2003/2004传感器与执行器大全 传感器·变送器·执行器PDF电子书下载

第1章 绪言 1

1.1微电子学的发展历程 1

第1部分 微电子传感器基础及应用 1

1.2微传感器的发展动力 2

1.3MEMS的进展 4

1.4微机器的崛起 6

2.2.1热氧化形成的氧化物层 7

2.2电子材料和它们的组成 7

第2章 电子材料及其加工处理 7

2.1引言 7

2.2.2二氧化硅和氮化硅的沉积生长 8

2.2.3多晶硅薄膜的沉积 10

2.3.1光刻工艺 11

2.3图形转移 11

2.3.2掩模的制备 12

2.3.3光致抗蚀剂 13

2.4.1湿法刻蚀 15

2.4电子材料的刻蚀 15

2.3.4去胶工艺 15

24.2干法刻蚀 16

2.5掺杂半导体 18

2.5.1扩散 20

2.5.离子注入 21

3.1.1原子结构和周期表 23

3.1引言 23

第3章 MEMS用材料及其制备 23

3.1.2.2共价键 29

3.1.2.1离子键 29

3.1.2原子键合 29

3.1.3晶体 30

3.2.3金属键 30

3.1.3.1立方晶系结构 32

3.1.3.2六角密排结构 33

3.2.1金属的物理和化学性质 34

3．2金属 34

3.2.2.2溅散沉积 35

3.2.2.1蒸发沉积 35

3.2.2金属化 35

3.3.1半导体的电学和化学性质 36

3.3半导体 36

3.3.2．1硅晶体的熔炼生长 37

3.3.2半导体的生长和沉积 37

3.3.2.2外延生长 38

3.4陶瓷、聚合物和合成材料 39

4.1引言 41

第4章 标准微电子工艺 41

4.2.1晶体生长 42

4.2硅晶圆片的制备 42

4.2.2晶圆制备 44

4.2.3外延沉积 45

4.3单片电路工艺 47

4.3.1双极工艺 49

4.3.2BJT的特性 56

4.3.3MOS工艺 61

4.3.4FET的特性 63

4.3.5SOI的CMOS工艺 67

4.4单片电路的封装 68

4.4.3倒式TAB封装 70

4.4.2带式自动焊接 70

4.4.1管芯焊接和引线焊接 70

4.5印制电路板工艺 71

4.4.4倒装芯片封装 71

4.5.2挠性印制电路板 72

4.5.1刚性印制电路板 72

4.6.1厚膜 74

4.6混合电路和MCM工艺技术 74

4.5.3塑封模块 74

4.6.2多芯片模块 75

4.6.3球形栅格阵列 78

4.7可编程器件和ASIC 79

5.2各向同性和各向异性湿法刻蚀 83

5.1引言 83

第5章 硅体的微机械加工 83

5.3自停刻蚀技术 87

5.3.1掺杂选择性刻蚀 88

5.3.2常规偏压控制BSE或电化学自停刻蚀技术 89

5.3.3n型硅的脉冲电压阳极化选择性刻蚀 91

5.3.4光电效应电化学刻蚀自停技术 92

5.4干法刻蚀 94

5.6.1晶圆的熔融键合 97

5.6硅熔融键合 97

5.5埋层氧化物工艺 97

5.7阳极键合 98

5.6.3硅基材料的熔融键合 98

5.6.2退火处理 98

6.2.1单一工艺 102

6.2牺牲层技术 102

第6章 硅的表面微机械加工 102

6.1引言 102

6.2.1.1自由置放的多晶硅悬臂 104

6.2.2制作多结构层的牺牲层工艺 105

6.2.1.2线性运动微执行器 105

6.2.2.1中心销轴承上的转动轮 106

6.2.2.2突边轴承上的转动轮 107

6.3.1多晶硅和二氧化硅 108

6.3牺牲层工艺的材料组合 108

6.3.3氮化硅和多晶硅，钨和二氧化硅 109

6.3.2聚酰亚胺和铝 109

6.4.1中心销轴承侧驱动微电机 110

6.4.等离子体刻蚀表面微加工技术 110

6.4.2间隙电梳驱动谐振执行器 111

6.5IC工艺和湿法各向异性刻蚀技术的结合 112

6.6.1微喷嘴 114

6.6组合应用体和表面微加工技术的工艺 114

6.6.2伸臂式微夹具 115

6.7表面微加工技术的粘连问题 117

6.8表面和体微加工技术间的比较 118

7.1.1光致聚合作用 119

7.1引言 119

第7章 MEMS的微立体平版光刻技术 119

7.1.2立体平版光刻系统 122

