光学薄膜及其应用PDF电子书下载

1光学薄膜的基本性质和设计方法 1

1.1光学薄膜的光学性质 1

1.1.1薄膜光学的理论基础 1

1.1.2光学薄膜的吸收 7

1.1.3吸收对光学薄膜性能的影响 11

1.1.4光学薄膜的散射 15

1.1.5光学薄膜的不均匀性 36

1.1.6光学薄膜的各向异性 47

1.1.7光学薄膜的偏振特性 56

1.1.8光学薄膜的相位延迟 75

1.1.9光学薄膜的群延迟及群延迟色散 85

参考文献 94

1.2光学薄膜的力学性质 96

1.2.1薄膜应力的形成及分类 97

1.2.2薄膜内应力的力学模型 99

1.2.3薄膜应力的微观力学模型 100

1.2.4沉积工艺对光学薄膜应力的影响 102

1.2.5多层膜应力 113

1.2.6光学薄膜应力发展的实时监测 118

1.2.7光学薄膜的应力破坏 132

参考文献 134

1.3光学薄膜的设计 136

1.3.1光学薄膜的分析设计 136

1.3.2光学薄膜自动设计 154

1.3.3膜系设计实例 159

参考文献 161

2几类特殊的光学薄膜 163

2.1紫外光学薄膜 163

2.1.1紫外光及紫外光学薄膜的一般特性 163

2.1.2影响紫外高反膜光学性能的主要因素 168

2.1.3几种紫外激光薄膜 173

参考文献 216

2.2极紫外和软X射线薄膜 217

2.2.1软X射线多层膜设计的基本理论 218

2.2.2软X射线及极紫外薄膜的一般设计结果 225

2.2.3多层膜的性能分析 234

2.2.4软X射线多层膜反射镜的研制 242

2.2.5性能测试 244

2.2.6几种反射膜的研制 248

2.2.7软X射线多层膜分光元件的研制 256

2.2.8反射型软X射线位相光栅的研制 259

参考文献 260

2.3介质膜光栅 262

2.3.1多层介质膜光栅 262

2.3.2多层介质膜光栅的衍射特性分析 274

2.3.3多层介质膜脉冲压缩光栅的优化设计 282

2.3.4介质膜光栅中的导模共振 290

参考文献 332

2.4雕塑薄膜 333

2.4.1倾斜沉积雕塑薄膜的基本性质 334

2.4.2有效介质理论介绍 336

2.4.3雕塑薄膜的制备及结构特征 342

2.4.4几种雕塑薄膜 344

参考文献 369

3光学薄膜在激光系统中的应用 371

3.1概述 371

参考文献 374

3.2激光系统中的几类激光薄膜 375

3.2.1反射膜 375

3.2.2激光减反射薄膜 379

3.2.3激光偏振膜 390

3.2.4波长分离膜 397

3.2.5高斯输出镜 407

3.2.6负色散补偿反射镜 422

参考文献 441

3.3光学薄膜的激光破坏 443

3.3.1激光对光学薄膜破坏的一般规律 444

3.3.2激光对光学薄膜破坏的热过程分析 448

3.3.3光学薄膜激光破坏的热力耦合 460

3.3.4光学薄膜的缺陷破坏 472

3.3.5光学薄膜中的节瘤缺陷 497

3.3.6光学薄膜的非线性破坏 529

3.3.7多脉冲激光对光学薄膜的破坏 558

3.3.8真空环境下光学薄膜的激光破坏 566

参考文献 584

附录 各章节参考研究生论文题目 589

索引 592

致谢 595