薄膜制品设计生产加工新工艺与应用新技术实务全书 第4卷PDF电子书下载

第1篇 薄膜制品设计生产加工工艺与应用最新技术标准 4

公路交通标志反光膜（GB/T 18833—2002） 4

目录 4

石油沥青薄膜烘箱试验法（GB/T 5304—2001） 25

物理气相沉积TiN薄膜技术条件（GB/T 18682—2002） 32

化学转化膜钢铁黑色氧化膜规范和试验方法（GB/T 15519—2002） 63

进出口薄膜晶体管彩色液晶显示器检验方法 （SN/T 1175—2003） 71

第1章 薄膜的定义及特性 85

第一节 薄膜的定义 85

第2篇 薄膜制品设计生产加工新工艺与应用技术基本理论 85

第二节　薄膜材料的分类 88

第三节　薄膜材料的特殊性 90

第四节 薄膜结构缺陷 96

第五节 薄膜的光学特性 98

第2章 薄膜材料研究状况及纳米材料技术发展状况 103

第一节　软塑包装业的现状及发展 103

第二节 纳米材料和技术发展简史 109

第三节 纳米技术在飞速发展 111

第四节 压电材料的发展 115

第五节 薄膜材料研究现状 117

第3章 薄膜材料及其应用 120

第一节　耐磨及表面防护涂层 121

第二节　金刚石薄膜 130

第三节 集成电路中的薄膜材料 137

第四节 集成光学器件 144

第五节　磁记录薄膜和光存储薄膜 148

第4章 薄膜的性能 160

第一节 熔融聚合物挤出薄膜的动力学、热力学和结构进展 160

第二节 吹胀薄膜的运动学、动力学和物理性能 198

第三节　膜泡的不稳定性：实验评价 225

第四节 管形膜的光学性能和结构特性 238

第五节　新型薄膜材料发展前景 259

第3篇 薄膜的形成、结构与缺陷研究 265

第1章 薄膜的形成过程 265

第一节　吸附、扩散和凝结 265

第二节　核的形成与生长 267

第三节 薄膜的形成 268

第2章 薄膜的结构 271

第一节 薄膜的组织结构 271

第二节 薄膜的晶体结构 274

第三节 薄膜的表面结构 276

第四节 薄膜的附着力与内应力 277

第3章 薄膜的缺陷 281

第一节 薄膜的点缺陷 282

第二节　薄膜的位错 283

第三节 薄膜的晶界与层错 285

第四节 薄膜的热处理 286

第4章 AlN薄膜择优取向的研究 287

第一节　溅射气压对薄膜择优取向的影响 288

第二节　靶基距对薄膜择优取向的影响 290

第三节　靶功率对薄膜择优取向的影响 292

第四节 氮气浓度对薄膜择优取向的影响 294

第五节　基片种类对薄膜择优取向的影响 296

第六节　薄膜择优取向机理的探讨 298

第七节 薄膜择优取向程度与实验参数之间的函数关系 301

第4篇　薄膜材料 313

第1章　超硬薄膜材料 313

第一节　超硬材料 313

第二节　金刚石薄膜 319

第三节　金刚石的性质及应用 325

第四节　类金刚石薄膜材料 328

第五节　CNx薄膜材料 346

第2章 智能薄膜材料 354

第一节　形状记忆合金薄膜材料 355

第二节　NiTi形状记忆合金薄膜的制备和表征 357

第三节 形状记忆合金及薄膜的应用 359

第3章 新型半导体薄膜材料 361

第一节　概述 361

第二节　硅基非晶态半导体薄膜 362

第三节 多晶硅和微晶硅薄膜 398

第四节　a-Si:H太阳电池 414

第五节 薄膜晶体管与大面积液晶显示器 433

第4章 纳米薄膜材料 448

第一节　纳米多层膜涂层 450

第二节　纳米复合硬质涂层 452

第三节　应用及展望 456

第5章　介质薄膜材料 457

第一节　概述 457

第二节 电介质薄膜及应用 459

第三节　铁电薄膜及应用 467

第四节 压电薄膜及应用 478

第6章 三族元素氮化物（Ⅲ一N）薄膜材料 490

第一节 三族元素氮化物半导体材料的重要性 490

第二节　材料制备与生长 491

第三节 Ⅲ-N化合物的光学性质 495

第7章 高温超导薄膜材料 497

第一节　概述 497

第二节 高温超导薄膜制备方法 500

第三节 高温超导薄膜材料的结构和性质 506