7.2微立体平版光刻技术 123

7.3.1典型的MSL 124

7.3扫描法 124

7.3.2IH工艺 125

7.3.3批量IH工艺 127

7.3.4超级IH工艺 128

7.4双光子MSL 129

7.5其他MSL方法 130

7.6.1掩模投影MSL 132

7.6投影法 132

7.6.2动态掩模投影MSL 134

7.7.1陶瓷MSL 136

7.7用硅、金属、陶瓷构造的聚合体MEMS 136

7.7.2.1空间成形法 137

7.7.2金属微结构 137

7.7.2.2电化学制造工艺 138

7.7.3金属—聚合物微结构 140

7.7.4定位电化学沉积 141

7.8.1光形成工艺的结构组合 143

7.8硅和聚合物组合的结构 143

7.8.2MSL和厚膜平版印制术的集成 144

7.8.3AMANDA工艺 146

7.9.1MSL制造的微执行器 147

7.9应用例举 147

7.9.2微浓缩器 149

7.9.3AMANDA工艺制作的微器械 151

7.10小结 153

8.1引言 154

第8章 微传感器 154

8.2热传感器 156

8.2.2微型热电偶 157

8.2.1电阻型温度传感器 157

8.2.3热敏二极管和热敏晶体管 160

8.2.4SAW温度传感器 162

8.3辐射传感器 163

8.3.1光敏器件 164

8.3.2光电转换器件 165

8.3.3热电器件 166

8.4.1引言 167

8.4机械传感器 167

8.3.4微天线 167

8.4.2微机械元件及其静力学 168

8.4.3微梭动装置及其动力学 170

8.4.4机械微结构 172

8.4.5压力微传感器 173

8.4.6流量微传感器 177

8.5磁敏传感器 179

8.5.1磁电微传感器 180

8.5.2磁敏电阻器件 182

8.5.3磁敏二极管和磁敏晶体管 183

8.5.4声敏器件和SQUID 184

8.6生物（化学）传感器 186

8.6.1电导测量型传感器 188

8.6.2电位测量型传感器 194

8.6.3其他类型传感器 197

9.1.1引言 201

9.1微加速度计 201

第9章 微机械加速度计和陀螺仪 201

9.1.3体微加工技术制造的加速度计 203

9.1.2加速度传感器的工作机制 203

9.1.4表面微加工技术制造的加速度计 205

9.1.5力反馈 208

9.1.6谐振加速度传感器 210

9.2.1引言 212

9.2微陀螺仪 212

9.2.2微机械陀螺仪的基本原理 213

9.2.3频率带宽 214

9.2.4热机械噪声 216

9.2.5微机械陀螺仪 217

10.1引言 223

第10章 声表面波微传感器 223

10.2.2瑞利声表面波 224

10.2.1压电效应和叉指型换能器 224

10.2压电效应和声波 224

10.2.4洛维声表面波 226

10.2.3平面切变声波 226

10.3.1网络分析器和矢量电位计 227

10.3IDT微传感器的参数测量 227

10.3.3相位测量系统 228

10.3.2模拟（幅值）测量系统 228

10.3.5声波传感器输出频率的转换 229

10.3.4频率测量系统 229

10.3.6测试装置和校准 230

10.4.1SAWIDT微传感器的制作 231

10.4IDT微传感器的制造工艺 231

10.4.2波导层的沉积制备 233

10.5.1移动和无线通信SAW传感器 235

10.5IDT微传感器 235

10.5.2.1遥控无源应变传感器 236

10.5.2IDT微传感器的应用 236

10.5.2.2SAW湿度传感器 238

10.5.2.3以SAW为基础的陀螺仪 239

10.6.1MEMS-IDT加速度计 240

10.6MEMS-IDT微传感器 240

10.6.2加速度计与陀螺仪的组合 242

11.1引言 244

第11章 智能传感器、微执行器和MEMS 244

11.2智能传感器 246

11.3.1微阀门 255

11.3微执行器 255

11.3.2微电机 256

11.3.3微泵 257

11.3.6其他半导体材料制作的微执行器 258

11.3.5微蒸汽机 258

11.3.4微功率计 258

