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第1章 MEMS概述 1

1.1 MEMS的概念 1

1.2 MEMS研究现状 6

1.3 MEMS的特点和存在的问题 14

参考文献 25

第2章 MEMS材料 30

2.1 硅及其化合物 30

2.1.1 硅 30

2.1.2 硅化合物 38

2.2 陶瓷 39

2.3 聚合物 41

2.4 金属 45

2.4.1 磁致伸缩金属 45

2.4.2 形状记忆合金 46

2.5 凝胶 47

2.6 电流变体 48

2.6.1 电流变体定义 48

2.6.2 电流变体组成 48

2.6.3 电流变体应用 49

2.7 新兴材料 50

2.7.1 石墨烯 50

2.7.2 碳纳米管 59

2.7.3 金刚石 70

2.7.4 硅烯 78

参考文献 79

第3章 MEMS工艺 82

3.1 传统超精密和特种微细加工技术 82

3.1.1 传统超精密微加工技术 82

3.1.2 特种微细加工技术 85

3.2 硅微机械加工技术 107

3.2.1 MEMS常用IC工艺 107

3.2.2 表面微加工技术 120

3.2.3 体微加工技术 123

3.3 键合技术 133

3.4 LIGA技术 145

3.4.1 标准LIGA技术 146

3.4.2 准LIGA技术 148

3.4.3 其他相关LIGA技术 157

参考文献 163

第4章 MEMS典型器件 165

4.1 微传感器与微执行器 165

4.1.1 MEMS微传感器 167

4.1.2 微执行器 177

4.2 微加速度计 184

4.2.1 线微加速度计 186

4.2.2 差动电容微加速度计 186

4.2.3 跷跷板式微加速度计 188

4.2.4 三明治式微加速度计 190

4.2.5 梳齿式微加速度计 192

4.2.6 MEMS微加速度计研究方向 195

4.3 微陀螺仪 197

4.3.1 陀螺仪原理 198

4.3.2 MEMS陀螺仪 201

4.3.3 进一步提高MEMS陀螺仪的性能 219

4.4 微谐振器 220

4.4.1 梳状谐振器 221

4.4.2 梁式谐振器 221

4.4.3 盘式谐振器 222

4.4.4 薄膜体声波谐振器 224

4.4.5 腔结构微机械谐振器 226

4.4.6 声表面波谐振器 226

4.4.7 谐振器性能比较 228

4.5 数字微镜 229

4.5.1 DMD原理 229

4.5.2 数字微镜的应用 233

参考文献 236

第5章 MEMS应用 239

5.1 MEMS技术在汽车工业中的应用 240

5.1.1 汽车安全系统 241

5.1.2 监测轮胎气压系统 243

5.2 MEMS技术在军事领域的应用 248

5.2.1 微飞行器 249

5.2.2 微惯性导航系统 251

5.2.3 纳米武器 254

5.3 MEMS技术在医学中的应用 255

5.3.1 微创内窥镜系统 256

5.3.2 特定部位药物释放药丸 260

5.3.3 消化道采样及参数监测系统 261

5.3.4 精微外科和软组织外科手术 262

5.4 MEMS在光通信中的应用 264

5.4.1 全光通信 264

5.4.2 光开关 266

5.5 MEMS技术在航空航天中的应用 277

5.5.1 微纳卫星 277

5.5.2 太空望远镜调整系统 279

5.6 MEMS技术在手机中的应用 281

5.6.1 手机加速度计 282

5.6.2 MEMS麦克风 283

5.6.3 远程信息处理 284

5.6.4 多频段手机 284

5.6.5 微型投影技术 287

5.6.6 手机陀螺仪 289

5.6.7 MEMS在手机中的前景 290

5.7 MEMS技术在家用电器中的应用 291

5.8 生物芯片 296

5.8.1 微阵列生物芯片 297

5.8.2 微流体生物芯片 297

5.8.3 流体技术 300

5.8.4 检测技术及装置 300

5.8.5 DNA测序与药品研制 302

5.9 MEMS技术在物联网中的应用 302

参考文献 305

第6章 RF MEMS及重构天线 308

6.1 RF MEMS 309

6.2 RF MEMS的应用 310

6.2.1 MEMS移相器 310

6.2.2 MEMS滤波器 315

6.2.3 其他RF MEMS应用 318

6.3 RF开关 320

6.3.1 RF MEMS开关分类 322

6.3.2 悬臂梁结构电阻接触式RF开关 323

6.3.3 电容耦合式RF开关 326

6.4 重构天线的概念 328

6.5 重构天线研究现状 330

6.6 重构天线分类 334

6.6.1 改变天线单元结构 334

6.6.2 控制馈电网络 338

6.7 频率重构 339

6.8 方向图重构 345

6.9 频率和方向图同时重构 349

6.10 极化可重构微带天线 351

参考文献 361

第7章 MEMS力学问题 366

7.1 梁的力学问题 366

7.1.1 应变和应力 366

7.1.2 梁的弯曲变形 367

7.2 膜的力学问题 370

7.2.1 薄膜弯曲 370

7.2.2 周边固支圆形薄膜弯曲 371

7.2.3 周边固支矩形薄膜弯曲 372

7.3 静电力 373

7.3.1 分离变量法级数解 373

7.3.2 保角变换近似解 374

7.3.3 考虑极板厚度时的边缘效应 374

7.3.4 非平行极板电容静电力 375

7.4 范德瓦耳斯力 377

7.4.1 偶极子电场 378

7.4.2 离子与偶极间作用力 379

7.4.3 偶极相互作用 380

7.4.4 角平均的偶极相互作用 381

7.4.5 偶极-诱导作用 381

7.4.6 伦敦（London）-范德瓦耳斯力 382

7.4.7 范德瓦耳斯力 385

7.4.8 物体间的范德瓦耳斯力 386

7.5 MEMS阻尼 387

7.5.1 气体阻尼 387

7.5.2 稀薄气体阻尼 400

7.6 Casimir力 402

7.6.1 Casimir力的背景 403

7.6.2 Casimir力 404

7.6.3 金属板间Casimir力 405

7.6.4 Casimir力对MEMS的影响 407

参考文献 410