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晶圆制造自动化物料运输系统调度PDF电子书下载
- 电子书积分:11 积分如何计算积分?
- 作 者:张洁,秦威,吴立辉著
- 出 版 社:武汉:华中科技大学出版社
- 出版年份:2015
- ISBN:9787568009027
- 页数:263 页
第1章 晶圆制造系统 1
1.1 半导体制造产业 1
1.1.1 半导体制造产业的发展与现状 1
1.1.2 未来半导体制造产业面临的挑战 6
1.2 半导体芯片制造工艺 7
1.2.1 晶圆制备 7
1.2.2 晶圆制造 7
1.2.3 晶圆拣选测试 10
1.2.4 芯片封装 10
1.2.5 芯片封装测试 11
1.3 晶圆制造系统的构成 11
1.3.1 晶圆加工系统 11
1.3.2 晶圆制造物料运输系统 15
1.4 晶圆制造系统的调度 17
本章参考文献 18
第2章 晶圆制造自动化物料运输系统 21
2.1 晶圆制造物料运输系统的发展 21
2.1.1 半自动化物料运输系统 21
2.1.2 自动化物料运输系统 22
2.1.3 智能化物料运输系统 23
2.2 晶圆制造自动化物料运输系统的组成 24
2.2.1 晶圆卡 24
2.2.2 传送系统 25
2.2.3 存储系统 27
2.2.4 跟踪系统 28
2.2.5 控制系统 29
2.3 晶圆制造物料运输系统布局 29
2.3.1 单脊椎型布局 29
2.3.2 双脊椎型布局 30
2.3.3 整体式布局 30
2.3.4 周边布局 31
2.3.5 混合式布局 33
2.4 晶圆制造自动化物料运输系统的特点 33
本章参考文献 34
第3章 晶圆制造AMHS的建模 35
3.1 基于网络流模型的晶圆制造AMHS建模 35
3.1.1 网络流模型基本理论 35
3.1.2 晶圆制造AMHS网络流建模过程 36
3.2 基于排队论模型的晶圆制造AMHS建模 40
3.2.1 排队论模型基本理论 40
3.2.2 晶圆制造AMHS排队论建模过程 42
3.3 基于数学规划模型的晶圆制造AMHS建模 46
3.3.1 数学规划模型基本理论 46
3.3.2 晶圆制造AMHS数学规划建模过程 48
3.4 基于马尔可夫模型的晶圆制造AMHS建模 49
3.4.1 马尔可夫模型基本理论 50
3.4.2 晶圆制造AMHS马尔可夫建模过程 51
3.5 基于仿真模型的晶圆制造AMHS建模 53
3.5.1 仿真模型基本理论 54
3.5.2 晶圆制造AMHS仿真建模过程 55
3.6 基于Petri网模型的晶圆制造AMHS建模 62
3.6.1 Petri网模型基本理论 62
3.6.2 晶圆制造AMHS的Petri网建模过程 63
3.7 本章小结 70
本章参考文献 70
第4章 晶圆制造AMHS运行特性分析 72
4.1 AMHS运行过程描述 72
4.2 常用AMHS运行分析方法 73
4.3 晶圆制造AMHS扩展马尔可夫模型 75
4.3.1 参数定义与假设 75
4.3.2 扩展马尔可夫模型定义 77
4.3.3 扩展马尔可夫模型的分析过程 78
4.3.4 模型有效性验证 85
4.4 基于扩展马尔可夫模型的AMHS运行分析 90
4.4.1 运输小车平均利用率分析 90
4.4.2 空载运输小车平均到达时间间隔分析 92
4.4.3 期望和实际运输量分析 93
4.4.4 晶圆卡等待时间分析 94
4.4.5 运输小车堵塞相关指标分析 97
4.4.6 AMHS运行分析实例 100
4.5 本章小结 103
本章参考文献 103
第5章 晶圆制造AMHS调度方法 104
5.1 基于启发式规则的晶圆制造AMHS调度 104
5.1.1 启发式规则概述 104
5.1.2 启发式规则在晶圆制造AMHS调度中的应用 108
5.2 基于运筹学方法的晶圆制造AMHS调度 111
5.2.1 运筹学方法概述 111
5.2.2 运筹学方法在AMHS调度中的应用 115
5.3 基于智能算法的晶圆制造AMHS调度 119
5.3.1 智能算法概述 119
5.3.2 智能算法在AMHS调度中的应用 126
5.4 本章小结 132
本章参考文献 132
第6章 Interbay物料运输系统调度 134
6.1 Interbay物料运输调度问题描述 134
6.2 基于AMPHI的Interbay物料运输调度方法 136
6.2.1 基于AMPHI的Interbay物料运输调度模型 136
6.2.2 基于AMPHI的Interbay物料运输系统调度框架 138
6.2.3 Interbay物料运输任务指派 139
6.2.4 基于模糊逻辑的参数权重调节 144
6.2.5 实例验证 152
6.3 基于复合启发式规则的Interbay物料运输调度方法 161
6.3.1 Interbay物料运输全局优化调度模型 162
6.3.2 基于复合启发式规则的Interbay物料运输调度框架 164
