微系统设计导论 第2版PDF电子书下载

绪论 1

第1章 尺度效应 3

第2章 弹性变形 5

第3章 薄膜 7

练习题 11

第4章 导路 15

练习题 19

第5章 电学测量 21

练习题 29

第6章 膜片 30

练习题 47

第7章 膜片上的应变计 49

练习题 58

第8章 梁 60

练习题 70

第9章 振动 74

练习题 85

第10章 微流道 88

练习题 101

第11章 电容力 103

练习题 112

第12章 压电效应 114

练习题 127

第13章 热执行器 131

练习题 140

第14章 微光学技术 144

练习题 151

第15章 扩散 152

练习题 157

第16章 微阀 159

练习题 171

第17章 微泵 175

练习题 185

第18章 微量给料 190

第19章 物理域的类比性 191

练习题 195

第20章 机械电子器件 197

练习题 203

第21章 压力传感器 206

练习题 211

第22章 流量传感器 213

练习题 220

第23章 惯性传感器 222

练习题 226

参考文献 227