11.4.1冷却管 259

11.4其他微结构件 259

11.4.3微夹具 260

11.4.2微光学 260

11.4.6加热元件 261

11.4.5微镜 261

11.4.4微探针 261

11.4.9可展开的微机械元件 263

11.4.8场发射显示器 263

11.4.7热电子发射体 263

11.4.11叠合晶片间的互连 264

11.4.10微喷嘴 264

11.5MEMS器件 265

11.4.12纳米吉他 265

11.6结束语 271

1.1.1PFRS型压电射流角速度传感器 272

1.1压电射流陀螺 272

第2部分 传感器、送变器和执行器 272

第1篇 敏感元器件与传感器 272

第1章 角速度、角度和角加速度陀螺 272

1.1.2CJSYS型压电射流角速度传感器 275

1.1.3CJSYS—A01型压电射流角速度传感器 276

1.1.4CJSYS—A02型高可靠、低功耗压电射流角速度陀螺 277

1.1.6二维压电射流角速度陀螺 278

1.1.5CJSYS—A03型压电射流角速度传感器 278

1.1.7三维压电射流角速度陀螺 280

1.2CJAYS型压电射流角加速度传感器 281

1.3DMU惯性测量装置及垂直陀螺 282

1.4CWT100遥测系统 288

1.5X—VIEW和X—ANALYZE数据采集与分析软件 289

1.6CJSYS—BO1型两轴压电气流角速度陀螺 290

2.2SMS16磁敏转速传感器 291

2.1磁电式／霍尔转速传感器 291

第2章 转速传感器 291

2.3LR7N数字转速表 292

2.6HT—3100接触式转速表 293

2.5MS系列微处理数显转速／线速表 293

2.4CG—60型光电转速传感器 293

2.7RM1500/RM1501光电转速表 294

3.1DVS—3020/3030MPEG2E1视频编解码器 295

第3章 编码器 295

3.3激光编码器 296

3.2725型增量编码器 296

3.5JL903视频编码器 297

3.4LEC（ZJE）系列增量式实心轴编码器 297

3.7WDD系列精密导电塑料电位器 298

3.6HT系列编码器 298

4.1.1CJRS—A型气体摆式倾角传感器 299

4.1气体摆式倾角传感器 299

第4章 倾角传感器 299

4.1.2CJRS—A01型气体摆式倾角传感器 300

4.1.3CJRS—B型二维气体摆式倾角传感器 301

4.1.4CJRS—B01型二维气体摆式倾角传感器 302

4.1.5有角速度输出的CZTQL型气体摆式水平姿态传感器 303

4.1.6052型全方位水平姿态传感器 305

4.2CZT—YD型压电石英倾斜仪 306

4.3.1CXTILT系列双轴数字式倾角传感器 308

4.3倾角传感器 308

4.3.2CXTA系列模拟式倾角传感器 312

4.3.3CXTSW双轴倾角开关 313

4.4CJRS-K01型抗干扰气体摆式倾角传感器 315

5.1CAJZS—40型压电石英加速度传感器 317

第5章 线性加速度传感器 317

5.2CARS型气体摆式线性加速度传感器 318

5.31210型模拟式加速度计传感器 319

5.42430型三轴模拟式加速度计 322

5.5.2开架式三轴加速度计 324

5.5.11010型数字式单轴加速度计，1110型门限式单轴加速度计 324

5.5其他加速度计及相关产品简介 324

8.2.2轨距水平电测仪 325

8.2.1D32测距仪 325

5.5.32210型模拟式加速度计模块 325

5.5.4用于模拟式加速度计模块的2230型组合安装件 325

5.5.5带连接器的测试板 326

5.5.6评测板 327

5.5.73310型加速度数据采集系统 327

5.6加速度计及相关产品 328

5.6.1通用型M系列加速度计 328

5.6.2高稳定型LF系列加速度计 330

5.6.3振动型HF系列加速度计 331

5.6.4封装外壳尺寸及引线分配 333

5.6.5加速度计附件：CXBNCBNC适配盒 334

5.6.6加速度计附件：AD128数据记录系统 335

5.6.7加速度计附件 337

5.6.8运用CXLM加速度计进行振动分析以及机械监测的方法 339

