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《微电子材料性能测试实验》目录
实验一 半导体温差电效应及其导电类型的测定 1
实验二 晶体管击穿电压及其硅单晶电阻率的测定 6
实验三 硅片的化学腐蚀及其位错的测定 20
实验四 硅材料的力学性能及其抗弯强度的测定 39
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