2004年上海大学博士学位论文 64 扫描探针显微镜智能自动化策略研究及应用PDF电子书下载

第一章 绪论 1

1.1 引言 1

1.2 扫描探针显微镜的发展历程 3

1.3 扫描探针显微镜自动化关键技术的研究现状 6

1.4 扫描探针显微镜研究和应用中主要存在的自动化问题 13

第二章 扫描探针显微镜及其执行机构的工作机理 19

2.1 扫描探针显微镜系统结构 19

2.2 扫描探针显微镜的工作机理 21

2.3 扫描探针显微镜中执行机构的特性描述与分析对比 24

2.4 压电执行器在SPM中的应用机理及改进方案 35

2.5 本章小结 38

第三章 SPM自动化的理论基础 39

3.1 引言 39

3.2 H∞鲁棒控制 43

3.3 自适应滞后补偿控制 47

3.4 DNA软计算 55

3.5 本章小结 60

第四章 滞后补偿控制策略 61

4.1 STM反馈控制网络 61

4.2 SPM控制策略 64

4.3 本章小结 83

第五章 回滞非线性校正策略 85

5.1 引言 85

5.2 ARDNA软计算 86

5.3 回滞非线性校正 94

5.4 本章小结 114

第六章 SPM智能校正及标定的实现策略研究 116

6.1 特征数据测量 116

6.2 压电执行器建模与非线性校正算法 122

6.3 非正交误差测量与校正算法 123

6.4 标定算法 125

6.5 本章小结 126

第七章 SPM智能自动化系统设计及实验 127

7.1 软件设计与开发 128

7.2 实验设计与结果分析 133

7.3 本章小结 141

第八章 总结与展望 143

8.1 本文总结 143

8.2 展望 145

参考文献 147

致谢 165