5.7CJSD—YD—5型数字式压电石英加速度传感器 340

第6章 振动加速度和速度传感器 341

6.1瑞士KISTLER公司加速度传感器及放大器 341

6.2电磁式振动速度传感器 343

6.3TM0782A—K振动加速度传感器 344

6.4VM—63型便携式测振仪 345

6.5HZ—4型振动位移表 345

6.6TV200笔式测振仪 345

6.7ST—101振动测试仪 346

6.8自抑制监测旋转速度开关 346

第7章 线性位移传感器 347

7.1高精度LVDT位移传感器 347

7.2ATM—L磁致伸缩位移传感器 348

7.3直线位移传感器 349

7.4IK2A位移传感器 349

7.5角位移传感器 350

第8章 厚度、距离、长度和高度传感器 351

8.1厚度仪 351

8.1.1TT220涂层测厚仪 351

8.1.2DM3超声波测厚仪 351

8.1.3AD—3253B/AD—3253超声波测厚仪 351

8.1.4涂层镀层测厚仪 352

8.2测距仪 352

8.3.1高精度数字显示测长系统 353

8.3测长仪 353

8.3.2DC型电缆测长仪 354

8.4.2DISTO激光电缆测高仪 355

8.4.1精密测高仪 355

8.4测高仪 355

9.1.2CKC系列超精孔径测量仪 356

9.1.1三爪孔径测量仪 356

第9章 孔径、圆度和对中仪 356

9.1孔径测量仪 356

9.2.2Y90系列高速圆度仪 357

9.2.1YD200型圆度仪 357

9.1.3高精度偏摆检查仪 357

9.2圆度仪 357

9.3.1D505专业型激光对中仪 358

9.3对中仪 358

9.2.3Y9025B型圆度仪 358

9.2.4DTP—2000系列动态波纹度仪（圆度仪） 358

9.3.2激光对中仪 359

10.1.2ULB型玻璃板液位计 360

10.1.1MKUR3100型投入式液位计 360

第10章 液位和物位传感器 360

10.1液位传感器 360

10.1.5彩色石英玻璃管式液位计 361

10.1.4BM51钢丝液位计 361

10.1.3UFZ—04型罐车液位计 361

10.2.1雷达物位计 362

10.2物位传感器 362

10.2.2多功能超声波物位计 363

10.2.3KAB系列超声波物位计 364

10.2.5电容式物位计（德国） 365

10.2.4CTS—DL型射频电容式连续测量物位计 365

10.2.6RicochetTM射频非接触液位计 366

11.1.1气体质量流量计 367

11.1质量流量计 367

第11章 流量计 367

11.2.2JUF型超声波流量计 368

11.2.1FV型时差系列超声波流量计 368

11.1.2IZL型质量流量计 368

11.2超声波流量计 368

11.3.1LU—3300系列涡街流量计 369

11.3涡街流量计 369

11.2.3SCL系列数字超声流量计 369

11.3.2LUGB—涡街流量传感器 370

11.5.1LXJ系列积算仪 371

11.5流量积算仪 371

11.4电磁流量计 371

11.4.1LDZ—5F钢厂、矿山专用电极外插式电磁流量计 371

11.4.2LDC型电磁流量计 371

11.5.3MIM50—I型智能流量积算仪 372

11.5.2SXL系列智能流量积算仪 372

11.7JSF型智能流量计 373

11.6SPX/SPT系列低流量流量计 373

12.1.2FBC—1391微机核子秤 375

12.1.1NDS微机核子秤系统 375

第12章 荷重传感器 375

12.1核子秤 375

12.2.3皮带秤 376

12.2.2ICS—ST电子皮带秤 376

12.2皮带秤 376

12.2.1XY—PCS—J30系列皮带秤 376

12.3.2高精度称重传感器 377

12.3.1BR200数字化智能型称重传感器 377

12.3称重传感器 377

13.1.1单向力传感器 378

13.1瑞士Kistler公司压电式测力传感器和仪器 378

第13章 力敏传感器 378

13.1.2三向力传感器 379

13.2.1压电式压力传感器 380

