薄膜技术与薄膜材料PDF电子书下载
- 电子书积分：16 积分如何计算积分？
- 作 者：田民波，李正操编著
- 出 版 社：北京：清华大学出版社
- 出版年份：2011
- ISBN：9787302274834
- 页数：532 页
图书介绍：本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分。
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