超纯半导体材料锗的获得PDF电子书下载

1．引言 1

2．超纯度锗的获得——区域提纯 4

一、杂质在锗中的溶解度 4

二、正常凝固的缺点 8

三、区域提纯 11

3．锗的区域提纯的设备 21

一、真空系统 21

1．高真空的获得 21

2．高真空的测量 27

3．真空系统的连接 32

4．漏气的检查 35

二、加热器 36

1．电炉丝加热器 37

2．石墨加热器 39

3．高频感应加热器 39

三、移动装置 46

四、舟皿 47

五、透明炉管 48

六、金属密封塞 49

4．锗区域提纯的操作过程及应注意的事项 51

一、化学清洁处理与热处理 51

1．透明炉管与石英舟的化学清洁处理 52

2．石墨舟的化学清洁处理 52

3．石墨舟的高温热处理 53

4．锗原料在提纯前的清洁处理 54

二、提纯的操作步骤及应注意的事项 55

一、导电的类型 64

5．纯度的检验 65

二、电阻率的分布 66

1．双探针法测电阻率 66

2．四探针法测电阻率 67

三、载流子的浓度与迁移率 74

附录：测量霍尔效应时一些副效应的来源及消除法 83