几何量仪检定/校准技术PDF电子书下载

第一章 概述 1

第一节 量仪分类 1

一、机械量仪 1

二、光学量仪 1

三、气动量仪 1

四、电动量仪 1

目录 1

第二节 量仪的基本结构 2

第三节 量仪的光学系统 4

一、显微系统 4

二、望远系统 5

四、干涉系统 6

三、投影系统 6

第四节 量仪基本度量技术指标 7

一、通用技术指标 7

二、准确度指标 8

第五节 几何量仪器特性评定的依据和形式 9

一、几何量仪器特性评定的依据 9

二、几何量仪器特性评定的形式 10

第二章 量仪几何形状和位置误差检定、校准 12

第一节 量仪几何形状与位置误差评定的基本准则 12

一、形状误差的评定准则 12

二、位置误差评定准则 13

一、自准直法 15

第二节 典型仪器导轨直线度的检定、校准 15

二、截距法 16

三、测微表法 19

四、扭摆误差校准 19

五、直线度检定方法误差分析 20

第三节 导轨运动的相互垂直度检定、校准 21

一、影像法 21

二、多齿分度台法 22

三、立柱对工作台面的垂直度 22

四、立式光学计类仪器测量轴线与仪器工作台面垂直度 23

五、立式测长仪工作台面与测量轴线垂直度 23

六、三坐标测量机坐标轴相互垂直度 24

一、分度头主轴径向圆跳动 25

第四节 仪器轴系检定、校准 25

二、分度头主轴轴向圆跳动 26

三、分度头主轴正反转360°回原位误差和回程误差 26

四、主轴锁紧时引起的示值误差变化 26

五、圆度仪主轴径向误差 26

六、圆度仪多次测量时的重复性 28

七、圆度仪轴向误差 28

八、高精度测角仪主轴径向圆跳动 28

九、光学经纬仪三轴间垂直度 29

第五节 工作台的平行度及平面度检定、校准 30

二、工具显微镜金属工作台与纵横滑板移动方向的平行度 31

三、筋形工作台的平面度及中央筋的平面度、高出度 31

一、多齿分度台任意位置啮合时工作台面与底平面的平行度 31

四、三坐标测量机X,Y导轨运动平面与工作台表面的平行度 32

第六节 顶尖、顶尖杆的检定、校准 32

一、顶尖跳动 32

二、两顶尖轴线的平行度检定 33

三、工具显微镜两顶尖的重合性 34

四、上下两顶尖的同轴度 35

五、渐开线检查仪上下两顶尖联线对测量滑架运动的垂直度 35

六、万能工具显微镜顶尖轴心线与测量面间距离 36

七、工具显微镜顶尖中心连续与立柱回转中心重合性 36

一、自准直仪 38

二、经纬仪、水准仪调焦运行误差 38

第七节 仪器光学系统视轴线的正确性检定 38

第三章 几何量仪器示值误差检定、校准 40

第一节 示值误差评定的方法和表示形式 40

一、量仪示值误差的评定方法 40

二、仪器示值误差的表示形式 40

三、测量重复性的表示方法 41

四、稳定性 41

第二节 标准线纹尺比较法 42

一、万能工具显微镜 42

二、工具显微镜 44

三、像点比较仪 44

第三节 标准量块（激光干涉仪）比较法 47

一、测长机 47

二、坐标测量机校准 49

三、数控装置位置误差检测 60

第四节 标准量块组合法 62

一、0.2μm光学计 62

二、接触式干涉仪 65

三、数显电感比较仪 69

第五节 多面棱体比较法与排列互比法 70

一、光学分度头（光学分度台） 70

二、多齿分度台 73

三、光学测角仪 75

四、测微器示值误差检定 81

第六节 标准小角度比较法 84

一、自准直仪 84

二、电子水平仪 89

第七节 标准样板法 90

一、光切显微镜与干涉显微镜 90

二、触针式表面粗糙度测量仪器 93

三、圆度、圆柱度仪 97

四、渐开线检查仪 99

五、平面等倾干涉仪 102

六、球径仪 103

第八节 标准装置法 104

一、光学经纬仪 104

二、水准仪 112

三、测微准直望远镜 116

一、测量重复性检定或校准 118

第九节 仪器测量重复性和示值变动性检定、校准 118

二、统计法 120

三、示值变动性 121

第四章 示值误差检定、校准的不确定度评定 123

第一节 概述 123

一、标准不确定度的A类评定 123

二、标准不确定度B类评定 123

三、合成标准不确定度的评定及灵敏系数 124

第二节 万能工具显微镜 124

一、概述 124

二、测量原理与数学模型 124

三、标准不确定度评定 124

五、检定的扩展不确定度 125

四、合成标准不确定度 125

第三节 测长机 126

一、概述 126

二、测量原理和数学模型 126

三、标准不确定度评定 126

四、合成标准不确定度 127

五、扩展不确定度 127

第四节 0.2μm光学计 128

一、概述 128

二、测量原理和数学模型 128

一、概述 129

第五节 圆分度仪器 129

五、扩展不确定度 129

三、标准不确定度分量 129

四、合成标准不确定度 129

二、测量原理和数学模型 130

三、标准不确定度评定 130

四、合成标准不确定度 131

五、扩展不确定度 131

六、排列互比法不确定度评定 131

第六节 坐标测量机 133

一、概述 133

二、测量原理和数学模型 133

三、标准不确定度评定 133

五、扩展不确定度 135

四、合成标准不确定度 135

第七节 圆度仪器 136

一、概述 136

二、测量原理和数学模型 136

三、标准不确定度评定 136

第八节 自准直仪 137

一、概述 137

二、测量原理和数学模型 137

三、标准不确定度评定 137

第九节 渐开线检查仪 138

一、概述 138

二、测量原理和数学模型 138

三、标准不确定度分量计算 139

第十节 干涉显微镜 140

一、概述 140

二、测量原理和数学模型 140

三、标准不确定度分量 140

第十一节 经纬仪 141

一、概述 141

二、测量原理及数学模型 141

三、方差和灵敏系数 142

四、检定一测回水平方向标准偏差标准不确定度评定 142

三、标准不确定度评定 144

二、测量原理及数学模型 144

一、概述 144

第十二节 水准仪 144

四、合成标准不确定度 145

五、扩展不确定度 145

第五章 定型鉴定和样机试验 146

第一节 定型鉴定和样机试验的定义 146

一、定型鉴定 146

二、型式批准 146

三、样机实验 146

第二节 计量器具型式评价大纲的制订 147

一、型式评价大纲的构成 147

二、计量器具型式评价样机试验大纲编制 147

第二节 光学瞄准系统 155

第一节 瞄准系统及瞄准误差 155

第六章 瞄准系统及测微目镜检定、校准 155

第三节 物镜系统 156

一、物镜分辨力 156

二、物镜的场曲 157

第四节 测微目镜 158

第七章 检定仪器标准器组 162

第一节 检定仪器标准器组的设计 162

第二节 检定仪器标准器组种类及应用 163

第三节 检定仪器标准器检定、校准 165

一、检定直尺 165

二、刀口直角尺 167

四、方块角尺 168

三、十字线校对杆 168

五、锥体心轴 170

六、标准心轴 170

七、玻璃比例尺 170

八、专用标准玻璃线纹尺 171

九、刻线样板 172

第四节 标准装置检定 173

一、经纬仪标准装置 173

二、水准仪标准装置 177

附录1量块标称长度测量不确定度与长度变动量 182

附录2有关量仪的检定规程和校准规范目录 183

参考文献 185