NEMS传感器的研制与应用PDF电子书下载
- 电子书积分:8 积分如何计算积分?
- 作 者:谭苗苗著
- 出 版 社:北京:冶金工业出版社
- 出版年份:2017
- ISBN:9787502474423
- 页数:110 页
1 NEMS传感器的结构及加工工艺设计 1
1.1 NEMS传感器的敏感元件:一维纳米材料 1
1.1.1 纳米管、纳米线、纳米带 1
1.1.1.1 碳纳米管 1
1.1.1.2 纳米线 2
1.1.1.3 纳米带 2
1.1.2 一维纳米材料的机电性能 2
1.2 基于一维纳米材料的NEMS生物传感器设计 3
1.2.1 NEMS传感器系统设计 3
1.2.2 传感器加工工艺 4
1.2.3 传感器测试方案 4
1.2.3.1 扫描电镜测试 4
1.2.3.2 器件的电特性测试 4
1.2.3.3 生物检测实验 5
2 基于一维纳米材料的NEMS传感器研究进展 6
2.1 碳纳米管原位生长 6
2.2 碳纳米管生长后组装 9
2.3 碳纳米管的多层结构制造 16
2.4 NEMS器件的电学特性研究进展 18
2.5 基于一维纳米材料NEMS器件制备方法的研究意义 23
3 面向NEMS器件的一维纳米结构流体组装 24
3.1 碳纳米管悬浮液的配制 24
3.2 组装碳纳米管的基片修饰与选择 25
3.2.1 基片修饰预处理 25
3.2.2 基片选择 27
3.3 流体定向组装碳纳米管 27
3.3.1 流体定向组装原理 27
3.3.2 流体组装实验装置设计 28
3.3.3 流体组装仿真计算 29
3.3.3.1 计算模型 29
3.3.3.2 仿真计算结果 31
3.3.4 流体组装实验 32
3.3.4.1 碳纳米管流体组装实验 32
3.3.4.2 其他一维纳米材料流体组装实验 34
3.4 碳纳米管方向一致性评价 36
3.5 本章小结 38
4 面向NEMS器件的一维纳米结构介电电泳组装 40
4.1 介电电泳组装概述 40
4.2 碳纳米管的介电电泳排列组装 42
4.2.1 介电电泳场强分布仿真 42
4.2.2 介电电泳实验 45
4.2.3 介电电泳组装的影响因素分析 46
4.2.3.1 电极宽度 47
4.2.3.2 电泳时间 48
4.2.3.3 电场模式 48
4.2.4 其他一维纳米材料的介电电泳组装 49
4.2.4.1 单壁碳纳米管 49
4.2.4.2 碳纳米纤维 50
4.2.4.3 Bi2S3半导体纳米线 51
4.3 碳纳米管的单层有序多层结构制备 51
4.3.1 介电电泳结合LBL组装方法 51
4.3.2 介电电泳与LBL组装实验 52
4.3.3 碳纳米管单层有序的纵向多层结构 52
4.4 流体与介电电泳结合排列组装碳纳米管 54
4.4.1 流体参数选择 54
4.4.2 电场参数选择 57
4.4.3 流体结合电泳组装与电泳组装和流体组装比较 59
4.5 本章小结 61
5 面向NEMS器件的电接触性能研究 62
5.1 电接触的理论分析 62
5.2 碳纳米管金属引线制作方法 64
5.3 金属电极上沉积碳纳米管的接触特性研究 65
5.3.1 振动破坏实验验证接触可靠性 65
5.3.1.1 振动实验装置 65
5.3.1.2 加速度1~10g垂直方向振动对接触的影响 65
5.3.1.3 加速度大于10g的振动对接触的影响 67
5.3.2 高温退火改善接触研究 69
5.3.2.1 高温退火实验 69
5.3.2.2 实验结果分析 71
5.4 图形化金属包覆碳纳米管的引线接触研究 73
5.4.1 金属选择 73
5.4.2 金属引线电极制作 75
5.4.2.1 电极图形及工艺设计 75
5.4.2.2 金属腐蚀 77
5.4.2.3 接触状态比较 78
5.5 本章小结 79
6 NEMS传感器在空气环境检测中的应用 80
