光学干涉检测PDF电子书下载

第一章 干涉基础 1

一、双光束干涉方程 1

二、基本概念和定义 2

三、获得干涉条纹的条件 3

四、条纹可见度 3

五、空间相干性 4

六、偏振特性 5

七、相对光强度 6

八、分束器 7

九、分光板和薄膜分光镜 8

十、分光镜式衍射光栅 8

第二章 干涉仪 9

一、经典斐索干涉仪 9

二、牛顿环 11

三、泰曼-格林干涉仪 12

四、补偿板 12

五、反射/透射比 13

六、基于PBS的泰曼-格林干涉仪 13

七、斐索激光干涉仪 14

八、马赫-曾德尔干涉仪 16

九、光束检测 16

十、横向剪切干涉仪（LSI） 17

十一、旋转光栅LSI 18

十二、径向剪切干涉仪 19

第三章 干涉图像 20

一、波面像差系数 20

二、泽尼克多项式 22

三、波面误差RMS值 24

四、球差干涉图 24

五、彗差干涉图 25

六、干涉图——其他像差 26

七、莫尔条纹 27

八、莫尔和干涉图 28

第四章 相移干涉 30

一、直接相位测量 30

二、相移方法 31

三、连续相移 32

四、液晶延迟器 33

五、频移光源 33

六、相移算法 34

七、基本的相位解包裹 35

八、步进相移和连续相移的比较 35

九、PSI的误差 36

十、量化误差 37

十一、不正确的相移 38

十二、避免振动 39

十三、空间同步和傅里叶方法 40

十四、空间载波干涉仪 41

十五、毛玻璃散射器 42

第五章 表面微观结构 44

一、诺马斯基干涉显微镜 44

二、等色序干涉条纹（FECO） 45

三、相移干涉显微镜 46

四、多波长干涉仪 47

五、立式扫描技术 48

第六章 平面检测 50

一、反光镜 50

二、窗口 51

三、楔镜 53

四、角锥立方棱镜 54

第七章 曲面检测 56

一、样板法 56

二、泰曼-格林干涉仪检测曲面 57

三、斐索激光干涉仪检测曲面 58

四、检测透镜或者透镜系统 59

五、沙克立方干涉仪 60

六、散光板干涉仪 61

七、相移散射板干涉仪 62

八、长波干涉仪 63

九、斯马特点衍射干涉仪 64

十、相移点衍射干涉仪 65

十一、索马格伦衍射干涉仪 66

十二、曲面，立式白光扫描干涉仪（VSWLI） 67

十三、柱形光学零件 67

第八章 绝对测量 68

一、平板 68

二、球面 69

第九章 非球面检测 71

一、非球面 71

二、非球面检测 72

三、双曲面零检测 73

四、奥夫纳零检测 74

五、全息零光学检测 75

六、计算全息基本原理 76

七、计算全息设计指南 77

八、非零检测 78

九、反射光线跟踪 79

十、尼奎斯特干涉仪 80

十一、长波干涉仪 81

附录 83

一、非干涉检测 83

二、傅科（刀口）检测 84

三、线检测 85

四、朗奇检验 85

公式汇总 87

参考文献 93

索引 97