第四节 高温超导薄膜材料的应用 513

第8章 磁性氮化铁薄膜材料 528

第一节　概述 529

第二节 氮化铁薄膜材料的相结构 530

第三节 氮化铁薄膜材料的制备与表征 532

第9章 巨磁阻薄膜材料 538

第一节　概述 538

第二节　磁性多层膜的巨磁阻效应 540

第三节　颗粒膜的巨磁阻效应 543

第四节 自旋阀多层膜的巨磁阻效应 548

第五节　掺杂稀土锰氧化物的巨磁电阻效应 551

第1章 薄膜厚度控制及测量 561

第5篇 薄膜材料的表征方法 561

第一节　沉积率和厚度监测仪 562

第二节　膜厚度测量 566

第2章 薄膜结构的表征方法 570

第一节　扫描电子显微镜 570

第二节　X射线衍射方法 573

第三节　X射线织构分析 574

第四节　低能电子衍射和反射式高能电子衍射 575

第五节　红外光谱分析 577

第六节　原子力显微镜分析 578

第3章 薄膜成份的表征方法 579

第一节 原子内的电子激发及相应的能量过程 580

第二节 X射线光电子能谱 582

第三节　俄歇电子能谱 583

第四节　Rutherford背散射技术 585

第4章 原子化学键合表征 588

第一节 能量损失谱（EELS） 588

第二节　扩展X射线 596

第三节 红外吸收光谱和拉曼光谱 601

第四节 薄膜应力表征 603

第6篇 薄膜的生长过程和薄膜结构 611

第1章 薄膜生长过程概述及新相的自发形核理论 611

第一节 薄膜生长过程概述 611

第二节　新相的自发形核理论 614

第2章 薄膜的非自发形核理论 618

第一节 非自发形核过程的热力学 618

第二节 薄膜的形核率 620

第三节　衬底温度和沉积速率对形核过程的影响 622

第一节 奥斯瓦尔多（Ostwald）吞并过程 625

第3章 连续薄膜的形成 625

第二节　熔结过程 626

第三节　原子团的迁移 627

第4章 薄膜生长过程与薄膜结构 629

第一节　薄膜的四种典型组织形态 629

第二节　低温抑制型薄膜生长 632

第三节 高温热激活型薄膜生长 638

第5章 非晶薄膜及薄膜织构 641

第一节　非晶薄膜 641

第二节 薄膜织构 644

第6章 薄膜的外延生长 649

第一节 点阵失配与外延缺陷 650

第二节　薄膜外延技术 654

第三节 外延薄膜的成分控制 656

第7章 薄膜中的应力和薄膜的附着力 663

第一节 薄膜中应力的测量 663

第二节 热应力和生长应力 667

第三节 薄膜界面形态和界面附着力 671

第8章 远离平衡态薄膜生长的研究 676

第一节　粗糙表面的结构和生长 678

第二节 简单模型 690

第三节 薄膜生长模型的实验研究 693

第7篇 薄膜制备的新技术和检测手段 697

第1章 微波电子回旋共振化学气相沉积 697

第一节　MW-ECR原理 697

第二节 NW-ECR-CVD的特点 698

第三节 MW-ECR-CVD系统 699

第2章 分子束外延（MBE） 701

第一节　基本概念 702

第二节　MBE生长原理及方法 702

第三节　MBE生长的特点 704

第一节 MOCVD法原理 705

第3章 金属有机化学气相沉积 705

第二节　MOCVD制膜系统 706

第三节 MOCVD法的特点 708

第4章 溶胶-凝胶法 709

第一节　概述 709

第二节　溶胶-凝胶方法制备薄膜工艺 710

第5章 电沉积 713

第一节　概述 713

第二节 电沉积的特点 714

第6章 脉冲激光沉积法 716

第一节　PLD的基本原理及物理过程 717

第二节 PLD技术的特点 719

第7章 薄膜检测手段 720

第一节　薄膜厚度测量 720

第二节　扫描电子显微镜（SEM）分析 723

第三节　原子力显微镜（AFM）分析 725

第四节　X射线衍射（XRD）分析 726

第五节　傅立叶变换红外光谱（FTIR）分析 727

第六节 激光拉曼光谱（Raman）分析 728

第七节 X射线光电子能谱（XPS）分析 730

第八节 俄歇电子能谱（AES）分析 732