6.1 NEMS传感器应用于空气环境检测的研究进展 80
6.2 以硅纳米线为敏感元件的NEMS传感器 86
6.2.1 敏感元件 86
6.2.1.1 硅纳米线制备 86
6.2.1.2 硅纳米线的表面修饰 87
6.2.2 传感器结构 88
6.2.3 基于场效应晶体管结构的纳米线传感器检测原理 89
6.3 空气微生物检测系统 90
6.3.1 气溶胶发生装置 90
6.3.2 气溶胶样品采集 91
6.3.2.1 气溶胶静电采样原理 91
6.3.2.2 气溶胶采样器结构 93
6.3.2.3 采样器电场分布计算 95
6.3.2.4 采样器的物理采集效率实验分析 96
6.3.2.5 NEMS传感器检测用样品的输运 96
6.3.3 信号处理及显示装置 97
6.4 采用NEMS传感器检测实验 99
7 NEMS传感器的发展趋势及应用前景展望 100
7.1 NEMS传感器研究的发展趋势 100
7.1.1 纳米材料的制备及性能研究 100
7.1.2 器件的结构研究 101
7.1.3 器件的加工工艺 102
7.2 NEMS传感器的应用前景展望 102
参考文献 103
后记 110
- 《钒产业技术及应用》高峰,彭清静,华骏主编 2019
- 《现代水泥技术发展与应用论文集》天津水泥工业设计研究院有限公司编 2019
- 《英汉翻译理论的多维阐释及应用剖析》常瑞娟著 2019
- 《数据库技术与应用 Access 2010 微课版 第2版》刘卫国主编 2020
- 《区块链DAPP开发入门、代码实现、场景应用》李万胜著 2019
- 《虚拟流域环境理论技术研究与应用》冶运涛蒋云钟梁犁丽曹引等编著 2019
- 《当代翻译美学的理论诠释与应用解读》宁建庚著 2019
- 《第一性原理方法及应用》李青坤著 2019
- 《教师教育系列教材 心理学原理与应用 第2版 视频版》郑红,倪嘉波,刘亨荣编;陈冬梅责编 2020
- 《物联网与嵌入式技术及其在农业上的应用》马德新 2019
- 《望乡》(日)凑佳苗著;王蕴洁译 2019
- 《低碳试点城市实践研究 以温州市为例》应苗苗 2019
- 《陕北榆林过大年》李苗苗著 2019
- 《孩子最爱问的十万个为什么 地理奇观》龚苗苗编著 2013
- 《向野早苗的拼布课堂》(日)向野早苗著 2013
- 《超级漫画素描技法 人物素描基础篇》(日)成田早苗著;黄文娟译 2013
- 《纳粹的精神解析》(美)艾尔-海著;刘苗苗译 2014
- 《中华文化经典导读丛书 曲剧品评》檀传宝,陈苗苗著 2011
- 《轻松巧记大学英语四六级词汇 第2版》王华琴,张青华,杨爱娟主编;牛力维,张红,雷乾乾,李中美,赵晓颖,刘泽青,徐苗苗副主编 2013
- 《孕产妇宜吃的食物》谢英彪,戴永梅主编;陈蕾,虞丽相副主编;苗苗,李芹,张悦等编著 2013
- 《指向核心素养 北京十一学校名师教学设计 英语 七年级 上 配人教版》周志英总主编 2019
- 《北京生态环境保护》《北京环境保护丛书》编委会编著 2018
- 《指向核心素养 北京十一学校名师教学设计 英语 九年级 上 配人教版》周志英总主编 2019
- 《高等院校旅游专业系列教材 旅游企业岗位培训系列教材 新编北京导游英语》杨昆,鄢莉,谭明华 2019
- 《中国十大出版家》王震,贺越明著 1991
- 《近代民营出版机构的英语函授教育 以“商务、中华、开明”函授学校为个案 1915年-1946年版》丁伟 2017
- 《新工业时代 世界级工业家张毓强和他的“新石头记”》秦朔 2019
- 《智能制造高技能人才培养规划丛书 ABB工业机器人虚拟仿真教程》(中国)工控帮教研组 2019
- 《陶瓷工业节能减排技术丛书 陶瓷工业节能减排与污染综合治理》罗民华著 2017
- 《全国职业院校工业机器人技术专业规划教材 工业机器人现场编程》(中国)项万明 2019