13.2瑞士Kistler公司的压力传感器 380

13.2.2压阻式压力传感器 381

13.3.1溅射薄膜式压力敏感元件（芯片） 382

13.3压力传感器 382

13.3.3压阻式压力传感器 383

13.3.2LC型压电石英力传感器系列 383

13.4SEO—DST30型表面张力仪 384

13.3.4AK—2型应变式压力传感器 384

14.1.3常温传感器 385

14.1.2中温传感器 385

第14章 光纤传感器 385

14.1光纤温度传感器 385

14.1.1高温传感器 385

14.5光纤声传感器 386

14.4光纤应变传感器 386

14.2光纤电压传感器 386

14.3光纤电流传感器 386

14.10光纤气／液两相流传感器 387

14.9极化光纤电光器件 387

14.6光纤布喇格光栅传感器 387

14.7光纤气体传感器 387

14.8高双折射单模光纤拍长计 387

14.11光纤传感网 388

15.1.3LP、LE、LPE系列激光功率能量计 389

15.1.2APM—16通过式数字射频功率计 389

第15章 功率计与光度计 389

15.1功率计 389

15.1.1IQ—1100光功率计 389

15.1.5PQ组合功能功率传感器 390

15.1.4激光功率计／能量计系列 390

15.2.2UV—2450/2500型紫外可见分光光度计 391

15.2.1美国Bowman2型荧光分光光度计 391

15.2光度计 391

15.2.3紫外可见分光光度计 392

16.1UX系列便携式红外测温仪 393

第16章 红外测温仪与热像仪 393

16.4高分辨红外热像仪 394

16.3GD2000红外热像仪 394

16.2红外NCIR—09高温测温仪 394

16.73011—2型热像仪 395

16.6红外热像仪 395

16.5红外（微光）夜视仪 395

16.8MWG—4型微光摄录系统 396

16.911所红外材料 397

17.1.1汽车水（油）温表用NTC热电阻 398

17.1NTC热敏电阻器 398

第17章 温度传感器与热敏器件 398

17.1.3通用负温度系数热敏电阻传感器 399

17.1.2片状负温度系数热敏电阻 399

17.1.5高精度温度传感器 400

17.1.4树脂封装探头式负温度系数热敏电阻器 400

17.1.7低温加热用PTC电阻 401

17.1.6MF53—1型测温用负温度系数热敏电阻器 401

17.3IR—AH系列数字辐射温度仪 402

17.2兰华系列铂热电阻温度传感器 402

17.4电接点双金属温度计 403

17.5淄博飞雁先行测控技术有限公司温度传感器 404

18.1.1KW1301霍尔效应开关集成传感器 405

18.1霍尔效应开关集成传感器 405

第18章 磁敏传感器 405

18.1.2KW3503线性霍尔效应集成传感器 407

18.23D自动化磁场分布测试系统 409

18.1.3硅霍尔效应开关集成传感器 409

18.4CS3140系列霍尔开关集成电路 410

18.3HB—SHJ砷化镓（GaAs）霍尔器件 410

18.5CS49X系列霍尔线性集成电路 411

18.6CS3500系列霍尔线性集成电路 412

19.1.2CSD和CSN系列开关型电流传感器 414

19.1.1维博公司系列电流传感器 414

第19章 电流传感器与电导仪 414

19.1电流传感器 414

19.13CSN系列／闭环线性电流传感器 415

19.1.4四通牌ST—A系列电流、电压传感器／变送器 416

19.2.1铁路、地铁与轻轨系统专用传感器 421

19.2瑞士（LEM）传感器／变送器 421

19.2.2开环系列传感器 422

19.2.4专为工控行业开发的电量传感器／变送器系列 423

19.2.3闭环系列传感器 423

19.4MLA900电导仪 424

19.3KTIA/PB型小电流传感器 424

20.2A15/60型溶氧测定仪（DO） 425

20.12000系列氧气、毒气检测仪 425

第20章 气敏传感器 425

20.32M003一氧化碳（CO）传感器 426

20.42M007可燃性气体传感器 427

20.5MQK2酒精气体传感器 428

