15

2.3 矩阵法 17

2.4 非均匀介质膜特性计算 20

第3章 光学薄膜的普遍定理 22

3.1 透射定理 22

3.2 普遍等效定理 23

3.3 对称膜等效定理 24

3.4 周期性多层膜理论 26

3.5 诱导透射定理 28

第4章 膜系设计方法 30

4.1 图解法 30

4.2 解析法 36

4.3 自动设计法 39

4.4 其他设计法 42

第5章 常用膜系分析与设计 44

5.1 减反射膜（增透膜） 44

5.2 反射膜 54

5.3 分光膜 65

5.4 截止滤光片 73

5.5 带通滤光片 81

5.6 光波斜入射对膜系的影响 89

5.7 光学薄膜设计范例 92

第6章 光学薄膜应用举例 94

6.1 光学薄膜在导引头半实物仿真系统中的应用 94

6.2 光学薄膜在眼镜行业中的应用 96

6.3 截止滤光片的应用 100

6.4 带通滤光片的应用 103

下篇 107

概述 107

第7章 真空镀膜设备 108

7.1 真空基础知识 108

7.2 真空的获得 110

7.3 真空的测量与检漏 120

第8章 真空薄膜沉积技术 124

8.1 热蒸发镀膜技术 124

8.2 溅射镀膜技术 128

8.3 离子镀膜技术 135

8.4 膜厚的监控 139

8.5 获得均匀膜层的方法 147

第9章 物理气相沉积薄膜的结构与特性 150

9.1 薄膜形成与微观结构 150

9.2 薄膜特性 154

9.3 镀膜工艺对薄膜性能的影响 164

第10章 光学薄膜的性能测试 174

10.1 光学常数的测试 174

10.2 光学性能的测试 177

10.3 机械性能的测试 184

10.4 其他性能的测试 187

第11章 常用光学薄膜材料 192

11.1 金属薄膜 192

11.2 介质薄膜 193

11.3 特殊材料 196

附录 202

附录1 光学零件镀膜分类、符号及标注 202

附录2 光学薄膜元件环境适应性试验方法 206

附录3 光学和光学仪器光学薄膜 218

附录4 ISO 9211-1：2010 225

附录5 ISO 9211-2：2010 234

附录6 ISO 9211-3：2008（E） 247

附录7 ISO 9211-4：2006（E） 255

术语索引 265

参考文献 267