集成电路生产过程的优化调度 理论模型、算法与系统仿真PDF电子书下载

1　绪论 1

1.1　调度理论的提出与发展 1

1.2　调度理论的研究方法 2

1.3　三种研究方法的比较 6

1.4　集成电路生产的优化调度 6

1.5　本章小结 7

2　集成电路的生产过程和特点 8

2.1　集成电路产业的发展 8

2.2　集成电路的制造工艺 9

2.3　硅片制造的工艺流程及制造设备 11

2.4　集成电路生产线的特点 12

2.5　本章小结 15

3　集成电路生产优化调度的内容和含义 16

3.1　投料控制 16

3.2　工件调度 17

3.3　集成电路生产线过程建模 22

3.4　性能分析 23

3.5　检测站设置 24

3.6　存在的问题 24

3.7　本章小结 25

4　集成电路生产优化调度的理论模型 26

4.1　几种典型模型概述 26

4.2　面向对象的混合PN模型（HOPN） 30

4.3　基于流平衡方程的静态模型 34

4.4　基于“最小时间单位”的动态模型 36

4.5　本章小结 38

5　集成电路生产优化调度的算法 39

5.1　集成电路生产线的性能指标分析 39

5.2　集成电路生产线的满意优化调度结构 41

5.3　自适应控制层 42

5.4　优化层 45

5.5　调度层 54

5.6　本章小结 65

6　集成电路生产优化调度的系统仿真 66

6.1　集成电路生产线仿真系统的系统需求 66

6.2　集成电路生产线仿真系统的总体架构 67

6.3　仿真支撑层 68

6.4　集成电路生产线实体层 82

6.5　案例分析 83

6.6　基于仿真的集成电路生产线实时调度框架 86

6.7　本章小结 90

7　集成电路生产优化调度的最新研究进展 91

7.1　基于系统动力学的投料策略研究 91

7.2　基于群体智能的集成电路生产线调度研究 94

7.3　基于Agent的集成电路生产线集成调度研究 98

7.4　本章小结 103

8　结束语 104

参考文献 106