21.1.3HR202高分子湿敏电阻器 430

21.1.2S118型高分子湿敏电容 430

第21章 湿敏（水分）传感器与露点仪 430

21.1湿度（水分）传感器 430

21.1.1RH—ACHB型湿度传感器 430

21.2DM500精密SAW湿度／露点测量仪 431

21.1.4KLS—411型微量水分分析仪 431

22.3KSPH—20型在线工业酸度计 432

22.2pH6311酸度仪 432

第22章 离子敏传感器 432

22.1SS—2200系列pH值检测仪 432

22.5台式、便携式pH/mV／离子／温度测试仪 433

22.4智能型RP402酸度计 433

23.1灵敏度可调式水听器 434

第23章 声敏传感器 434

23.2CYMBAL—A型压电换能器 435

24.2密度计系列 437

24.1超声波硬度计 437

第24章 硬度、密度、浊度、表面粗糙度、粉尘度及其他物理传感器 437

24.5ZMSM400悬浮颗粒浓度监测及控制系统 438

24.4泰勒10便携式表面粗糙度测量仪 438

24.3智能浑浊度传感器 438

24.7FWD—Ⅱ型落锤式弯沉仪 439

24.6旋转式／数字式粘度计 439

25.1多功能智能传感器 440

第25章 多功能传感器 440

25.3压力自动校验与智能化计量管理系统 443

25.2KD系列智能热量表 443

26.3A4201/A4201T风速测量仪 445

26.2471系列热式数字风速计 445

第26章 风速计 445

26.1AZ—8904风速计 445

26.5风速仪（热球式） 446

26.4DB150风量表 446

27.1WB系列电量隔离传感器／智能电量变送器 447

第27章 电量隔离、扭矩及其他传感器 447

27.4电感调频式（输出频率）传感器 449

27.3JN338系列扭矩传感器 449

27.2CYB—802型静止扭矩传感器 449

27.6DZY—C型电场治疗仪 450

27.5RH—DⅡ型组合式冷热量表 450

27.7压电陶瓷 451

28.1.2淀积台系列 453

28.1.1刻蚀机系列 453

第28章 传感器试验用设备仪器 453

28.1创威纳公司微细加工设备 453

28.1.3磁控溅射台系列 454

28.4霉菌／湿热试验箱 455

28.3PC700压力校验仪 455

28.2YAW系列微机控制电液伺服压力试验机 455

28.6CAL型温度、湿度、振动综合环境成套试验设备 456

28.5流量标定装置 456

29.2.2.FCX—A系列液位变送器 457

29.2.1BH93420系列液位变送器 457

第2篇 变送器 457

第29章 物位、液位和流量变送器 457

29.1GLD—LR400系列雷达物位变送器 457

29.2液位变送器 457

29.2.3DBUT外浮筒液位变送器 458

29.2.6CYG2300系列通用高精度、高稳定性投入式液位变送器 459

29.2.5浮筒液位变送器 459

29.2.4AT—1000型液位变送器 459

29.3SF系列流量变送器 460

30.1.2BP93420系列压力变送器 461

30.1.1HY815系列压力变送器 461

第30章 压力、差压变送器 461

30.1压力变送器 461

30.1.5高温熔体压力传感器、变送器 462

30.1.4SWT—GP系列通用压力变送器 462

30.1.3DYOP4000系列通用压力变送器 462

30.1.6CYG500/1500系列微型、薄型及特型压力传感器／变送器 463

30.1.7CYG1600/0600系列中高温压力变送器／传感器 465

30.1.8CYG1400/0400系列高频动态压力传感器变送器 466

30.2超低量程微差压变送器 468

30.3淄博飞雁先行控制技术有限公司压力／差压／液位变送器 469

31.1.2KBW电动温度变送器 470

31.1.1SBX系列温度变送器及带温度显示传感器 470

第31章 温度、湿度及其他变送器 470

31.1温度变送器 470

31.1.3TT301智能温度变送器 471

31.3.1智能变送器 472

31.3其他变送器 472

31.2WS302M温湿度变送器（485接口） 472