6.3.3 基于遗传规划的复合规则生成算法 165
6.3.4 实例验证 173
6.4 本章小结 177
本章参考文献 178
第7章 Intrabay物料运输系统调度 179
7.1 Intrabay物料运输调度问题描述 179
7.2 基于GDP的Intrabay物料运输调度方法 180
7.2.1 基于GDP的Intrabay物料运输调度模型 180
7.2.2 基于GDP的Intrabay物料运输调度框架 183
7.2.3 基于模糊逻辑的晶圆卡运输动态优先级决策 183
7.2.4 基于匈牙利算法的Intrabay物料运输任务指派方法 187
7.2.5 基于贪婪优化的运输小车调度策略 188
7.2.6 实例验证 189
7.3 基于推拉结合策略的Intrabay物料运输调度方法 193
7.3.1 基于推拉结合策略的Intrabay物料运输调度框架 196
7.3.2 推拉结合的VSL和LSV调度规则 196
7.3.3 实例验证 198
7.4 本章小结 203
本章参考文献 203
第8章 晶圆制造AMHS集成调度 204
8.1 AMHS集成调度问题描述 204
8.2 基于PMOGA的AMHS集成调度方法 206
8.2.1 基于PMOGA的AMHS集成调度模型 206
8.2.2 基于PMOGA的AMHS集成调度框架 208
8.2.3 面向AMHS集成调度的并行多目标遗传算法 208
8.2.4 实例验证 219
8.3 基于GARL的AMHS复合启发式集成调度方法 223
8.3.1 AMHS集成调度基本规则 223
8.3.2 小车路径库构建 224
8.3.3 基于遗传算法的路径智能选择算法 224
8.3.4 实例验证 224
8.4 本章小结 228
本章参考文献 228
第9章 晶圆制造AMHS调度性能评价 230
9.1 AMHS调度性能评价的建模需求 230
9.2 基于面向多代理的知识有色赋时Petri网模型的AMHS建模方法 232
9.2.1 面向多代理的知识有色赋时Petri网的定义 232
9.2.2 基于AOCKTPN的AMHS建模过程 235
9.2.3 AOKCTPN模型的可行性分析 247
9.3 基于AOKCTPN模型的AMHS调度性能评价 251
9.3.1 变迁时间分析 251
9.3.2 调度性能评价指标 252
9.3.3 调度性能评价方法 253
9.4 晶圆制造AMHS调度性能评价实例 254
9.4.1 AOKCTPN模型可行性的实例验证 254
9.4.2 基于AOKCTPN模型的AMHS调度性能评价 254
9.5 本章小结 261
本章参考文献 262
后记 263
- 《中国制造业绿色供应链发展研究报告》中国电子信息产业发展研究院 2019
- 《云计算节能与资源调度》彭俊杰主编 2019
- 《智能制造高技能人才培养规划丛书 ABB工业机器人虚拟仿真教程》(中国)工控帮教研组 2019
- 《玉米淀粉绿色精益制造 新工艺、新设备、新理念》佟毅 2018
- 《大型游乐设施制造与安装》郑志涛等编著 2015
- 《“十一五”国家级规划教材 工程材料与机械制造基础 下 第3版》(中国)李爱菊 2019
- 《电子产品制造工艺》梁娜 2019
- 《精工制造》(意)皮特·鲁赫(Peter Ruch)编著 2018
- 《全栈自动化测试实战 基于TestNG、HttpClient、Selenium和Appium》卢家涛 2020
- 《制造业集群供应链网络效应研究》胡宇辰,张孝锋著 2017
- 《中风偏瘫 脑萎缩 痴呆 最新治疗原则与方法》孙作东著 2004
- 《水面舰艇编队作战运筹分析》谭安胜著 2009
- 《王蒙文集 新版 35 评点《红楼梦》 上》王蒙著 2020
- 《TED说话的力量 世界优秀演讲者的口才秘诀》(坦桑)阿卡什·P.卡里亚著 2019
- 《燕堂夜话》蒋忠和著 2019
- 《经久》静水边著 2019
- 《魔法销售台词》(美)埃尔默·惠勒著 2019
- 《微表情密码》(波)卡西亚·韦佐夫斯基,(波)帕特里克·韦佐夫斯基著 2019
- 《看书琐记与作文秘诀》鲁迅著 2019
- 《酒国》莫言著 2019
- 《大学计算机实验指导及习题解答》曹成志,宋长龙 2019
- 《大学生心理健康与人生发展》王琳责任编辑;(中国)肖宇 2019
- 《大学英语四级考试全真试题 标准模拟 四级》汪开虎主编 2012
- 《大学英语教学的跨文化交际视角研究与创新发展》许丽云,刘枫,尚利明著 2020
- 《复旦大学新闻学院教授学术丛书 新闻实务随想录》刘海贵 2019
- 《大学英语综合教程 1》王佃春,骆敏主编 2015
- 《大学物理简明教程 下 第2版》施卫主编 2020
- 《大学化学实验》李爱勤,侯学会主编 2016
- 《中国十大出版家》王震,贺越明著 1991
- 《近代民营出版机构的英语函授教育 以“商务、中华、开明”函授学校为个案 1915年-1946年版》丁伟 2017