第九节 二次离子质谱（SIMS）分析 733

第十节 卢瑟福背散射（RBS）分析 735

第8篇 薄膜制备的方法及真空技术基础 739

第1章 薄膜制备的化学方法 739

第一节　热生长 740

第二节　化学气相沉积 741

第三节 电镀及化学镀 768

第四节 阳极反应沉积法 771

第五节　LB技术 773

第2章 薄膜制备的物理方法 777

第一节　真空蒸发 778

第二节　溅射 804

第三节 离子束和离子助 844

第四节 外延膜沉积技术 870

第3章 金刚石膜沉积制备工艺与应用 890

第一节　金刚石膜的主要沉积方法和成膜生长概述 890

第二节 主要的沉积工艺参数对金刚石形核的影响 892

第三节 沉积主要参数对金刚石的生长过程的影响 897

第四节　金刚石膜生成的基本条件 899

第五节 热丝CVD法沉积金刚石膜工艺 900

第六节　直流等离子体射流法 903

第七节　金刚石涂层刀具制备工艺 907

第9篇　塑料包装薄膜 919

第1章 塑料包装薄膜概论 919

第一节 塑料与现代包装 919

第二节 塑料包装 923

第2章 塑料包装薄膜的应用 947

第一节　适合食品包装用塑料薄膜及其选择 948

第二节　软塑包装热封用塑料薄膜 973

第三节 塑料薄膜在食品包装方面的应用例 998

第四节　食品辐射杀菌用塑料包装材料 1035

第五节 医药品的塑料薄膜包装 1039

第六节　保鲜膜 1048

第七节 洗涤剂、化妆品的塑料薄膜包装 1057

第八节　导电性塑料薄膜 1062

第九节　无菌包装及无菌包装膜 1069

第十节　通气性包装材料和超微孔塑料薄膜 1082

第十一节 各种塑料薄膜的热封制袋 1094

第十二节 其他塑料薄膜包装例 1105

第3章 通用塑料包装薄膜 1110

第一节　低密度聚乙烯薄膜 1111

第二节 线形低密度聚乙烯薄膜 1162

第三节 其他聚乙烯薄膜 1190

第四节　聚丙烯薄膜 1213

第五节 聚氯乙烯薄膜 1245

第六节　聚苯乙烯薄膜 1296

第4章 功能性包装薄膜 1308

第一节　可食性薄膜 1309

第二节　收缩薄膜 1321

第三节　拉伸弹性薄膜 1332

第四节　保鲜功能薄膜 1342

第5章 绿色包装塑料薄膜 1355

第一节　概述 1355

第二节 轻量化、薄型化、高性能的薄膜包装材料 1356

第三节 重复使用和再生的塑料薄膜包装材料 1359

第四节 可降解塑料包装薄膜 1360

第10篇　塑料农膜与生态环境保护 1371

第1章 塑料农用薄膜及其制造 1371

第一节 塑料农用薄膜 1371

第二节 塑料农用薄膜的制造 1373

第一节　塑料地膜 1389

第2章 塑料农用薄膜的分类 1389

第二节　塑料棚膜 1430

第3章 塑料农膜的回收与利用 1450

第一节 塑料农膜的回收与再生方法 1450

第二节　废旧塑料农膜的熔融再生 1451

第三节　废旧塑料农膜的热裂解回收 1458

第四节　废旧塑料农膜的能量回收 1462

第11篇 纳米薄膜的技术与应用 1473

第1章 纳米薄膜材料的制备方法和性能 1473

第一节 纳米薄膜的制备方法 1474

第二节 纳米薄膜的性能 1496

第三节 纳米薄模性能检测 1501

第2章 纳米材料的模板合成法 1503

第一节　厚膜模板法合成纳米阵列 1504

第二节　模板法制备纳米丝 1511

第三节　模板法合成高度取向碳纳米管有序阵列膜 1519

第四节　模板法制备TiO2纳米管 1523

第3章 纳米晶金属氧化物半导体与溶液界面处的电荷转移 1527

第一节 电致变色 1530

第二节　光生伏特 1533

第三节　能量考虑 1538

第四节 染料敏化纳米TiO2薄膜太阳能电池 1541

第4章 其他纳米薄膜材料制备、特性及应用 1548

第一节 纳米AIN薄膜的导电性 1549

第二节 纳米金刚石膜制备及场发射 1551

第三节 纳米磁性薄膜材料及巨磁电阻效应 1557

第四节 In2O3纳米晶及气敏特性 1568

第五节 V2O5纳米膜的制备及电致变色 1571