31.3.2兰华系列变送器 473

31.3.3NSRA型角位移变送器 474

32.2.1VP气缸活塞执行机构 475

32.2执行机构 475

第3篇 执行器 475

第32章 执行器与执行机构 475

32.1DKJ—Z型直联式角行程电动执行器 475

32.2.32相混合式步进电动机 476

32.2.2DKJ（Ⅱ、Ⅲ）系列电动执行机构 476

322.5ER型记录仪用伺服电动机 477

32.2.4永磁式步进电动机 477

33.1PID自整定／光柱显示控制仪 478

第33章 阀 478

33.3ZJHP气动薄膜单座调节切断阀 479

33.2BO35—1型节流蝶阀 479

33.5HL12216系列气动切断阀 480

33.446型2位2通电磁阀 480

34.2F型立式涡轮分子泵 482

34.1XGB型旋涡气泵 482

第34章 泵 482

34.3.1W型往复式真空泵 483

34.3真空泵 483

34.3.3测吸式、上吸式射流量真空泵 484

34.3.22BV2液环式真空泵／压缩机 484

34.42L、3L系列溅射离子泵 485

34.3.4JZSJ罗茨水环真空机组 485

34.5TrivacC泵 487

35.2电感式接近开关 488

35.1LJ5系列集成电路接近开关 488

第35章 接近开关 488

35.3上海源本公司磁电传感器 489

36.1.2智能显示调节仪 491

36.1.1XM—6000系列智能数显调节仪 491

第36章 调节器与连接器 491

36.1调节仪 491

36.2.1光纤连接器 492

36.2连接器 492

36.1.3数字显示调节仪 492

36.2.2KBS6继电保护系列电连接器 493

37.2UYK—1型电容式物位控制器 494

37.1TCM—40可编程序控制器 494

第37章 控制器 494

37.532段PID可编程序控制仪 495

37.4XSK—42B隔爆型精密流量定量控制仪 495

37.3UQK—01/02/03型浮球液位控制器 495

37.6气体质量流量控制器 496

38.2CO2监测报警系统 500

38.1XMDA/B/C系列多点智能巡检报警仪 500

第38章 报警器 500

38.3LSB整装式多回路闪光信号报警器 501

38.4GJ4型低浓度甲烷报警传感器 502

（1）北京市 503

一、中国 503

第3部分 传感器与执行器技术支持 503

（2）天津市 522

（3）河北省 524

（4）山西省 525

（5）内蒙古自治区 526

（6）辽宁省 527

（7）吉林省 529

（8）黑龙江省 530

（9）上海市 531

（10）江苏省 537

（11）浙江省 541

（12）安徽省 544

（13）福建省 546

（14）江西省 547

（15）山东省 548

（16）河南省 550

（17）湖北省 551

（18）湖南省 552

（19）广东省 553

（20）广西壮族自治区 560

（21）海南省 561

（22）重庆市 561

（23）四川省 562

（24）贵州省 564

（25）云南省 565

（26）陕西省 565

（27）甘肃省 569

（28）青海省 569

（30）新疆维吾尔自治区 570

（31）香港特别行政区 570

（29）宁夏回族自治区 570

（32）台湾省 571

二、美国 573

三、日本 675

四、德国 739

五、法国 755

六、意大利 762

七、瑞士 766

八、英国 770

九、荷兰 773

十、瑞典 775

十一、比利时 776

十二、丹麦 777

十三、加拿大 778

十四、奥地利 779

十五、爱尔兰 780

十六、芬兰 780

十七、土耳其 781

十八、挪威 781

十九、以色列 782

二十、斯洛文尼亚 782

二十一、澳大利亚 782

二十二、新加坡 783

二十三、匈牙利 783

二十六、葡萄牙 784

二十五、希腊 784

二十七、白俄罗斯 784

二十四、南非 784

三十一、克罗地亚 785

三十、西班牙 785

三十二、爱沙尼亚 785

二十九、新西兰 785

二十八、捷克 785

三十三、卢森量 786

三十四、波兰 786