光栅莫尔条纹纳米级细分技术PDF电子书下载

1绪论 1

1.1莫尔条纹原理及应用 1

1.2莫尔条纹细分意义 3

1.3光栅纳米测量的研究现状及发展趋势 4

2莫尔条纹细分技术 8

2.1莫尔条纹细分基本原理 8

2.2传统的低倍莫尔条纹细分方法 9

2.3现有的高倍莫尔条纹细分方法 11

2.4莫尔条纹细分技术发展趋势 16

2.5本书的研究工作 16

3莫尔条纹特性分析 18

3.1光栅传感器特性分析 18

3.2莫尔条纹空间特性分析 19

3.3莫尔条纹时间特性分析 24

4基于时间信号的莫尔条纹小波细分法 26

4.1光栅传感器输出信号采集与处理 26

4.2小波细分法 32

4.3仿真与实验 39

5基于空间信号的莫尔条纹校正傅里叶细分法 45

5.1莫尔条纹空间信号采集与分析 45

5.2基于傅里叶变换的细分原理 48

5.3基于CCD采集的空间信号的校正傅里叶细分法 50

5.4基于CMOS采集的空间信号的校正多相位傅里叶细分法 59

6光栅栅距动态测量 70

6.1光栅栅距误差分析 70

6.2现有的栅距测量方法 72

6.3光栅栅距动态测量方法 72

6.4累积误差和细分误差修正 83

6.5动态栅距测量在实际应用中的意义 85

7新型光栅纳米测量装置 86

7.1两种细分方法适用的场合 86

7.2关键问题的进一步解决方案 87

7.3新型光栅纳米测量装置构建 88

参考文献 90