第六节　WO3（V）纳米膜的制备、电致变色和气敏特性 1575

第七节 纳米TiO2薄膜的导电性和光吸收量子尺寸效应 1580

第八节 纳米晶PZT/PT铁电薄膜的尺寸效应 1586

第九节　Ag/Ni纳米多层膜的点阵应变现象 1589

第十节　Ti-Si-N纳米薄膜的超硬性 1591

第十一节　ZnS/Ag/ZnS纳米多层薄膜及平面显示器透明电极 1595

第十二节　纳米Al膜介电函数的尺寸、频率效应 1602

第十三节 纳米氮化硼薄膜的场发射 1603

第12篇 塑料薄膜与薄膜试验方法标准规范 1609

第1章 塑料薄膜实用标准规范 1609

软聚氯乙烯压延薄膜和片材（GB/T 3830—94） 1609

农业用聚乙烯吹塑薄膜（GB 4455—94） 1620

包装用聚乙烯吹塑薄膜（GB/T 4456—1196） 1628

普通型双向拉伸聚丙烯薄膜（GB/T 1003—1996） 1637

耐蒸煮复合膜、袋（GB/T 10004—1998） 1647

《耐蒸煮复合膜、袋》内容的有关说明（GB/T 10004—1998） 1657

双向拉伸聚丙烯（BOPP）／低密度聚乙烯（LDPE）复合膜、袋（GB/T 10005—1998） 1660

聚乙烯自粘保鲜膜（GB 10457—89） 1669

高密度聚乙烯吹塑薄膜（GB 12025—89） 1676

热封型双向拉伸聚丙烯薄膜（GB/T 12026—2000） 1686

《热封型双向拉伸聚丙烯薄膜》内容的有关说明 （GB/T 12026—2000） 1695

电容器用聚丙烯薄膜（GB/T 12802—1996） 1698

聚乙烯热收缩薄膜 （GB/T 13519—92） 1711

电气用塑料薄膜一般要求（GB 13542—92） 1717

聚乙烯吹塑农用地面覆盖薄膜（GB 13735—92） 1721

电气绝缘用聚酯薄膜（GB 13950—92） 1729

食品包装用聚氯乙烯硬片、膜（GB/T 15267—94） 1738

包装用双向拉伸聚酯薄膜（GB/T 16958—1997） 1749

食品包装用聚偏二氯乙烯（PVDC）片状肠衣膜（GB/T 17030—1997） 1759

包装术语 工业包装袋热塑性塑料软质薄膜袋（GB/T 178582—1999） 1767

未拉伸聚乙烯、聚丙烯薄膜（QB/T 1125—2000） 1781

单向拉伸高密度聚乙烯薄膜（GB 1128—91） 1787

液体包装用聚乙烯吹塑薄膜（QB 1231—91） 1797

软聚氯乙烯吹塑薄膜（QB 1257—91） 1806

聚乙烯气垫薄膜（GB 1259—91） 1814

软聚氯乙烯复合膜（QB 1260—91） 1820

双向拉伸尼龙（BOPA）／低密度聚乙烯（LDPE）复合膜、袋（QB/T 1871—93） 1827

聚丙烯吹塑薄膜（QB 1956—94） 1837

软聚氯乙烯装饰膜（片）（QB/T 2028—94） 1845

榨菜包装用复合膜、袋（QB 2197—1996） 1853

包装用降解聚乙烯薄膜（QB/T 2461—1999） 1862

农业用软聚氯乙烯压延拉幅薄膜（QB/T 2472—2000） 1878

药品包装用复合膜（通则）（YY 0236—1996） 1889

第2章 薄膜试验方法标准规范 1897

塑料薄膜和薄片气体透过性试验方法压差法（GB/T 1038—2000） 1899

塑料薄膜和薄片厚度测定机械测量法（GB/T 6672—2001） 1906

《塑料 薄膜和薄片 厚度测定 机械测量法》内容的有关说明（GB/T 6672—2001） 1908

塑料薄膜和薄片长度和宽度的测定（GB/T 6673—2001） 1912

《塑料 薄膜和薄片 长度和宽度的测定》内容的有关说明（GB/T 6673—2001） 1916

软质复合塑料材料剥离试验方法（GB 8808—88） 1917

塑料薄膜抗摆锤冲击试验方法（GB 8809—88） 1920

塑料薄膜和薄片抗冲击性能试验方法自由落镖法 （GB 9639—88） 1923

塑料薄膜和薄片摩擦系数测定方法（GB 10006—88） 1929

塑料薄膜尺寸变化率试验方法（GB 12027—89） 1935